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1. WO2020240179 - LITHOGRAPHIE PAR SONDE À BALAYAGE

Numéro de publication WO/2020/240179
Date de publication 03.12.2020
N° de la demande internationale PCT/GB2020/051281
Date du dépôt international 27.05.2020
CIB
G03F 7/00 2006.01
GPHYSIQUE
03PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
FPRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
7Production par voie photomécanique, p.ex. photolithographique, de surfaces texturées, p.ex. surfaces imprimées; Matériaux à cet effet, p.ex. comportant des photoréserves; Appareillages spécialement adaptés à cet effet
G01Q 70/10 2010.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
QTECHNIQUES OU APPAREILS À SONDE À BALAYAGE; APPLICATIONS DES TECHNIQUES DE SONDE À BALAYAGE, p.ex. MICROSCOPIE À SONDE À BALAYAGE
70Aspects généraux des sondes SPM, leur fabrication ou leur instrumentation correspondante, dans la mesure où ces sondes ne sont pas spécialement adaptées à une seule technique SPM couverte par le groupe G01Q60/230
08Caractéristiques des sondes
10Forme ou cônicité
Déposants
  • OXFORD UNIVERSITY INNOVATION LIMITED [GB]/[GB]
Inventeurs
  • FARMAKIDIS, Nikolaos
  • SWETT, Jacob
  • BHASKARAN, Harish
Mandataires
  • DEHNS
Données relatives à la priorité
19386030.127.05.2019EP
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) SCANNING PROBE LITHOGRAPHY
(FR) LITHOGRAPHIE PAR SONDE À BALAYAGE
Abrégé
(EN)
A probe (12) for scanning probe lithography includes a tip (18) for forming patterns (15) on a surface (14) and a mount on which the tip is mounted for controlling one or more of the position and orientation of the tip. The tip has a first end proximal to the mount and a second end (18) distal to the mount. The cross section of the second end of the tip is non-circular.
(FR)
Une sonde (12) pour la lithographie par sonde à balayage comprend une pointe (18) pour former des motifs (15) sur une surface (14) et une monture sur laquelle la pointe est montée pour commander la position et/ou l'orientation de la pointe. La pointe a une première extrémité proximale par rapport à la monture et une seconde extrémité (18) distale par rapport à la monture. La section transversale de la seconde extrémité de la pointe est non circulaire.
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