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1. (WO2016150080) 一种倒装芯片键合设备
国际局存档的最新著录项目数据

公布号: WO/2016/150080 国际申请号: PCT/CN2015/087199
公布日: 29.09.2016 国际申请日: 17.08.2015
国际专利分类:
H01L 21/603 (2006.01) ,H01L 21/768 (2006.01) ,H01L 21/677 (2006.01) ,H01L 21/683 (2006.01)
H 电学
01
基本电气元件
L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
21
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
02
半导体器件或其部件的制造或处理
04
至少具有一个跃变势垒或表面势垒的器件,例如PN结、耗尽层、载体集结层
50
应用H01L 21/06至H01L 21/326中的任一小组都不包含的方法或设备组装半导体器件的
60
引线或其他导电构件的连接,用于工作时向或由器件传导电流
603
包括运用压力的,例如热压黏结
H 电学
01
基本电气元件
L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
21
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
70
由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
71
限定在组H01L 21/70中的器件的特殊部件的制造
768
利用互连在器件中的分离元件间传输电流
H 电学
01
基本电气元件
L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
21
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
677
用于传送的,例如在不同的工作站之间
H 电学
01
基本电气元件
L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
21
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
683
用于支承或夹紧的
申请人:
北京中电科电子装备有限公司 CETC BEIJING ELECTRONIC EQUIPMENT CO.,LTD. [CN/CN]; 中国北京市 经济技术开发区泰河三街1号 No.1,Taihe 3rd Street, Beijing Economy and Technology Development Zone Beijing 100176, CN
发明人:
唐亮 TANG, Liang; CN
叶乐志 YE, Lezhi; CN
周启舟 ZHOU, Qizhou; CN
徐品烈 XU, Pinlie; CN
郎平 LANG, Ping; CN
霍杰 HUO, Jie; CN
刘子阳 LIU, Ziyang; CN
代理人:
北京银龙知识产权代理有限公司 DRAGON INTELLECTUAL PROPERTY LAW FIRM; 中国北京市 海淀区西直门北大街32号院枫蓝国际中心2号楼10层 10F, Bldg. 2, Maples International Center No. 32 Xizhimen North Street, Haidian District Beijing 100082, CN
优先权数据:
201510124424.320.03.2015CN
标题 (EN) FLIP CHIP BONDING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE SOUDAGE DE PUCES RETOURNÉES
(ZH) 一种倒装芯片键合设备
摘要:
(EN) The present disclosure provides a flip chip bonding device, comprising a chip transmission mechanism, the chip transmission mechanism comprising an installation part and a driving part configured to drive the installation part to move, the installation part comprising a plurality of workstations for bearing chips, wherein the chip located on one of the workstations is moved from a first position to a second position through movement of the installation part; a first chip grabbing mechanism, configured to overturn the chips upwards from the lower side after grabbing the chips and putting the chips on the workstations located in the first position on the installation part after overturning the chips; a second chip grabbing mechanism, configured to take out the chips on the workstations located in the second position on the installation part so as to bond. The present disclosure introduces the precise chip transmission mechanism, the reliability is high, and the flip chip bonding device is enabled to be applicable to flip chip bonding of large-scale base materials while not reducing the efficiency, thereby greatly increasing the chip installation accuracy.
(FR) La présente invention concerne un dispositif de soudage de puces retournées, comprenant un mécanisme de transmission de puces, le mécanisme de transmission de puces comprenant une partie d’installation et une partie d’entraînement servant à entraîner le mouvement de la partie d’installation, la partie d’installation comprenant une pluralité de postes de travail pour le support de puces, la puce située sur un des postes de travail étant déplacée d’une première position à une deuxième position par le mouvement de la partie d’installation ; un premier mécanisme de saisie de puces, servant à retourner les puces vers le haut depuis le côté inférieur après avoir saisi les puces et posant les puces sur les postes de travail situés à la première position sur la partie d’installation après avoir retourné les puces ; un second mécanisme de saisie de puces, servant à prendre les puces sur les postes de travail placés à la deuxième position sur la partie d’installation à des fins de soudage. La présente invention introduit le mécanisme de transmission de puces précis, la fiabilité est élevée, et le dispositif de soudage de puces retournées peut être applicable au soudage de puces retournées de matériaux de base à grande échelle sans réduire le rendement, augmentant ainsi grandement la précision d’installation de puces.
(ZH) 本公开提供了一种倒装芯片键合设备,包括:芯片传输机构,所述芯片传输机构包括:安装部和用于驱动所述安装部运动的驱动部,所述安装部包括多个用于放置芯片的工位;其中,通过所述安装部的运动,将位于其中一个工位上的芯片从第一位置处移动至第二位置处;第一芯片抓取机构,其用于抓取芯片后将所述芯片由下侧向上翻转,并在将所述芯片翻转后,将所述芯片放置在所述安装部上位于所述第一位置处的工位上;第二芯片抓取机构,其用于将所述安装部上位于所述第二位置处的工位上的芯片取出,以进行键合。本公开引入了精密的芯片传输机构,可靠性高,使得倒装芯片键合设备在不降低效率的情况下适应大尺寸基材的倒装键合,大大提高了装片精度。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
非洲地区知识产权组织 (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
欧亚专利局 (EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧洲专利局 (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
非洲知识产权组织 (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
公布语言: 中文 (ZH)
申请语言: 中文 (ZH)