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1. WO2021056606 - PUCE MEMS ET DISPOSITIF ÉLECTRONIQUE

Numéro de publication WO/2021/056606
Date de publication 01.04.2021
N° de la demande internationale PCT/CN2019/110036
Date du dépôt international 09.10.2019
CIB
H04R 19/04 2006.01
HÉLECTRICITÉ
04TECHNIQUE DE LA COMMUNICATION ÉLECTRIQUE
RHAUT-PARLEURS, MICROPHONES, TÊTES DE LECTURE POUR TOURNE-DISQUES OU TRANSDUCTEURS ACOUSTIQUES ÉLECTROMÉCANIQUES ANALOGUES; APPAREILS POUR SOURDS; SYSTÈMES D'ANNONCE EN PUBLIC
19Transducteurs électrostatiques
04Microphones
CPC
H04R 19/04
HELECTRICITY
04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
19Electrostatic transducers
04Microphones
Déposants
  • 潍坊歌尔微电子有限公司 WEIFANG GOERTEK MICROELECTRONICS CO., LTD. [CN]/[CN]
Inventeurs
  • 刘波 LIU, Bo
  • 吴安生 WU, Ansheng
Données relatives à la priorité
201910935081.729.09.2019CN
Langue de publication chinois (ZH)
Langue de dépôt chinois (ZH)
États désignés
Titre
(EN) MEMS CHIP AND ELECTRONIC DEVICE
(FR) PUCE MEMS ET DISPOSITIF ÉLECTRONIQUE
(ZH) 一种MEMS芯片以及电子设备
Abrégé
(EN)
A MEMS chip and an electronic device, the MEMS chip comprising a substrate (11) having a back cavity (12), and a back electrode and two sensing films (14, 16) arranged on the substrate (11), the back electrode and the two sensing films (14, 16) being positioned on the back cavity (12), the two sensing films (14, 16) respectively forming a capacitor structure with the back electrode, the two sensing films (14, 16) respectively being positioned on the upper and lower sides of the back electrode, and at least one of the two sensing films (14, 16) comprising an active area (10a) opposite to the back cavity (12), an inactive area (10b) arranged on the outside of the active area (10a), and an isolation area positioned between the active area (10a) and the inactive area (10b), the isolation area comprising two insulating rings (18, 19) respectively connected to the active area (10a) and the inactive area (10b), and a buffer area (17) connected between the two insulating rings (18, 19), the two insulating rings (18, 19) being arranged around the effective area (10a); a sealed cavity (29) is formed between the two sensing films (14, 16), the cavity (29) being filled with gas with a viscosity coefficient less than air or the cavity (29) being filled with air having an air pressure less than standard atmospheric pressure.
(FR)
L'invention concerne une puce MEMS et un dispositif électronique, la puce MEMS comprenant un substrat (11) ayant une cavité arrière (12), et une électrode arrière et deux films de détection (14, 16) disposés sur le substrat (11), l'électrode arrière et les deux films de détection (14, 16) étant positionnés sur la cavité arrière (12), les deux films de détection (14, 16) formant respectivement une structure de condensateur avec l'électrode arrière, les deux films de détection (14, 16) étant respectivement positionnés sur les côtés supérieur et inférieur de l'électrode arrière, et au moins un des deux films de détection (14), 16) comprenant une zone active (10a) opposée à la cavité dorsale (12), une zone inactive (10b) disposée à l'extérieur de la zone active (10a), et une zone d'isolation placée entre la zone active (10a) et la zone inactive (10b), la zone d'isolation comprenant deux anneaux isolants (18, 19) respectivement connectés à la zone active (10a) et à la zone inactive (10b), et une zone tampon (17) connectée entre les deux anneaux isolants (18, 19), les deux anneaux isolants (18, 19) étant disposés autour de la zone active (10a); une cavité étanche (29) est formée entre les deux films de détection (14, 16), la cavité (29) étant remplie de gaz ayant un coefficient de viscosité inférieur à celui de l'air ou la cavité (29) étant remplie d'air ayant une pression d'air inférieure à la pression atmosphérique standard.
(ZH)
一种MEMS芯片以及电子设备,该芯片包括具有背腔(12)的衬底(11)、设置在衬底(11)上的背极和两个感应膜(14,16),背极和两个感应膜(14,16)位于背腔(12)上,两个感应膜(14,16)分别与背极构成电容结构,两个感应膜(14,16)分别位于背极的上、下侧,两个感应膜(14,16)的至少一个包括与背腔(12)相对的有效区(10a)、设置在有效区(10a)外侧的无效区(10b)以及位于有效区(10a)和无效区(10b)之间的隔离区,隔离区包括分别与有效区(10a)和无效区(10b)连接的两个绝缘环(18,19),以及连接在两个绝缘环(18,19)之间的缓冲区(17),两个绝缘环(18,19)围绕有效区(10a)设置;两个感应膜(14,16)之间形成密封的腔体(29),在腔体(29)内填充有粘滞系数小于空气的气体,或者在腔体(29)内填充有气压小于标准大气压的空气。
Également publié en tant que
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