Поиск по международным и национальным патентным фондам
Некоторое содержание этого приложения в настоящий момент недоступно.
Если эта ситуация сохраняется, свяжитесь с нами по адресуОтзывы и контакты
1. (CN109792004) METHODS OF HANDLING A MASK DEVICE, APPARATUS FOR EXCHANGING A MASK DEVICE, MASK EXCHANGE CHAMBER, AND VACUUM SYSTEM

Ведомство : Китай
Номер заявки: 201780036547.9 Дата заявки: 05.09.2017
Номер публикации: 109792004 Дата публикации: 21.05.2019
Вид публикации: A
Справочный номер PCT: Номер заявки:PCTUS2017050129 ; Номер публикации: Нажать здесь, чтобы просмотреть данные
МПК:
H01L 51/56
H01L 51/00
H01L 21/67
H01L 21/033
G03F 7/20
H ЭЛЕКТРИЧЕСТВО
01
Основные элементы электрического оборудования
L
Полупроводниковые приборы; электрические приборы на твердом теле, не отнесенные к другим классам или подклассам
51
Приборы на твердом теле с использованием органических материалов в качестве активной части или с использованием комбинации органических материалов с другими материалами в качестве активной части; способы или устройства, специально предназначенные для производства или обработки таких приборов или их частей
50
специально предназначенные для светового излучения, например органические светоизлучающие диоды (OLED) или полимерные светоизлучающие устройства (PLED)
56
способы или устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки таких приборов или их частей
H ЭЛЕКТРИЧЕСТВО
01
Основные элементы электрического оборудования
L
Полупроводниковые приборы; электрические приборы на твердом теле, не отнесенные к другим классам или подклассам
51
Приборы на твердом теле с использованием органических материалов в качестве активной части или с использованием комбинации органических материалов с другими материалами в качестве активной части; способы или устройства, специально предназначенные для производства или обработки таких приборов или их частей
H ЭЛЕКТРИЧЕСТВО
01
Основные элементы электрического оборудования
L
Полупроводниковые приборы; электрические приборы на твердом теле, не отнесенные к другим классам или подклассам
21
Способы и устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки полупроводниковых приборов или приборов на твердом теле или их частей
67
устройства, специально предназначенные для манипулирования полупроводниковыми или электронными устройствами на твердом теле при их изготовлении или обработке; устройства, специально предназначенные для манипулирования полупроводниковыми пластинами при изготовлении или обработке полупроводниковых или электрических устройств на твердом теле или их компонентов
H ЭЛЕКТРИЧЕСТВО
01
Основные элементы электрического оборудования
L
Полупроводниковые приборы; электрические приборы на твердом теле, не отнесенные к другим классам или подклассам
21
Способы и устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки полупроводниковых приборов или приборов на твердом теле или их частей
02
изготовление или обработка полупроводниковых приборов или их частей
027
образование маски на полупроводниковой подложке для дальнейшей фотолитографической обработки, не отнесенное к рубрикам или
033
с неорганическими слоями
G ФИЗИКА
03
Фотография; кинематография; аналогичное оборудование, использующее волны иные, чем оптические; электрография; голография
F
Фотомеханическое изготовление рельефных (текстурированных) поверхностей или поверхностей с рисунком, например для печати, для изготовления полупроводниковых приборов; материалы для этих целей; оригиналы для этих целей; устройства, специально приспособленные для этих целей
7
Фотомеханическое, например фотолитографическое, изготовление рельефных (текстурированных) поверхностей или поверхностей с рисунком, например печатные поверхности; материалы для этих целей, например содержащие фоторезисты; устройства, специально приспособленные для этих целей
20
экспонирование, устройства для этой цели
Заявители: APPLIED MATERIALS INC
应用材料公司
Изобретатели: GOVINDASAMY SATHIYAMURTHI
萨伊亚穆图西·哥文达萨米
KLEIN WOLFGANG
沃尔夫冈·克莱因
SALUGU SRINIVAS
斯里尼瓦斯·萨鲁古
SAUER ANDREAS
安德烈亚斯·索尔
ZANG SEBASTIAN GUNTHER
塞巴斯蒂安·巩特尔·臧
Агенты: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006
北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006
Дата приоритета:
Название: (EN) METHODS OF HANDLING A MASK DEVICE, APPARATUS FOR EXCHANGING A MASK DEVICE, MASK EXCHANGE CHAMBER, AND VACUUM SYSTEM
(ZH) 搬运掩模器件的方法、用于更换掩模器件的设备、掩模更换腔室以及真空系统
Реферат: front page image
(EN) Method of handling a mask device are described. According to m embodiment, the method includes: Loading the mask device on a holding arrangement for holding the mask device; moving the holding arrangement from a first state into a second state, the second slate being a non-horizontal state; aligning the holding- arrangement with a mask carrier; and transferring the mask device from the holding arrangement to the mask earner. Further, an apparatus for exchanging a mask device from a mask carrier as well as a vacuum system including such an apparatus are described.
(ZH) 描述一种搬运掩模器件的方法。根据实施方式,所述方法包括:将所述掩模器件装载在用于保持掩模器件的保持布置上;将所述保持布置从第一状态移动到第二状态,所述第二状态为非水平状态;使所述保持布置与掩模载体对准;以及将所述掩模器件从所述保持布置传送到所述掩模载体。另外,描述一种用于从掩模载体更换掩模器件的设备以及一种包括这种设备的真空系统。
Также опубликовано как:
WO/2019/050507