(EN) The present invention improves the strength of a substrate holder. Provided is a substrate holder comprising: a plurality of annular members arrayed at a predetermined interval; a plurality of columns having a width narrower than the width of the annular members, disposed along an outer edge of the annular members, and holding the plurality of annular members; a plurality of support members extending from the plurality of columns toward the inner periphery to place a substrate between an upper annular member and a lower annular member; and a plurality of connection members welded to at least one of the plurality of columns and to each of the plurality of annular members, and connecting the columns and the plurality of annular members.
(FR) La présente invention améliore la résistance d'un porte-substrat. L'invention concerne un porte-substrat comprenant : plusieurs éléments annulaires disposés en réseau à un intervalle prédéfini; plusieurs colonnes ayant une largeur plus étroite que la largeur des éléments annulaires, étant disposées le long d'un bord extérieur des éléments annulaires et maintenant les multiples éléments annulaires; plusieurs éléments de support s'étendant à partir des multiples colonnes vers la périphérie interne pour placer un substrat entre un élément annulaire supérieur et un élément annulaire inférieur; et plusieurs éléments de liaison soudés à au moins une des multiples colonnes et à chacun des multiples éléments annulaires, et reliant les colonnes et les multiples éléments annulaires.
(JA) 基板保持具の強度を改善する。 所定の間隔で配列される複数の環状部材と、環状部材の幅よりも狭い幅を有し、環状部材の外縁に沿って配置され、複数の環状部材を保持する複数の柱と、複数の柱から、内周に向かって延び、上側の環状部材と下側の環状部材の間で基板を載置する複数の支持部材と、複数の柱の少なくとも１つと複数の環状部材とそれぞれ溶接され、柱と複数の環状部材とを接続する複数の接続部材と、を有する。
