Various computer-implemented methods for determining if actual defects are potentially systematic defects or potentially random defects are provided. One computer-implemented method for determining if actual defects are potentially systematic defects or potentially random defects includes comparing a number of actual defects in a group to a number of randomly generated defects in a group. The actual defects are detected on a wafer. A portion of a design on the wafer proximate a location of each of the actual defects in the group and each of the randomly generated defects in the group is substantially the same. The method also includes determining if the actual defects in the group are potentially systematic defects or potentially random defects based on results of the comparing step.

L'invention concerne plusieurs procédés mis en place par ordinateur servant à déterminer si des défauts réels sont des défauts potentiellement systématiques ou des défauts potentiellement aléatoires. Un procédé mis en place par ordinateur servant à déterminer si les défauts réels sont des défauts potentiellement systématiques ou des défauts potentiellement aléatoires consiste à comparer un certain nombre de défauts réels dans un groupe à un certain nombre de défauts générés de façon aléatoire dans un groupe. Les défauts réels sont détectés sur une tranche. Une partie d'un dessin sur la tranche proche d'un emplacement de chacun des défauts réels dans le groupe et de chacun des défauts générés de façon aléatoire dans le groupe est sensiblement la même. Le procédé consiste également à déterminer si les défauts réels dans le groupe sont des défauts potentiellement systématiques ou des défauts potentiellement aléatoires sur la base des résultats de l'étape de comparaison.