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1. WO2020221045 - PROCÉDÉ ET CIRCUIT POUR OBTENIR UN SIGNAL DE RÉTROACTION CAPACITIVE D'UN MICROMIROIR DE TORSION DE TYPE À RÉTROACTION CAPACITIVE

Numéro de publication WO/2020/221045
Date de publication 05.11.2020
N° de la demande internationale PCT/CN2020/085705
Date du dépôt international 20.04.2020
CIB
G02B 26/08 2006.01
GPHYSIQUE
02OPTIQUE
BÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
26Dispositifs ou systèmes optiques utilisant des éléments optiques mobiles ou déformables pour commander l'intensité, la couleur, la phase, la polarisation ou la direction de la lumière, p.ex. commutation, ouverture de porte ou modulation
08pour commander la direction de la lumière
CPC
G02B 26/0841
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
26Optical devices or arrangements using movable or deformable optical elements for controlling the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light, e.g. switching, gating, modulating
08for controlling the direction of light
0816by means of one or more reflecting elements
0833the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
0841the reflecting element being moved or deformed by electrostatic means
Déposants
  • 西安知微传感技术有限公司 XI AN ZHISENSOR TECHNOLOGIES CO., LTD. [CN]/[CN]
Inventeurs
  • 夏长锋 XIA, Changfeng
  • 郑文会 ZHENG, Wenhui
  • 宋秀敏 SONG, Xiumin
  • 游桥明 YOU, Qiaoming
  • 乔大勇 QIAO, Dayong
Mandataires
  • 西安通大专利代理有限责任公司 XI'AN TONG DA PATENT AGENCY CO., LTD.
Données relatives à la priorité
201910355532.X29.04.2019CN
Langue de publication chinois (ZH)
Langue de dépôt chinois (ZH)
États désignés
Titre
(EN) METHOD AND CIRCUIT FOR OBTAINING CAPACITIVE FEEDBACK SIGNAL OF CAPACITIVE FEEDBACK-TYPE MICRO TORSION MIRROR
(FR) PROCÉDÉ ET CIRCUIT POUR OBTENIR UN SIGNAL DE RÉTROACTION CAPACITIVE D'UN MICROMIROIR DE TORSION DE TYPE À RÉTROACTION CAPACITIVE
(ZH) 获取电容反馈式微扭转镜电容反馈信号的方法及电路
Abrégé
(EN)
A method and circuit for obtaining a capacitive feedback signal of a capacitive feedback-type micro torsion mirror, which solves the problem of the stability of the capacitive feedback signal of the micro torsion mirror being poor. First, a pulse signal is used as a driving signal to drive the capacitive feedback-type micro torsion mirror to vibrate; it is ensured that during an interval of two adjacent sets of driving pulses, the micro torsion mirror may twist freely for at least 0.5 cycles; secondly, the capacitive feedback signal of the capacitive feedback-type micro torsion mirror is extracted, and the capacitive feedback signal is converted into a voltage signal; then, the voltage signal is amplified; and finally during the interval between the two adjacent sets of driving pulses, the amplified voltage signal is extracted and taken as a real capacitive feedback signal. A carrier generation circuit and a detection circuit are omitted, and the influence of the carrier generation circuit and the detection circuit on a capacitive feedback signal is eliminated. The circuit is more concise and the stability of the capacitive feedback signal is improved. At the same time, a specific driving form and signal extraction manner are used to obtain the real capacitive feedback signal.
(FR)
Un procédé et un circuit pour obtenir un signal de rétroaction capacitive d'un micromiroir de torsion de type à rétroaction capacitive, qui résolvent le problème de la médiocre stabilité du signal de rétroaction capacitive du micromiroir de torsion. Premièrement, un signal d'impulsion est utilisé en tant que signal d'entraînement pour entraîner le micromiroir de torsion de type à rétroaction capacitive à vibrer ; il est assuré que pendant un intervalle de deux ensembles adjacents d'impulsions d'entraînement, le micromiroir de torsion peut tourner librement pendant au moins 0,5 cycle ; deuxièmement, le signal de rétroaction capacitive du micromiroir de torsion de type à rétroaction capacitive est extrait, et le signal de rétroaction capacitive est converti en un signal de tension ; puis, le signal de tension est amplifié ; et enfin pendant l'intervalle entre les deux ensembles adjacents d'impulsions d'entraînement, le signal de tension amplifié est extrait et pris en tant que signal de rétroaction capacitive réel. Un circuit de génération de porteuse et un circuit de détection sont omis, et l'influence du circuit de génération de porteuse et du circuit de détection sur un signal de rétroaction capacitive est éliminée. Le circuit est plus concis et la stabilité du signal de rétroaction capacitive est améliorée. Dans le même temps, une forme d'entraînement spécifique et un mode d'extraction de signal sont utilisés pour obtenir le signal de rétroaction capacitive réel.
(ZH)
一种获取电容反馈式微扭转镜电容反馈信号的方法及电路,解决了微扭转镜电容反馈信号稳定性差的问题,首先将脉冲信号作为驱动信号驱动电容反馈式微扭转镜振动;确保在相邻两组驱动脉冲间隔期间,微扭转镜至少能够自由扭转0.5个周期;其次,提取电容反馈式微扭转镜的电容反馈信号,将电容反馈信号转化为电压信号;然后,将电压信号进行放大;最后在相邻两组驱动脉冲间隔期间,提取放大后的电压信号,作为真实电容反馈信号。省略了载波发生电路和检波电路,消除因载波发生电路和检波电路对电容反馈信号的影响,电路更简洁,提高了电容反馈信号的稳定性,同时采用特定的驱动形式及信号提取方式获得真实的电容反馈信号。
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