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1. WO2020239426 - MÉCANISME ANTI-FROTTEMENT D'ÉTAGE POUR AMÉLIORATION DE LA DURÉE DE VIE D'UN ROULEMENT À ROULEAUX

Numéro de publication WO/2020/239426
Date de publication 03.12.2020
N° de la demande internationale PCT/EP2020/063148
Date du dépôt international 12.05.2020
CIB
H01J 37/20 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
02Détails
20Moyens de support ou de mise en position de l'objet ou du matériau; Moyens de réglage de diaphragmes ou de lentilles associées au support
G03F 7/20 2006.01
GPHYSIQUE
03PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
FPRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
7Production par voie photomécanique, p.ex. photolithographique, de surfaces texturées, p.ex. surfaces imprimées; Matériaux à cet effet, p.ex. comportant des photoréserves; Appareillages spécialement adaptés à cet effet
20Exposition; Appareillages à cet effet
B23Q 1/44 2006.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
23MACHINES-OUTILS; TRAVAIL DES MÉTAUX NON PRÉVU AILLEURS
QPARTIES CONSTITUTIVES, AMÉNAGEMENTS OU ACCESSOIRES DES MACHINES-OUTILS, p.ex. DISPOSITIONS POUR COPIER OU COMMANDER; MACHINES-OUTILS D'UTILISATION GÉNÉRALE, CARACTÉRISÉES PAR LA STRUCTURE DE CERTAINES PARTIES CONSTITUTIVES OU AMÉNAGEMENTS; COMBINAISONS OU ASSOCIATIONS DE MACHINES POUR LE TRAVAIL DES MÉTAUX, NE VISANT PAS UN TRAVAIL PARTICULIER
1Eléments composant la structure générale d'un type de machine, et plus spécialement gros éléments fixes
25Supports mobiles ou réglables d'outils ou de pièces
44utilisant des mécanismes particuliers
Déposants
  • ASML NETHERLANDS B.V. [NL]/[NL]
Inventeurs
  • VAN GERVEN, Mark, Henricus, Wilhelmus,
  • VAN DE RIJDT, Johannes, Hubertus, Antonius
  • RONDE, Michaël, Johannes, Christiaan
  • BOSCH, Niels, Johannes, Maria
Mandataires
  • PETERS, John Antoine
Données relatives à la priorité
19176502.324.05.2019EP
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) STAGE ANTI-FRETTING MECHANISM FOR ROLLER BEARING LIFETIME IMPROVEMENT
(FR) MÉCANISME ANTI-FROTTEMENT D'ÉTAGE POUR AMÉLIORATION DE LA DURÉE DE VIE D'UN ROULEMENT À ROULEAUX
Abrégé
(EN)
Disclosed is a stage apparatus, comprising: a short stroke stage; a long stroke stage; a first sensor configured to measure a position of the short stroke stage with respect to a reference arranged not on the short stroke stage and not on the long stroke stage; one or more roller bearings configured to support the long stroke stage; and a controller for controlling a motion of the long stroke stage and a motion of the short stroke stage for following movement of the reference at least partly based on measurement from the first sensor, wherein said controller is operable such that control of the long stroke stage is decoupled from said movement of the reference in at least part of operation of the stage apparatus for reducing debris generation of the one or more roller bearings
(FR)
L'invention concerne un appareil d'étage, comprenant : un étage à course courte ; un étage à course longue ; un premier capteur configuré pour mesurer une position de l'étage à course courte par rapport à une référence non agencée sur l'étage à course courte et sur l'étage à course longue ; un ou plusieurs roulements à rouleaux configurés pour supporter l'étage à course longue ; et un dispositif de commande pour commander un mouvement de l'étage à course longue et un mouvement de l'étage à course courte pour suivre le mouvement de la référence au moins en partie sur la base d'une mesure provenant du premier capteur, ledit dispositif de commande étant actionnable de telle sorte que la commande de l'étage à course longue est découplée dudit mouvement de la référence dans au moins une partie du fonctionnement de l'appareil d'étage pour réduire la génération de débris de l'un ou plusieurs roulements à rouleaux.
Également publié en tant que
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