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1. WO2020245394 - MICROBOLOMÈTRE À PAS DE PIXEL RÉDUIT

Numéro de publication WO/2020/245394
Date de publication 10.12.2020
N° de la demande internationale PCT/EP2020/065677
Date du dépôt international 05.06.2020
CIB
G01J 5/08 2006.1
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
JMESURE DE L'INTENSITÉ, DE LA VITESSE, DU SPECTRE, DE LA POLARISATION, DE LA PHASE OU DES CARACTÉRISTIQUES D'IMPULSIONS DE LUMIÈRE INFRAROUGE, VISIBLE OU ULTRAVIOLETTE; COLORIMÉTRIE; PYROMÉTRIE DES RADIATIONS
5Pyrométrie des radiations
02Détails
08Particularités optiques
G01J 5/20 2006.1
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
JMESURE DE L'INTENSITÉ, DE LA VITESSE, DU SPECTRE, DE LA POLARISATION, DE LA PHASE OU DES CARACTÉRISTIQUES D'IMPULSIONS DE LUMIÈRE INFRAROUGE, VISIBLE OU ULTRAVIOLETTE; COLORIMÉTRIE; PYROMÉTRIE DES RADIATIONS
5Pyrométrie des radiations
10en utilisant des détecteurs électriques de radiations
20en utilisant des éléments résistants, thermorésistants ou semi-conducteurs sensibles aux radiations
CPC
G01J 5/0802
G01J 5/0853
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
5Radiation pyrometry
02Details
08Optical features
0803Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, gratings, holograms, cubic beamsplitters, prisms, particular coatings
0853using infrared absorbers other than the usual absorber layers deposited on infrared detectors like bolometers, wherein the heat propagation between the absorber and the detecting element occurs within a solid
G01J 5/20
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
5Radiation pyrometry
10using electric radiation detectors
20using resistors, thermistors or semiconductors sensitive to radiation
Déposants
  • LYNRED [FR]/[FR]
Inventeurs
  • BOUDOU, Nicolas
Mandataires
  • CABINET BEAUMONT
Données relatives à la priorité
FR190596205.06.2019FR
Langue de publication Anglais (en)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) MICROBOLOMETER HAVING REDUCED PIXEL PITCH
(FR) MICROBOLOMÈTRE À PAS DE PIXEL RÉDUIT
Abrégé
(EN) The present disclosure relates to a microbolometer comprising an array of pixels, each pixel comprising one or more detection cells, each detection cell comprising an absorption layer (530), wherein: the pitch of the detection cells in at least one direction in the plane of pixel array is between 5 and 11 µm; a pixel fill factor FF of the absorption layer (530) of the one or more detection cells in each pixel is in a range 0.10 to 0.50; and a sheet resistance Rs of the absorption layer (530) of each detection cell is between 16 and 189 ohm/sq.
(FR) La présente invention concerne un microbolomètre comprenant un réseau de pixels, chaque pixel comprenant une ou plusieurs cellules de détection, chaque cellule de détection comprenant une couche d'absorption (530), dans lequel : le pas des cellules de détection dans au moins une direction dans le plan du réseau de pixels est compris entre 5 et 11 µm; un facteur de remplissage de pixels FF de la couche d'absorption (530) de la ou des cellules de détection dans chaque pixel se situe dans une plage de 0,10 à 0,50; et une résistance de couche Rs de la couche d'absorption (530) de chaque cellule de détection est comprise entre 16 et 189 ohms/sq.
Documents de brevet associés
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