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1. WO2021058946 - TOUR À GARNISSAGE

Numéro de publication WO/2021/058946
Date de publication 01.04.2021
N° de la demande internationale PCT/GB2020/052295
Date du dépôt international 23.09.2020
CIB
B01D 45/14 2006.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
01PROCÉDÉS OU APPAREILS PHYSIQUES OU CHIMIQUES EN GÉNÉRAL
DSÉPARATION
45Séparation de particules dispersées dans des gaz ou des vapeurs par gravité, inertie ou force centrifuge
12en utilisant la force centrifuge
14produite par des pales, disques, tambours ou brosses rotatives
B01D 47/00 2006.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
01PROCÉDÉS OU APPAREILS PHYSIQUES OU CHIMIQUES EN GÉNÉRAL
DSÉPARATION
47Séparation de particules dispersées dans l'air, des gaz ou des vapeurs en utilisant un liquide comme agent de séparation
B01D 47/14 2006.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
01PROCÉDÉS OU APPAREILS PHYSIQUES OU CHIMIQUES EN GÉNÉRAL
DSÉPARATION
47Séparation de particules dispersées dans l'air, des gaz ou des vapeurs en utilisant un liquide comme agent de séparation
14Absorbeurs à remplissage
F04D 25/02 2006.01
FMÉCANIQUE; ÉCLAIRAGE; CHAUFFAGE; ARMEMENT; SAUTAGE
04"MACHINES" À LIQUIDES À DÉPLACEMENT POSITIF; POMPES À LIQUIDES OU À FLUIDES COMPRESSIBLES
DPOMPES À DÉPLACEMENT NON POSITIF
25Installations ou systèmes de pompage spécialement adaptés aux fluides compressibles
02Ensembles comprenant des pompes et leurs moyens d'entraînement
F04D 29/28 2006.01
FMÉCANIQUE; ÉCLAIRAGE; CHAUFFAGE; ARMEMENT; SAUTAGE
04"MACHINES" À LIQUIDES À DÉPLACEMENT POSITIF; POMPES À LIQUIDES OU À FLUIDES COMPRESSIBLES
DPOMPES À DÉPLACEMENT NON POSITIF
29Parties constitutives, détails ou accessoires
26Rotors spécialement adaptés aux fluides compressibles
28pour pompes centrifuges ou hélicocentrifuges
F04D 29/70 2006.01
FMÉCANIQUE; ÉCLAIRAGE; CHAUFFAGE; ARMEMENT; SAUTAGE
04"MACHINES" À LIQUIDES À DÉPLACEMENT POSITIF; POMPES À LIQUIDES OU À FLUIDES COMPRESSIBLES
DPOMPES À DÉPLACEMENT NON POSITIF
29Parties constitutives, détails ou accessoires
70Grilles d'aspiration; Filtres; Séparateurs de poussière; Nettoyage
CPC
B01D 2247/104
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
DSEPARATION
2247Details relating to the separation of dispersed particles from gases, air or vapours by liquid as separating agent
10Means for removing the washing fluid dispersed in the gas or vapours
104using an impeller
B01D 2247/12
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
DSEPARATION
2247Details relating to the separation of dispersed particles from gases, air or vapours by liquid as separating agent
12Fan arrangements for providing forced draft
B01D 45/14
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
DSEPARATION
45Separating dispersed particles from gases or vapours by gravity, inertia, or centrifugal forces
12by centrifugal forces
14generated by rotating vanes, discs, drums or brushes
B01D 47/06
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
DSEPARATION
47Separating dispersed particles from gases, air or vapours by liquid as separating agent
06Spray cleaning
B01D 47/14
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
DSEPARATION
47Separating dispersed particles from gases, air or vapours by liquid as separating agent
14Packed scrubbers
B01D 53/75
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
DSEPARATION
53Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols,
34Chemical or biological purification of waste gases
74General processes for purification of waste gases; Apparatus or devices specially adapted therefor
75Multi-step processes
Déposants
  • EDWARDS LIMITED [GB]/[GB]
Inventeurs
  • PRICE, Duncan
Mandataires
  • NORTON, Ian
Données relatives à la priorité
1913914.626.09.2019GB
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) PACKED TOWER
(FR) TOUR À GARNISSAGE
Abrégé
(EN)
A packed tower is disclosed. The packed tower for treating an effluent stream comprising a fluid and particles from an abatement apparatus comprises: a packed tower housing having an inlet for receiving the effluent stream; an outlet for venting the effluent stream; a packed substrate housed within the packed tower housing between the inlet and the outlet, the packed substrate being configured to entrain at least some of the particles from the fluid as the effluent stream flows therethrough; and a fan housed within the packed tower housing, the fan being configured to propel the effluent stream from the inlet towards the outlet and to remove at least some of the particles from the fluid. In this way, the fan helps to generate a negative pressure to draw the effluent stream into the packed tower and through the packed substrate, which reduces the back pressure experienced by, for example, a semiconductor processing tool providing the effluent stream, improves the flow of effluent stream through the packed tower and upstream abatement apparatus and helps to improve the removal of particles from within the effluent stream.
(FR)
L'invention concerne une tour à garnissage. La tour à garnissage pour traiter un courant d'effluent comprenant un fluide et des particules provenant d'un appareil de réduction comprend : un boîtier de tour à garnissage ayant une entrée pour recevoir le courant d'effluent ; une sortie pour évacuer le courant d'effluent ; un substrat emballé logé à l'intérieur du boîtier de tour à garnissage entre l'entrée et la sortie, le substrat emballé étant configuré pour entraîner au moins une partie des particules à partir du fluide à mesure que le courant d'effluent s'écoule à travers celui-ci ; et un ventilateur logé à l'intérieur du boîtier de tour à garnissage, le ventilateur étant conçu pour propulser le courant d'effluent de l'entrée vers la sortie et pour éliminer au moins une partie des particules du fluide. De cette manière, le ventilateur aide à générer une pression négative pour aspirer le courant d'effluent dans la tour à garnissage et à travers le substrat emballé, qui réduit la contre-pression subie par, par exemple, un outil de traitement de semi-conducteur fournissant le courant d'effluent, améliore l'écoulement du courant d'effluent à travers la tour à garnissage et l'appareil de réduction en amont et aide à améliorer l'élimination de particules de l'intérieur du courant d'effluent.
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