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1. WO2023024595 - STRUCTURE SEMI-CONDUCTRICE ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION

Numéro de publication WO/2023/024595
Date de publication 02.03.2023
N° de la demande internationale PCT/CN2022/093364
Date du dépôt international 17.05.2022
CIB
H01L 21/108 2006.1
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
02Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
04les dispositifs présentant au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface, p.ex. une jonction PN, une région d'appauvrissement, ou une région de concentration de porteurs de charges
06les dispositifs ayant des corps semi-conducteurs comprenant du sélénium ou du tellure, sous forme non combinée, et ne constituant pas des impuretés pour les corps semi-conducteurs d'autres matériaux
10Traitement préliminaire du sélénium ou du tellure, application sur la plaque de support, ou traitement subséquent de l'ensemble
108Production de couches isolantes discrètes, c. à d. de barrières de surface non actives
Déposants
  • 长鑫存储技术有限公司 CHANGXIN MEMORY TECHNOLOGIES, INC. [CN]/[CN]
Inventeurs
  • 沈宇桐 SHEN, Yutong
Mandataires
  • 北京名华博信知识产权代理有限公司 BOXIN CHINA INTELLECTUAL PROPERTY
Données relatives à la priorité
202110996603.127.08.2021CN
Langue de publication Chinois (zh)
Langue de dépôt chinois (ZH)
États désignés
Titre
(EN) SEMICONDUCTOR STRUCTURE AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR
(FR) STRUCTURE SEMI-CONDUCTRICE ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
(ZH) 半导体结构和半导体结构的制备方法
Abrégé
(EN) Disclosed in the present disclosure are a semiconductor structure and a manufacturing method therefor. The semiconductor structure comprises: a substrate comprising a core region and a peripheral region, wherein a first gate is provided in the substrate of the core region, a first doped region is provided in the substrate on two opposite sides of the first gate of the core region, the substrate exposes a top surface of the first doped region, and a top surface of the first doped region is provided with a dielectric layer; a second gate is provided on the substrate of the peripheral region, and a second doped region is provided in the substrate on two opposite sides of the second gate of the peripheral region; a first conductive column located in the first doped region and protruding from the surface of the substrate; and a second conductive column located in the second doped region and protruding from the surface of the substrate, the depth of the second conductive column located in the second doped region being less than the depth of the first conductive column located in the first doped region.
(FR) La présente invention concerne une structure semi-conductrice et son procédé de fabrication. La structure semi-conductrice comprend : un substrat comprenant une région centrale et une région périphérique, une première grille étant disposée dans le substrat de la région centrale, une première région dopée est disposée dans le substrat sur deux côtés opposés de la première grille de la région centrale, le substrat expose une surface supérieure de la première région dopée, et une surface supérieure de la première région dopée comporte une couche diélectrique ; une seconde grille est disposée sur le substrat de la région périphérique, et une seconde région dopée est disposée dans le substrat sur deux côtés opposés de la seconde grille de la région périphérique ; une première colonne conductrice située dans la première région dopée et faisant saillie à partir de la surface du substrat ; et une seconde colonne conductrice située dans la seconde région dopée et faisant saillie à partir de la surface du substrat, la profondeur de la seconde colonne conductrice située dans la seconde région dopée étant inférieure à la profondeur de la première colonne conductrice située dans la première région dopée.
(ZH) 本公开公布一种半导体结构及其制备方法,其中,半导体结构包括:衬底,衬底包括核心区以及外围区,且核心区的衬底内具有第一栅极,核心区的第一栅极相对两侧的衬底内具有第一掺杂区,衬底暴露出第一掺杂区的顶面,第一掺杂区的顶面具有介质层;外围区的衬底上具有第二栅极,外围区的第二栅极相对两侧的衬底内具有第二掺杂区;第一导电柱,所述第一导电柱位于所述第一掺杂区内,且凸出于所述衬底表面;第二导电柱,第二导电柱位于第二掺杂区内,且凸出于衬底表面,且第二导电柱位于第二掺杂区内的深度小于第一导电柱位于第一掺杂区内的深度。
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