正在处理

请稍候...

设置

设置

1. KR1019970707315 - 내장형 게터펌프, 내장형 게터펌프의 게터모듈, 이를 포함한 웨이퍼처리장치, 처리챔버의 펌핑방법 및 웨이퍼처리방법

专利局 韩国
申请号 1019970702812
申请日 29.04.1997
公布号 1019970707315
公布日 01.12.1997
授权号 1003044490000
授权日 29.09.2001
公布类型 B1
国际专利分类
C 化学;冶金
23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C
金属材料的表面处理
14
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
22
以镀覆工艺为特征的
56
连续镀覆的专用设备;维持真空的装置,例如真空锁定器
C23C 14/56
申请人 웨버 다니엘 케이.사에스 퓨어 가스, 인코포레이티드
发明人 로리머 디 아르시 에이치.
크루에게르 고르든 피.
代理人 강명구
优先权数据 08332564 31.10.1994 US
标题
(KO) 내장형 게터펌프, 내장형 게터펌프의 게터모듈, 이를 포함한 웨이퍼처리장치, 처리챔버의 펌핑방법 및 웨이퍼처리방법
摘要
(KO)
본 발명에 따른 웨이퍼 가공 처리 장치는, 가공 처리 챔버, 활성 부??성 기체를 펌프로 배출하기 위한 처리 챔버에 연결된 저압 펌프, 불활성 기체 공급원을 가공 처리 챔버에 연결하기 위한 밸브 장치, 불활성 기체가 챔버로 흐를 때 활성 기체를 펌프로 배출하는 처리 챔버내에 배치된 소요 위치 게터 펌프, 가공 처리 챔버 내에 배치된 웨이퍼를 가공 처리하기 위한 가공 장치를 포한한다. 선호적으로, 소요 위치 게터 펌프는 여러 온도에서 다른 종류의 기체를 펌프로 배출하기 위해서 많은 다른 온도에서 작동될 수 있다. 기체 분석기는 챔버로부터 펌프로 배출되는 여러 종류의 기체를 제어하기 위해서 게터 펌프의 온도를 자동 제어하는데 이용된다. 본 발명의 웨이퍼 가공 처리 방법은, 처리 챔퍼내에 웨이퍼를 두는 단계, 챔버를 밀폐하는 단계, 활성 기체를 펌프로 배출하는 챔버내에 배치된 소요 위치게터 펌프와 외부 저압 펌프로 동시에 챔버에 펌프 작용을 가하는 동안 불활성 기체가 챔버로 이동하는 단계 및 불활성 기체가 계속 흐를 때 챔버내의 웨이퍼를 가공처리하는 단계를 포함한다. 또 이 방법은 챔버내의 기체 조성을 모니터하는 단계, 조성 분석을 토대로 게터 물질의 온도를 제어하는 단계를 포함한다.

其他公布号
MXPA/a/2000/010004
MXPA/a/2000/010005
MXPA/a/2000/010006