(EN) An inertial sensor comprising; a central anchor; a proof mass, wherein the proof mass surrounds the central anchor; a flexure; and a plurality of electrodes is disclosed. The flexure has a shape comprising a first plurality of spiral arms, each winding about the central anchor in a first sense, and a second plurality of spiral arms, each winding about the central anchor in a second sense, the second sense being opposite to the first sense Each of the arms are connected between the central anchor and the proof mass. Advantageously, energy lost through anchor losses and thermoelastic dissipation are reduced in this arrangement, resulting in a higher quality factor for the modes of vibration.
(FR) Est divulgué un capteur inertiel comprenant : un ancrage central ; une masse étalon, la masse étalon entourant l'ancrage central ; un élément de flexion ; et une pluralité d'électrodes. L'élément de flexion possède une forme comprenant une première pluralité de bras en spirale, chaque bras en spirale s'enroulant autour de l'ancrage central dans un premier sens, et une seconde pluralité de bras en spirale, chaque bras en spirale s'enroulant autour de l'ancrage central dans un second sens, le second sens étant opposé au premier sens. Chacun des bras est relié entre l'ancrage central et la masse étalon. Avantageusement, l'énergie perdue par les pertes d'ancrage et la dissipation thermoélastique est réduite dans cet agencement, ce qui permet d'obtenir un facteur de qualité supérieur pour les modes de vibration.
