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1. WO2009026358 - COMPUTER-IMPLEMENTED METHODS FOR DETERMINING IF ACTUAL DEFECTS ARE POTENTIALLY SYSTEMATIC DEFECTS OR POTENTIALLY RANDOM DEFECTS

Номер публикации WO/2009/026358
Дата публикации 26.02.2009
№ международной заявки PCT/US2008/073706
Дата международной подачи 20.08.2008
МПК
G06F 17/50 2006.01
GФИЗИКА
06Обработка данных; вычисление; счет
FОбработка цифровых данных с помощью электрических устройств
17Оборудование или способы обработки данных или цифровых вычислений, специально предназначенные для особых функций
50автоматизированное проектирование
CPC
G01R 31/318314
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
31Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
317Testing of digital circuits
3181Functional testing
3183Generation of test inputs, e.g. test vectors, patterns or sequences
318314Tools, e.g. program interfaces, test suite, test bench, simulation hardware, test compiler, test program languages
G01R 31/318371
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
31Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
317Testing of digital circuits
3181Functional testing
3183Generation of test inputs, e.g. test vectors, patterns or sequences
318371Methodologies therefor, e.g. algorithms, procedures
G06F 30/398
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
FELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
30Computer-aided design [CAD]
30Circuit design
39Circuit design at the physical level
398Design verification or optimisation, e.g. using design rule check [DRC], layout versus schematics [LVS] or finite element methods [FEM]
Заявители
  • KLA-TENCOR CORPORATION [US]/[US] (AllExceptUS)
  • FLORENCE, Glenn [US]/[US] (UsOnly)
  • PARK, Allen [US]/[US] (UsOnly)
  • ROSE, Peter [US]/[US] (UsOnly)
Изобретатели
  • FLORENCE, Glenn
  • PARK, Allen
  • ROSE, Peter
Агенты
  • MEWHERTER, Ann Marie
Дата приоритета
60/956,82320.08.2007US
Язык публикации Английский (EN)
Язык подачи Английский (EN)
Указанные государства
Название
(EN) COMPUTER-IMPLEMENTED METHODS FOR DETERMINING IF ACTUAL DEFECTS ARE POTENTIALLY SYSTEMATIC DEFECTS OR POTENTIALLY RANDOM DEFECTS
(FR) PROCÉDÉS MIS EN PLACE PAR ORDINATEUR SERVANT À DÉTERMINER SI DES DÉFAUTS RÉELS SONT DES DÉFAUTS POTENTIELLEMENT SYSTÉMATIQUES OU DES DÉFAUTS POTENTIELLEMENT ALÉATOIRES
Реферат
(EN)
Various computer-implemented methods for determining if actual defects are potentially systematic defects or potentially random defects are provided. One computer-implemented method for determining if actual defects are potentially systematic defects or potentially random defects includes comparing a number of actual defects in a group to a number of randomly generated defects in a group. The actual defects are detected on a wafer. A portion of a design on the wafer proximate a location of each of the actual defects in the group and each of the randomly generated defects in the group is substantially the same. The method also includes determining if the actual defects in the group are potentially systematic defects or potentially random defects based on results of the comparing step.
(FR)
L'invention concerne plusieurs procédés mis en place par ordinateur servant à déterminer si des défauts réels sont des défauts potentiellement systématiques ou des défauts potentiellement aléatoires. Un procédé mis en place par ordinateur servant à déterminer si les défauts réels sont des défauts potentiellement systématiques ou des défauts potentiellement aléatoires consiste à comparer un certain nombre de défauts réels dans un groupe à un certain nombre de défauts générés de façon aléatoire dans un groupe. Les défauts réels sont détectés sur une tranche. Une partie d'un dessin sur la tranche proche d'un emplacement de chacun des défauts réels dans le groupe et de chacun des défauts générés de façon aléatoire dans le groupe est sensiblement la même. Le procédé consiste également à déterminer si les défauts réels dans le groupe sont des défauts potentiellement systématiques ou des défauts potentiellement aléatoires sur la base des résultats de l'étape de comparaison.
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