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1. WO2021022119 - SYSTÈME DE MESURE OPTIQUE

Numéro de publication WO/2021/022119
Date de publication 04.02.2021
N° de la demande internationale PCT/US2020/044421
Date du dépôt international 31.07.2020
CIB
G01B 9/02 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
BMESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
9Instruments tels que spécifiés dans les sous-groupes et caractérisés par l'utilisation de moyens de mesure optiques
02Interféromètres
G01B 9/00 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
BMESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
9Instruments tels que spécifiés dans les sous-groupes et caractérisés par l'utilisation de moyens de mesure optiques
G01B 9/04 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
BMESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
9Instruments tels que spécifiés dans les sous-groupes et caractérisés par l'utilisation de moyens de mesure optiques
04Microscopes de mesure
G02B 27/09 2006.01
GPHYSIQUE
02OPTIQUE
BÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
27Systèmes ou appareils optiques non prévus dans aucun des groupes G02B1/-G02B26/117
09Mise en forme du faisceau, p.ex. changement de la section transversale, non prévue ailleurs
G03F 7/00 2006.01
GPHYSIQUE
03PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
FPRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
7Production par voie photomécanique, p.ex. photolithographique, de surfaces texturées, p.ex. surfaces imprimées; Matériaux à cet effet, p.ex. comportant des photoréserves; Appareillages spécialement adaptés à cet effet
CPC
G01B 9/02041
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
9Instruments as specified in the subgroups and characterised by the use of optical measuring means
02Interferometers ; for determining dimensional properties of, or relations between, measurement objects
02041characterised by particular imaging or detection techniques
G01B 9/02091
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
9Instruments as specified in the subgroups and characterised by the use of optical measuring means
02Interferometers ; for determining dimensional properties of, or relations between, measurement objects
02091Tomographic low coherence interferometers, e.g. optical coherence tomography
G02B 27/106
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
27Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
10Beam splitting or combining systems
106for splitting or combining a plurality of identical beams or images, e.g. image replication
G02B 5/04
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
5Optical elements other than lenses
04Prisms
Déposants
  • WANG, Yu-Yan
  • WU, Bor-Jen
  • TSEN, Chia-Bin
Inventeurs
  • WANG, Yu-Yan
  • WU, Bor-Jen
  • TSEN, Chia-Bin
Mandataires
  • KING, Justin
Données relatives à la priorité
16/528,94501.08.2019US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) OPTICAL MEASUREMENT SYSTEM
(FR) SYSTÈME DE MESURE OPTIQUE
Abrégé
(EN)
An optical system includes a collimated light source, a beam splitter, two mirrors and two lenses, a focus lens, and a detector. An initial light beam is generated by the light source and then separated by the beam splitter into a first light beam and a second light beam. The two mirrors respectively direct the first and second light beams on a sample with symmetrical paths and the two lenses focus the first and second light beam on the sample respectively. The first and second light beams are reflected from the sample and along the counterpart paths to the beam splitter. An interfered light beam is then generated by combining the reflected first and second light beams, and focused by a focus lens on a detector. A Dove prism can be configured between one mirror and one lens of the two for contrast enhancement.
(FR)
L'invention concerne un système optique qui comprend une source lumineuse collimatée, un diviseur de faisceau, deux miroirs et deux lentilles, une lentille de focalisation et un détecteur. Un faisceau lumineux initial est généré par la source lumineuse, puis est séparé par le diviseur de faisceau en un premier faisceau lumineux et un second faisceau lumineux. Les deux miroirs dirigent respectivement les premier et second faisceaux lumineux sur un échantillon selon des trajets symétriques et les deux lentilles focalisent respectivement le premier et le second faisceau lumineux sur l'échantillon. Les premier et second faisceaux lumineux sont réfléchis par l'échantillon et le long des trajets correspondants vers le diviseur de faisceau. Un faisceau lumineux brouillé est ensuite généré par la combinaison des premier et second faisceaux lumineux réfléchis, puis focalisé par une lentille de focalisation sur un détecteur. Un prisme de Dove peut être configuré entre un miroir et une lentille, parmi les deux, afin d'améliorer le contraste.
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