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1. WO2022006174 - APPAREIL ROBOTISÉ ET SYSTÈMES, AINSI QUE PROCÉDÉS DE TRANSPORT DE SUBSTRATS DANS LA FABRICATION DE DISPOSITIF ÉLECTRONIQUE

Numéro de publication WO/2022/006174
Date de publication 06.01.2022
N° de la demande internationale PCT/US2021/039711
Date du dépôt international 29.06.2021
CIB
B25J 9/00 2006.1
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
25OUTILS À MAIN; OUTILS PORTATIFS À MOTEUR; MANCHES POUR USTENSILES À MAIN; OUTILLAGE D'ATELIER; MANIPULATEURS
JMANIPULATEURS; ENCEINTES À DISPOSITIFS DE MANIPULATION INTÉGRÉS
9Manipulateurs à commande programmée
B25J 9/04 2006.1
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
25OUTILS À MAIN; OUTILS PORTATIFS À MOTEUR; MANCHES POUR USTENSILES À MAIN; OUTILLAGE D'ATELIER; MANIPULATEURS
JMANIPULATEURS; ENCEINTES À DISPOSITIFS DE MANIPULATION INTÉGRÉS
9Manipulateurs à commande programmée
02caractérisés par le mouvement des bras, p.ex. du type à coordonnées cartésiennes
04par rotation d'au moins un bras en excluant le mouvement de la tête elle-même, p.ex. du type à coordonnées cylindriques ou polaires
B25J 9/12 2006.1
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
25OUTILS À MAIN; OUTILS PORTATIFS À MOTEUR; MANCHES POUR USTENSILES À MAIN; OUTILLAGE D'ATELIER; MANIPULATEURS
JMANIPULATEURS; ENCEINTES À DISPOSITIFS DE MANIPULATION INTÉGRÉS
9Manipulateurs à commande programmée
10caractérisés par des moyens pour régler la position des éléments manipulateurs
12électriques
B25J 15/00 2006.1
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
25OUTILS À MAIN; OUTILS PORTATIFS À MOTEUR; MANCHES POUR USTENSILES À MAIN; OUTILLAGE D'ATELIER; MANIPULATEURS
JMANIPULATEURS; ENCEINTES À DISPOSITIFS DE MANIPULATION INTÉGRÉS
15Têtes de préhension
Déposants
  • APPLIED MATERIALS, INC. [US]/[US]
Inventeurs
  • HUDGENS, Jeffrey C.
  • MUTHUKAMATCHI, Karuppasamy
Mandataires
  • KIMES, Benjamin A.
  • PORTNOVA, Marina
  • NICHOLES, Mary
Données relatives à la priorité
17/357,71924.06.2021US
20204102818602.07.2020IN
Langue de publication Anglais (en)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) ROBOT APPARATUS AND SYSTEMS, AND METHODS FOR TRANSPORTING SUBSTRATES IN ELECTRONIC DEVICE MANUFACTURING
(FR) APPAREIL ROBOTISÉ ET SYSTÈMES, AINSI QUE PROCÉDÉS DE TRANSPORT DE SUBSTRATS DANS LA FABRICATION DE DISPOSITIF ÉLECTRONIQUE
Abrégé
(EN) Electronic device manufacturing systems, robot apparatus and associated methods are described. The robot apparatus includes an arm having an inboard end and an outboard end, the inboard end is configured to rotate about a shoulder axis; a first forearm is configured for independent rotation relative to the arm about an elbow axis at the outboard end of the arm; a first wrist member is configured for independent rotation relative the first forearm about a first wrist axis at a distal end of the first forearm opposite the elbow axis, wherein the first wrist member includes a first end effector and a second end effector. The robot apparatus further includes a second forearm configured for independent rotation relative to the arm about the elbow axis; a second wrist member configured for independent rotation relative the second forearm about a second wrist axis, wherein the second wrist member comprises a third end effector and a fourth end effector. The robot apparatus further includes a third forearm configured for independent rotation relative to the arm about the elbow axis; and a third wrist member configured for independent rotation relative the third forearm about a third wrist axis, wherein the second wrist member includes a fifth end effector and a sixth end effector.
(FR) L'invention concerne un système de fabrication de dispositif électronique, un appareil robotisé et des procédés associés. L'appareil robotisé comprend un bras ayant une extrémité intérieure et une extrémité extérieure, l'extrémité intérieure étant conçue pour tourner autour d'un axe d'épaulement; un premier avant-bras est conçu pour une rotation indépendante par rapport au bras autour d'un axe de coude au niveau de l'extrémité extérieure du bras; un premier élément de poignet est conçu pour une rotation indépendante par rapport au premier avant-bras autour d'un premier axe de poignet au niveau d'une extrémité distale du premier avant-bras opposée à l'axe de coude, le premier élément de poignet comprenant un premier effecteur d'extrémité et un deuxième effecteur d'extrémité. L'appareil robotisé comprend en outre un deuxième avant-bras conçu pour une rotation indépendante par rapport au bras autour de l'axe du coude; un deuxième élément de poignet conçu pour une rotation indépendante par rapport au deuxième avant-bras autour d'un deuxième axe de poignet, le deuxième élément de poignet comprenant un troisième effecteur d'extrémité et un quatrième effecteur d'extrémité. L'appareil robotisé comprend en outre un troisième avant-bras conçu pour une rotation indépendante par rapport au bras autour de l'axe du coude; et un troisième élément de poignet conçu pour une rotation indépendante par rapport au troisième avant-bras autour d'un troisième axe de poignet, le deuxième élément de poignet comprenant un cinquième effecteur d'extrémité et un sixième effecteur d'extrémité.
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