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1. WO2022093527 - COMPOSANT OPTIQUE POUR SOURCE DE LUMIÈRE DANS L'ULTRAVIOLET LOINTAIN

Numéro de publication WO/2022/093527
Date de publication 05.05.2022
N° de la demande internationale PCT/US2021/054610
Date du dépôt international 12.10.2021
CIB
G02B 5/08 2006.1
GPHYSIQUE
02OPTIQUE
BÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
5Eléments optiques autres que les lentilles
08Miroirs
G02B 5/28 2006.1
GPHYSIQUE
02OPTIQUE
BÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
5Eléments optiques autres que les lentilles
20Filtres
28Filtres d'interférence
G02B 27/00 2006.1
GPHYSIQUE
02OPTIQUE
BÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
27Systèmes ou appareils optiques non prévus dans aucun des groupes G02B1/-G02B26/117
CPC
G02B 27/0006
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
27Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
0006with means to keep optical surfaces clean, e.g. by preventing or removing dirt, stains, contamination, condensation
G02B 5/0833
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
5Optical elements other than lenses
08Mirrors
0816Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers
0825the reflecting layers comprising dielectric materials only
0833comprising inorganic materials only
G02B 5/0891
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
5Optical elements other than lenses
08Mirrors
0891Ultraviolet [UV] mirrors
G02B 5/283
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
5Optical elements other than lenses
20Filters
28Interference filters
283designed for the ultraviolet
Déposants
  • CYMER, LLC [US]/[US]
Inventeurs
  • MELCHIOR, John, Theodore
Mandataires
  • MARCELLI, Mark
Données relatives à la priorité
63/107,82730.10.2020US
63/163,34819.03.2021US
Langue de publication Anglais (en)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) OPTICAL COMPONENT FOR DEEP ULTRAVIOLET LIGHT SOURCE
(FR) COMPOSANT OPTIQUE POUR SOURCE DE LUMIÈRE DANS L'ULTRAVIOLET LOINTAIN
Abrégé
(EN) An optical component includes: a calcium fluoride substrate including an atomically-smooth substrate surface that forms at least a portion of an optically-interacting surface; and a sealant layer covering the atomically-smooth substrate surface to thereby form a smooth interface between the calcium fluoride substrate and the sealant layer. A profile roughness parameter Ra of the atomically-smooth substrate surface defined as a mean deviation of a profile of the atomically-smooth substrate surface is within a range of 0.01 nanometers (nm) to and including 0.17 nm.
(FR) La présente invention concerne un composant optique qui comprend : un substrat de fluorure de calcium comprenant une surface de substrat atomiquement lisse qui forme au moins une partie d'une surface à interaction optique ; et une couche d'agent d'étanchéité recouvrant la surface du substrat atomiquement lisse pour former ainsi une interface lisse entre le substrat de fluorure de calcium et la couche d'agent d'étanchéité. Un paramètre de rugosité de profil Ra de la surface de substrat atomiquement lisse défini comme un écart moyen d'un profil de la surface du substrat atomiquement lisse se trouve dans une plage de 0,01 nanomètre (nm) jusqu'à 0,17 nm inclus.
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