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1. (WO2018063302) BACKSIDE SOURCE/DRAIN REPLACEMENT FOR SEMICONDUCTOR DEVICES WITH METALLIZATION ON BOTH SIDES
国际局存档的最新著录项目数据   

公布号: WO/2018/063302 国际申请号: PCT/US2016/054710
公布日: 05.04.2018 国际申请日: 30.09.2016
国际专利分类:
H01L 29/78 (2006.01) ,H01L 29/66 (2006.01) ,H01L 29/417 (2006.01) ,H01L 21/8238 (2006.01) ,H01L 27/092 (2006.01)
H 电学
01
基本电气元件
L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
29
专门适用于整流、放大、振荡或切换,并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的半导体器件;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒,例如PN结耗尽层或载流子集结层的电容器或电阻器;半导体本体或其电极的零部件
66
按半导体器件的类型区分的
68
只能通过对一个不通有待整流、放大或切换的电流的电极供给电流或施加电位方可进行控制的
76
单极器件
772
场效应晶体管
78
由绝缘栅产生场效应的
H 电学
01
基本电气元件
L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
29
专门适用于整流、放大、振荡或切换,并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的半导体器件;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒,例如PN结耗尽层或载流子集结层的电容器或电阻器;半导体本体或其电极的零部件
66
按半导体器件的类型区分的
H 电学
01
基本电气元件
L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
29
专门适用于整流、放大、振荡或切换,并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的半导体器件;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒,例如PN结耗尽层或载流子集结层的电容器或电阻器;半导体本体或其电极的零部件
40
按其电极特征区分的
41
以其形状、相对尺寸或位置为特征的
417
通有待整流、放大或切换电流的
H 电学
01
基本电气元件
L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
21
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
70
由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
77
在公共衬底中或上面形成的由许多固态元件或集成电路组成的器件的制造或处理
78
把衬底连续地分成多个独立的器件
82
制造器件,例如每一个由许多元件组成的集成电路
822
衬底是采用硅工艺的半导体的
8232
场效应工艺
8234
MIS technology
8238
互补场效应晶体管,例如CMOS
H 电学
01
基本电气元件
L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
27
由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
02
包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
04
其衬底为半导体的
08
只包括有一种半导体组件的
085
只包含场效应的组件
088
有绝缘栅场效应晶体管的组件
092
互补MIS场效应晶体管
申请人:
INTEL CORPORATION [US/US]; 2200 Mission College Boulevard Santa Clara, California 95054, US
发明人:
GLASS, Glenn A.; US
JAMBUNATHAN, Karthik; US
MURTHY, Anand S.; US
MOHAPATRA, Chandra S.; US
MORROW, Patrick; US
KOBRINSKY, Mauro J.; US
代理人:
BRODSKY, Stephen I.; US
优先权数据:
标题 (EN) BACKSIDE SOURCE/DRAIN REPLACEMENT FOR SEMICONDUCTOR DEVICES WITH METALLIZATION ON BOTH SIDES
(FR) REMPLACEMENT DE SOURCE/DRAIN ARRIÈRE POUR DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEUR À MÉTALLISATION DES DEUX CÔTÉS
摘要:
(EN) Techniques are disclosed for backside source/drain (S/D) replacement for semiconductor devices with metallization on both sides (MOBS). The techniques described herein provide methods to recover or otherwise facilitate low contact resistance, thereby reducing or eliminating parasitic external resistance that degrades transistor performance. In some cases, the techniques include forming sacrificial S/D material and a seed layer during frontside processing of a device layer including one or more transistor devices. The device layer can then be inverted and bonded to a host wafer. A backside reveal of the device layer can then be performed via grinding, etching, and/or CMP processes. The sacrificial S/D material can then be removed through backside S/D contact trenches using the seed layer as an etch stop, followed by the formation of relatively highly doped final S/D material grown from the seed layer, to provide enhanced ohmic contact properties. Other embodiments may be described and/or disclosed.
(FR) L'invention concerne des techniques de remplacement de source/drain arrière pour dispositifs à semi-conducteur à métallisation des deux côtés (MOBS). Les techniques décrites dans la présente invention fournissent des procédés pour récupérer ou autrement faciliter une faible résistance de contact, ce qui permet de réduire ou d'éliminer une résistance externe parasite qui dégrade les performances du transistor. Dans certains cas, les techniques comprennent la formation d'un matériau S/D sacrificiel et d'une couche de germe pendant le traitement de face avant d'une couche de dispositif comprenant un ou plusieurs dispositifs de transistor. La couche de dispositif peut ensuite être inversée et liée à une tranche hôte. Un panneau arrière de la couche de dispositif peut ensuite être réalisé par des procédés de meulage, de gravure et/ou de CMP. Le matériau S/D sacrificiel peut ensuite être retiré par l'intermédiaire de tranchées de contact S/D arrière à l'aide de la couche de germe en tant qu'arrêt de gravure, suivie par la formation d'un matériau S/D final relativement fortement dopé formé à partir de la couche de germe, pour fournir des propriétés de contact ohmique améliorées. D'autres modes de réalisation peuvent être décrits et/ou révélés.
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
非洲地区知识产权组织 (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
欧亚专利局 (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧洲专利局 (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
非洲知识产权组织 (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
公布语言: 英语 (EN)
申请语言: 英语 (EN)