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1. WO2022207397 - TROU D'INTERCONNEXION SOUS VIDE, ENSEMBLE ÉLECTRODE ET DISPOSITIF POUR GÉNÉRER UNE DÉCHARGE DE PLASMA SILENCIEUSE

Numéro de publication WO/2022/207397
Date de publication 06.10.2022
N° de la demande internationale PCT/EP2022/057385
Date du dépôt international 21.03.2022
CIB
G01N 21/67 2006.1
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
NRECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
21Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de moyens optiques, c. à d. en utilisant des rayons infrarouges, visibles ou ultraviolets
62Systèmes dans lesquels le matériau analysé est excité de façon à ce qu'il émette de la lumière ou qu'il produise un changement de la longueur d'onde de la lumière incidente
66excité électriquement, p.ex. par électroluminescence
67en utilisant des arcs électriques ou des décharges électriques
G01L 21/34 2006.1
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
LMESURE DES FORCES, DES CONTRAINTES, DES COUPLES, DU TRAVAIL, DE LA PUISSANCE MÉCANIQUE, DU RENDEMENT MÉCANIQUE OU DE LA PRESSION DES FLUIDES
21Indicateurs de vide
30en faisant usage des effets d'ionisation
34en utilisant des tubes électriques à décharge à cathodes froides
H01J 37/32 2006.1
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
32Tubes à décharge en atmosphère gazeuse
H05H 1/24 2006.1
HÉLECTRICITÉ
05TECHNIQUES ÉLECTRIQUES NON PRÉVUES AILLEURS
HTECHNIQUE DU PLASMA; PRODUCTION DE PARTICULES ÉLECTRIQUEMENT CHARGÉES ACCÉLÉRÉES OU DE NEUTRONS; PRODUCTION OU ACCÉLÉRATION DE FAISCEAUX MOLÉCULAIRES OU ATOMIQUES NEUTRES
1Production du plasma; Mise en œuvre du plasma
24Production du plasma
G01L 21/32 2006.1
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
LMESURE DES FORCES, DES CONTRAINTES, DES COUPLES, DU TRAVAIL, DE LA PUISSANCE MÉCANIQUE, DU RENDEMENT MÉCANIQUE OU DE LA PRESSION DES FLUIDES
21Indicateurs de vide
30en faisant usage des effets d'ionisation
32en utilisant des tubes électriques à décharge à cathodes thermioniques
H01J 41/02 2006.1
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
41Tubes à décharge et moyens structurellement associés pour la mesure de la pression de gaz; Tubes à décharge pour l'évacuation par diffusion d'ions
02Tubes à décharge et moyens structurellement associés pour la mesure de la pression de gaz
CPC
G01L 21/32
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
21Vacuum gauges
30by making use of ionisation effects
32using electric discharge tubes with thermionic cathodes
G01L 21/34
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
21Vacuum gauges
30by making use of ionisation effects
34using electric discharge tubes with cold cathodes
G01N 21/67
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
62Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
66electrically excited, e.g. electroluminescence
67using electric arcs or discharges
H01J 19/46
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
19Details of vacuum tubes of the types covered by group H01J21/00
42Mounting, supporting, spacing, or insulating of electrodes or of electrode assemblies
46Mountings for the electrode assembly as a whole
H01J 37/32348
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32Gas-filled discharge tubes, ; e.g. for surface treatment of objects such as coating, plating, etching, sterilising or bringing about chemical reactions
32009Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
32348Dielectric barrier discharge
H01J 37/32981
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32Gas-filled discharge tubes, ; e.g. for surface treatment of objects such as coating, plating, etching, sterilising or bringing about chemical reactions
32917Plasma diagnostics
32935Monitoring and controlling tubes by information coming from the object and/or discharge
32981Gas analysis
Déposants
  • INFICON AG
Inventeurs
  • BERNHARD, Andreaus
  • WALDNER, Astrid
Mandataires
  • TROESCH SCHEIDEGGER WERNER AG
Données relatives à la priorité
00341/2131.03.2021CH
Langue de publication Allemand (de)
Langue de dépôt allemand (DE)
États désignés
Titre
(DE) VAKUUMDURCHFÜHRUNG, ELEKTRODENANORDNUNG UND VORRICHTUNG ZUR ERZEUGUNG EINER STILLEN PLASMAENTLADUNG
(EN) VACUUM FEEDTHROUGH, ELECTRODE ASSEMBLY, AND DEVICE FOR GENERATING A SILENT PLASMA DISCHARGE
(FR) TROU D'INTERCONNEXION SOUS VIDE, ENSEMBLE ÉLECTRODE ET DISPOSITIF POUR GÉNÉRER UNE DÉCHARGE DE PLASMA SILENCIEUSE
Abrégé
(DE) Eine in radialen Lagen aufgebaute Vakuumdurchführung (10), umfasst die Elemente (von innen nach aussen): - Linsenelement (11), - erster Ring (12) aus Glas, - erster Hohlzylinder (13) aus einem ersten dielektrischen Material, - erste elektrisch leitende Schicht (18), - zweiter Hohlzylinder (14) aus Glas, - dritter Hohlzylinder (15) aus Keramik, - zweiter Ring aus Glas (16), - Rahmen (17) aus Metall. Aufbauend auf der Vakuumdurchführung ist die Erfindung weiter auf eine Elektrodenanordnung, eine Vorrichtung zur Erzeugung einer DBD-Plasmaentladung, ein Messgerät zur Charakterisierung eines Drucks und/oder einer Gaszusammensetzung und auf ein Verfahren zum Betrieb des Messgeräts gerichtet.
(EN) A vacuum feedthrough (10) which is constructed in radial layers comprises the following elements (from inwards to outwards): - a lens element (11), - a first ring (12) made of glass, - a first hollow cylinder (13) made of a first dielectric material, - a first electrically conductive layer (18), - a second hollow cylinder (14) made of glass, - a third hollow cylinder (15) made of ceramic, - a second ring made of glass (16), and - a frame (17) made of metal. On the basis of the vacuum feedthrough, the invention additionally relates to an electrode assembly, to a device for generating a DBD plasma discharge, to a measuring device for characterizing a pressure and/or a gas composition, and to a method for operating the measuring device.
(FR) Un trou d'interconnexion sous vide (10) qui est construit dans des couches radiales comprend les éléments suivants (de l'intérieur vers l'extérieur) : un élément de lentille (11), un premier anneau (12) en verre, un premier cylindre creux (13) constitué d'un premier matériau diélectrique, une première couche électriquement conductrice (18), un deuxième cylindre creux (14) en verre, un troisième cylindre creux (15) en céramique, un deuxième anneau en verre (16) et un cadre (17) en métal. Sur la base du trou d'interconnexion sous vide, l'invention concerne en outre un ensemble électrode, un dispositif pour générer une décharge de plasma DBD, un dispositif de mesure pour caractériser une pression et/ou une composition de gaz et un procédé pour faire fonctionner le dispositif de mesure.
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