Traitement en cours

Veuillez attendre...

Paramétrages

Paramétrages

Aller à Demande

1. WO2021060259 - SYSTÈME DE TRANSPORT

Numéro de publication WO/2021/060259
Date de publication 01.04.2021
N° de la demande internationale PCT/JP2020/035742
Date du dépôt international 23.09.2020
CIB
H01L 21/677 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
677pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
CPC
H01L 21/677
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
677for conveying, e.g. between different workstations
Déposants
  • シンフォニアテクノロジー株式会社 SINFONIA TECHNOLOGY CO., LTD. [JP]/[JP]
Inventeurs
  • 河合 俊宏 KAWAI, Toshihiro
  • 中村 浩章 NAKAMURA, Hiroaki
  • 小倉 源五郎 OGURA, Gengoro
  • 杉浦 孝典 SUGIURA, Kosuke
  • 谷山 育志 TANIYAMA, Yasushi
Mandataires
  • 大西 雅直 ONISHI, Masanao
Données relatives à la priorité
2019-17617226.09.2019JP
Langue de publication japonais (JA)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) TRANSPORT SYSTEM
(FR) SYSTÈME DE TRANSPORT
(JA) 搬送システム
Abrégé
(EN)
[Problem] To provide a feature by which it is possible to efficiently transport objects between a storage container for storing objects and a processing device for carrying out a batch process on a plurality of objects. [Solution] A transport system 1 for transporting objects between a storage container 9 for storing a plurality of objects and a processing device 2 for carrying out a batch process on a plurality of objects retained on a tray 8, said system comprising: a mounting part 31 on which the storage container 9 is mounted; a stage 41 on which the plurality of objects are mounted; a tray support part 51 which supports the tray 8; a first transport device 44 which transports the objects between the storage container 9 mounted on the mounting part 31 and the stage 41; and a second transport device 53 which transports the objects between the stage 41 and the tray 8 supported by the tray support part 51.
(FR)
Le problème décrit par la présente invention est de fournir une caractéristique par laquelle il est possible de transporter efficacement des objets entre un récipient de stockage destiné à stocker des objets et un dispositif de traitement servant à effectuer un traitement par lots sur une pluralité d'objets. La solution selon l'invention porte sur un système de transport (1) destiné à transporter des objets entre un récipient de stockage (9) destiné à stocker une pluralité d'objets et un dispositif de traitement (2) servant à effectuer un traitement par lots sur une pluralité d'objets retenus sur un plateau (8). Ledit système comprend : une partie de montage (31) sur laquelle est monté le récipient de stockage (9) ; une étage (41) sur laquelle la pluralité d'objets sont montés ; une partie de support de plateau (51) qui supporte le plateau (8) ; un premier dispositif de transport qui transporte les objets entre le récipient de stockage monté sur la partie de montage et l'étage ; et un second dispositif de transport (53) qui transporte les objets entre l'étage (41) et le plateau (8) supporté par la partie de support de plateau (51).
(JA)
【課題】対象物を収納する収納容器と、複数の対象物に対して一括して処理を行う処理装置との間で、対象物を効率的に搬送することができる技術の提供。 【解決手段】対象物を複数収納する収納容器9と、トレイ8に保持された複数の対象物に対して一括して処理を行う処理装置2との間で、対象物を搬送する搬送システム1であって、収納容器9が載置される載置部31と、複数の対象物が載置されるステージ41と、トレイ8を支持するトレイ支持部51と、載置部31に載置された収納容器9とステージ41との間で対象物を搬送する第1搬送装置44と、ステージ41とトレイ支持部51に支持されたトレイ8との間で対象物を搬送する第2搬送装置53と、を備える。
Également publié en tant que
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international