(EN) Provided is a trench capacitor which facilitates the supply of a film formation material into a trench, while ensuring the mechanical strength of wall portions defining the trench. The trench capacitor 1 is provided with a base material 10 including wall portions 12 defining a plurality of trenches 11, and a MIM structure 20 provided along the wall portions 12. The wall portions 12 include a plurality of main wall portions 13 extending in a first direction along an upper surface 10a from one end of a trench region R to the other end thereof, and a plurality of sub-wall portions 14 extending in a second direction orthogonal to the first direction and along the upper surface 10a, and connecting main wall portions 13 adjacent to each other. The plurality of main wall portions 13 include a first main wall portion 13A, a second main wall portion 13B, and a third main wall portion 13C. The plurality of sub-wall portions 14 include a plurality of first sub-wall portions 14A connecting the first main wall portion 13A and the second main wall portion 13B, and a plurality of second sub-wall portions 14B connecting the second main wall portion 13B and the third main wall portion 13C. The position of the first sub-wall portions 14A and the position of the second sub-wall portions 14B in the first direction are displaced from each other.
(FR) L'invention concerne un condensateur de tranchée qui facilite l'approvisionnement d'un matériau de formation de film dans une tranchée, tout en assurant la résistance mécanique des parties de paroi qui délimitent la tranchée. Le condensateur de tranchée (1) est pourvu d'un matériau de base (10) comprenant des parties de paroi (12) qui délimitent une pluralité de tranchées (11), et d'une structure de moulage par injection de poudre (MIP) (20) disposée le long des parties de paroi (12). Les parties de paroi (12) comprennent une pluralité de parties de paroi principale (13) s'étendant dans une première direction le long d'une surface supérieure (10a) à partir d'une extrémité d'une région de tranchée (R) à son autre extrémité, et une pluralité de parties de paroi secondaire (14) s'étendant dans une seconde direction orthogonale à la première direction et le long de la surface supérieure (10a), et reliant des parties de paroi principale (13) adjacentes l'une à l'autre. La pluralité de parties de paroi principale (13) comprennent une première partie de paroi principale (13A), une deuxième partie de paroi principale (13B) et une troisième partie de paroi principale (13C). La pluralité de parties de paroi secondaire (14) comprennent une pluralité de premières parties de paroi secondaire (14A) reliant la première partie de paroi principale (13A) et la deuxième partie de paroi principale (13B), et une pluralité de secondes parties de paroi secondaire (14B) reliant la deuxième partie de paroi principale (13B) et la troisième partie de paroi principale (13C). La position des premières parties de paroi secondaire (14A) et la position des secondes parties de paroi secondaire (14B) dans la première direction sont décalées l'une de l'autre.
(JA) トレンチを画定する壁部の機械強度を確保しつつ、トレンチ内への成膜材料の供給を容易にすることが可能なトレンチキャパシタを提供する。 【解決手段】トレンチキャパシタ１は、複数のトレンチ１１を画定する壁部１２を有する基材１０と、壁部１２に沿って設けられたＭＩＭ構造体２０と、を備える。壁部１２は、上面１０ａに沿った第１方向において、トレンチ領域Ｒの一端から他端まで延びる複数の主壁部１３と、第１方向と直交し上面１０ａに沿った第２方向に延びて隣り合う主壁部１３同士を接続する複数の副壁部１４と、を含み、複数の主壁部１３は、第１主壁部１３Ａと、第２主壁部１３Ｂと、第３主壁部１３Ｃと、を含み、複数の副壁部１４は、第１主壁部１３Ａ及び第２主壁部１３Ｂを接続する複数の第１副壁部１４Ａと、第２主壁部１３Ｂ及び第３主壁部１３Ｃを接続する複数の第２副壁部１４Ｂと、を含み、第１方向における第１副壁部１４Ａの位置と第２副壁部１４Ｂの位置とは互いにずれている。