Traitement en cours

Veuillez attendre...

Paramétrages

Paramétrages

Aller à Demande

1. WO2022211915 - SYSTÈME DE COMMANDE INTER-PÉRIODIQUE POUR SYSTÈME DE FOURNITURE DE PUISSANCE DE PLASMA ET SON PROCÉDÉ DE FONCTIONNEMENT

Numéro de publication WO/2022/211915
Date de publication 06.10.2022
N° de la demande internationale PCT/US2022/016291
Date du dépôt international 14.02.2022
CIB
H03H 7/38 2006.1
HÉLECTRICITÉ
03CIRCUITS ÉLECTRONIQUES FONDAMENTAUX
HRÉSEAUX D'IMPÉDANCES, p.ex. CIRCUITS RÉSONNANTS; RÉSONATEURS
7Réseaux à plusieurs accès comportant comme composants uniquement des éléments électriques passifs
38Réseaux d'adaptation d'impédance
H02P 9/00 2006.1
HÉLECTRICITÉ
02PRODUCTION, CONVERSION OU DISTRIBUTION DE L'ÉNERGIE ÉLECTRIQUE
PCOMMANDE OU RÉGULATION DES MOTEURS ÉLECTRIQUES, DES GÉNÉRATRICES ÉLECTRIQUES OU DES CONVERTISSEURS DYNAMO-ÉLECTRIQUES; COMMANDE DES TRANSFORMATEURS, RÉACTANCES OU BOBINES D'ARRÊT
9Dispositions pour la commande de génératrices électriques de façon à obtenir les caractéristiques désirées à la sortie
H01J 37/32 2006.1
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
32Tubes à décharge en atmosphère gazeuse
H03H 7/40 2006.1
HÉLECTRICITÉ
03CIRCUITS ÉLECTRONIQUES FONDAMENTAUX
HRÉSEAUX D'IMPÉDANCES, p.ex. CIRCUITS RÉSONNANTS; RÉSONATEURS
7Réseaux à plusieurs accès comportant comme composants uniquement des éléments électriques passifs
38Réseaux d'adaptation d'impédance
40Adaptation automatique de l'impédance de charge à l'impédance de la source
CPC
H01J 37/32045
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32Gas-filled discharge tubes, ; e.g. for surface treatment of objects such as coating, plating, etching, sterilising or bringing about chemical reactions
32009Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
32018Glow discharge
32045Circuits specially adapted for controlling the glow discharge
H01J 37/32128
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32Gas-filled discharge tubes, ; e.g. for surface treatment of objects such as coating, plating, etching, sterilising or bringing about chemical reactions
32009Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
32082Radio frequency generated discharge
32128using particular waveforms, e.g. polarised waves
H01J 37/32146
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32Gas-filled discharge tubes, ; e.g. for surface treatment of objects such as coating, plating, etching, sterilising or bringing about chemical reactions
32009Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
32082Radio frequency generated discharge
32137controlling of the discharge by modulation of energy
32146Amplitude modulation, includes pulsing
H01J 37/32174
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32Gas-filled discharge tubes, ; e.g. for surface treatment of objects such as coating, plating, etching, sterilising or bringing about chemical reactions
32009Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
32082Radio frequency generated discharge
32174Circuits specially adapted for controlling the RF discharge
H01J 37/32183
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32Gas-filled discharge tubes, ; e.g. for surface treatment of objects such as coating, plating, etching, sterilising or bringing about chemical reactions
32009Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
32082Radio frequency generated discharge
32174Circuits specially adapted for controlling the RF discharge
32183Matching circuits, impedance matching circuits per se H03H7/38 and H03H7/40
H02P 9/00
HELECTRICITY
02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
PCONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
9Arrangements for controlling electric generators for the purpose of obtaining a desired output
Déposants
  • ADVANCED ENERGY INDUSTRIES, INC. [US]/[US]
Inventeurs
  • VAN ZYL, Gideon
Mandataires
  • O'DOWD, Sean R.
Données relatives à la priorité
17/220,53001.04.2021US
Langue de publication Anglais (en)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) INTER-PERIOD CONTROL SYSTEM FOR PLASMA POWER DELIVERY SYSTEM AND METHOD OF OPERATING THE SAME
(FR) SYSTÈME DE COMMANDE INTER-PÉRIODIQUE POUR SYSTÈME DE FOURNITURE DE PUISSANCE DE PLASMA ET SON PROCÉDÉ DE FONCTIONNEMENT
Abrégé
(EN) A generator produces output such as delivered power, voltage, current, forward power etc. that follows a prescribed pattern of output versus time where the pattern repeats with a repetition period by controlling sections of the pattern based on measurements taken one or more repetition periods in the past. A variable impedance match network may control the impedance presented to a radio frequency generator while the generator produces the output that follows the prescribed pattern of output versus time where the pattern repeats with a repetition period by controlling variable impedance elements in the match during sections of the pattern based on measurements taken one or more repetition periods in the past.
(FR) L'invention concerne un générateur qui produit une sortie telle qu'une puissance, une tension, un courant, une puissance directe délivrés, etc. qui suit un motif prescrit de sortie en fonction du temps où le motif se répète avec une période de répétition par commande de sections du motif sur la base de mesures effectuées pendant une ou plusieurs périodes de répétition dans le passé. Un réseau d'adaptation d'impédance variable peut commander l'impédance présentée à un générateur de radiofréquence tandis que le générateur produit la sortie qui suit le motif prescrit de sortie en fonction du temps où le motif se répète avec une période de répétition en commandant des éléments d'impédance variable dans l'adaptation pendant des sections du motif sur la base de mesures effectuées pendant une ou plusieurs périodes de répétition auparavant.
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international