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1. WO2021044035 - CAPTEURS DE PRESSION D'ONDE ACOUSTIQUE DIFFÉRENTIELLE

Numéro de publication WO/2021/044035
Date de publication 11.03.2021
N° de la demande internationale PCT/EP2020/074871
Date du dépôt international 04.09.2020
CIB
G01L 1/16 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
LMESURE DES FORCES, DES CONTRAINTES, DES COUPLES, DU TRAVAIL, DE LA PUISSANCE MÉCANIQUE, DU RENDEMENT MÉCANIQUE OU DE LA PRESSION DES FLUIDES
1Mesure des forces ou des contraintes, en général
16en utilisant les propriétés des dispositifs piézo-électriques
G01L 9/00 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
LMESURE DES FORCES, DES CONTRAINTES, DES COUPLES, DU TRAVAIL, DE LA PUISSANCE MÉCANIQUE, DU RENDEMENT MÉCANIQUE OU DE LA PRESSION DES FLUIDES
9Mesure de la pression permanente, ou quasi permanente d'un fluide ou d'un matériau solide fluent par des éléments électriques ou magnétiques sensibles à la pression; Transmission ou indication par des moyens électriques ou magnétiques du déplacement des éléments mécaniques sensibles à la pression, utilisés pour mesurer la pression permanente ou quasi permanente d'un fluide ou d'un matériau solide fluent
H03H 9/02 2006.01
HÉLECTRICITÉ
03CIRCUITS ÉLECTRONIQUES FONDAMENTAUX
HRÉSEAUX D'IMPÉDANCES, p.ex. CIRCUITS RÉSONNANTS; RÉSONATEURS
9Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques
02Détails
CPC
G01L 1/165
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
1Measuring force or stress, in general
16using properties of piezo-electric devices
162using piezo-electric resonators
165with acoustic surface waves
G01L 9/0025
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
9Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements
0001Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means
0008using vibrations
0022of a piezoelectric element
0025with acoustic surface waves
G01L 9/008
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
9Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements
0041Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
008using piezoelectric devices
H03H 9/02559
HELECTRICITY
03BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY
HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
9Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
02Details
02535of surface acoustic wave devices
02543Characteristics of substrate, e.g. cutting angles
02559of lithium niobate or lithium-tantalate substrates
H03H 9/02574
HELECTRICITY
03BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY
HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
9Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
02Details
02535of surface acoustic wave devices
02543Characteristics of substrate, e.g. cutting angles
02574of combined substrates, multilayered substrates, piezo-electrical layers on not-piezo- electrical substrate
Déposants
  • FREC'N'SYS [FR]/[FR]
  • SOITEC [FR]/[FR]
Inventeurs
  • BALLANDRAS, Sylvain
  • COURJON, Emilie
  • BERNARD, Florent
  • LAROCHE, Thierry
  • GARCIA, Julien
Mandataires
  • GRÜNECKER PATENT- UND RECHTSANWÄLTE PARTG MBB
Données relatives à la priorité
FR190973504.09.2019FR
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) DIFFERENTIAL ACOUSTIC WAVE PRESSURE SENSORS
(FR) CAPTEURS DE PRESSION D'ONDE ACOUSTIQUE DIFFÉRENTIELLE
Abrégé
(EN)
The present invention relates to an acoustic wave pressure sensor device configured to measure a pressure, comprising a substrate configured to bend when the pressure is applied to the substrate such that an area of a first kind of strain and an area of a second kind of strain are formed in the substrate; an interdigitated transducer formed over the substrate; a first Bragg mirror formed over the substrate and arranged on one side of the interdigitated transducer; a second Bragg mirror formed over the substrate and arranged on another side of the interdigitated transducer; a first resonance cavity formed between the interdigitated transducer and the first Bragg mirror; a second resonance cavity formed between the interdigitated transducer and the second Bragg mirror; and wherein the first resonance cavity is formed over the area of the first kind of strain and the second resonance cavity is formed over the area of the second kind of strain.
(FR)
La présente invention concerne un dispositif de capteur de pression d'onde acoustique configuré pour mesurer une pression, comprenant un substrat configuré pour se courber lorsqu'une pression est y appliquée, de telle sorte qu'une zone d'un premier type de déformation et une zone d'un second type de déformation se forment dans le substrat ; un transducteur interdigité formé sur le substrat ; un premier miroir de Bragg formé sur le substrat et disposé sur un côté du transducteur interdigité ; un second miroir de Bragg formé sur le substrat et disposé sur un autre côté du transducteur interdigité ; une première cavité de résonance formée entre le transducteur interdigité et le premier miroir de Bragg ; une seconde cavité de résonance formée entre le transducteur interdigité et le second miroir de Bragg ; et la première cavité de résonance étant formée sur la zone du premier type de déformation et la seconde cavité de résonance étant formée sur la zone du second type de déformation.
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