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1. SG40941 - IN SITU GETTER PUMP SYSTEM AND METHOD

专利局 新加坡
申请号 1997018089
申请日 30.10.1995
公布号 40941
公布日 15.08.1997
授权号
授权日 28.09.1998
公布类型 A
国际专利分类
C 化学;冶金
23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C
金属材料的表面处理
14
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
22
以镀覆工艺为特征的
56
连续镀覆的专用设备;维持真空的装置,例如真空锁定器
F 机械工程;照明;加热;武器;爆破
04
B
液体变容式机械;泵
37
专门适用于弹性流体的并且其相关特征不包含在F04B 25/00至F04B 35/00组中或与上述各组无关的泵
02
通过吸收或吸附而抽出
H 电学
01
基本电气元件
L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
21
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
C 化学;冶金
01
、C07、C08 无机、有机或有机高分子化合物;其制备或分离的方法
B
非金属元素;其化合物
23
惰性气体;其化合物
C23C 14/56
F04B 37/02
H01L 21/00
C01B 23/00
申请人 SAES PURE GAS, INC.
发明人 LORIMER, D'ARCY, H.
KRUEGER, GORDON, P.
优先权数据 08332564 31.10.1994 US
标题
(EN) IN SITU GETTER PUMP SYSTEM AND METHOD
摘要
其他公布号
MXPA/a/2000/010004
MXPA/a/2000/010005
MXPA/a/2000/010006