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1. WO2022005030 - ÉLÉMENT MONOCRISTALLIN PIÉZOÉLECTRIQUE, DISPOSITIF MEMS L'UTILISANT, ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION

Numéro de publication WO/2022/005030
Date de publication 06.01.2022
N° de la demande internationale PCT/KR2021/006803
Date du dépôt international 01.06.2021
CIB
H01L 41/187 2006.1
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
41Dispositifs piézo-électriques en général; Dispositifs électrostrictifs en général; Dispositifs magnétostrictifs en général; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives; Détails
16Emploi de matériaux spécifiés
18pour des éléments piézo-électriques ou électrostrictifs
187Compositions céramiques
H01L 41/314 2013.1
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
41Dispositifs piézo-électriques en général; Dispositifs électrostrictifs en général; Dispositifs magnétostrictifs en général; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives; Détails
22Procédés ou appareils spécialement adaptés à l'assemblage, la fabrication ou au traitement de dispositifs piézo-électriques ou électrostrictifs, ou de leurs parties constitutives
31Application de parties ou de corps piézo-électriques ou électrostrictifs sur un élément électrique ou sur un autre support
314par dépôt de couches piézo-électriques ou électrostrictives, p.ex. par impression par aérosol ou par sérigraphie
Déposants
  • 이우조 LEE, Woo Jo [KR]/[KR]
  • 이상구 LEE, Sang Goo [KR]/[KR]
Inventeurs
  • 이상구 LEE, Sang Goo
  • 이정호 LEE, Jeong Ho
  • 김상길 KIM, Sang Kil
Mandataires
  • 임영택 LIM, Young Taeck
Données relatives à la priorité
10-2020-008156102.07.2020KR
Langue de publication Coréen (ko)
Langue de dépôt coréen (KO)
États désignés
Titre
(EN) PIEZOELECTRIC SINGLE-CRYSTAL ELEMENT, MEMS DEVICE USING SAME, AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME
(FR) ÉLÉMENT MONOCRISTALLIN PIÉZOÉLECTRIQUE, DISPOSITIF MEMS L'UTILISANT, ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
(KO) 압전 단결정 소자, 이를 이용한 멤스 디바이스 및 그 제조방법
Abrégé
(EN) The present invention relates to a piezoelectric single-crystal element, a MEMS device using same, and a method for manufacturing same. Particularly, an embodiment of the present invention may provide a piezoelectric single-crystal element and a MEMS device using same, the piezoelectric single-crystal element comprising: a wafer; a lower electrode laminated on the wafer; a piezoelectric single-crystal thin film laminated on the lower electrode; and an upper electrode laminated on the piezoelectric single-crystal thin film, wherein the piezoelectric single-crystal thin film is formed of PMN-PT, PIN-PMN-PT or Mn:PIN-PMN-PT, and the polarization direction of the piezoelectric single-crystal thin film is set to <001>, <011> or <111> axis.
(FR) L'invention concerne un élément monocristallin piézoélectrique, un dispositif MEMS l'utilisant, et son procédé de préparation. En particulier, un mode de réalisation de la présente invention permet de fournir un élément monocristallin piézoélectrique et un dispositif MEMS l'utilisant. L'élément monocristallin piézoélectrique comprend : une tranche ; une électrode inférieure stratifiée sur la tranche ; un film mince monocristallin piézoélectrique stratifié sur l'électrode inférieure ; et une électrode supérieure stratifiée sur le film mince piézoélectrique monocristallin. Le film mince monocristallin piézoélectrique est formé de PMN-PT, PIN-PMN-PT ou Mn : PIN-PMN-PT, et la direction de polarisation du film mince monocristallin piézoélectrique est réglée aux axes <001>, <011> or <111>.
(KO) 본 발명은 압전 단결정 소자, 이를 이용한 멤스 디바이스 및 그 제조방법에 관한 것이다. 구체적으로, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 웨이퍼, 상기 웨이퍼 상에 적층되는 하부 전극, 상기 하부 전극 상에 적층되는 압전 단결정 박막, 및 상기 압전 단결정 박막 상에 적층되는 상부 전극을 포함하고, 상기 압전 단결정 박막은 PMN-PT, PIN-PMN-PT 또는 Mn:PIN-PMN-PT로 이루어지고, 상기 압전 단결정 박막의 분극방향이 <001>, <011> 또는 <111> 축으로 설정되는, 압전 단결정 소자 및 이를 이용한 멤스 디바이스가 제공될 수 있다.
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