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1. WO2020203144 - PROCÉDÉ DE FABRICATION D'ÉLÉMENT OSCILLANT À QUARTZ

Numéro de publication WO/2020/203144
Date de publication 08.10.2020
N° de la demande internationale PCT/JP2020/010832
Date du dépôt international 12.03.2020
CIB
H03H 3/02 2006.01
HÉLECTRICITÉ
03CIRCUITS ÉLECTRONIQUES FONDAMENTAUX
HRÉSEAUX D'IMPÉDANCES, p.ex. CIRCUITS RÉSONNANTS; RÉSONATEURS
3Appareils ou procédés spécialement adaptés à la fabrication de réseaux d'impédance, de circuits résonnants, de résonateurs
007pour la fabrication de résonateurs ou de réseaux électromécaniques
02pour la fabrication de résonateurs ou de réseaux piézo-électriques ou électrostrictifs
H03H 9/19 2006.01
HÉLECTRICITÉ
03CIRCUITS ÉLECTRONIQUES FONDAMENTAUX
HRÉSEAUX D'IMPÉDANCES, p.ex. CIRCUITS RÉSONNANTS; RÉSONATEURS
9Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques
15Détails de réalisation de résonateurs se composant de matériau piézo-électrique ou électrostrictif
17ayant un résonateur unique
19en quartz
Déposants
  • 株式会社村田製作所 MURATA MANUFACTURING CO., LTD. [JP]/[JP]
Inventeurs
  • 木津 徹 KIZU, Toru
  • 平賀 章浩 HIRAKA, Akihiro
  • 大井 友貴 OOI, Yuuki
  • 鎌田 威 KAMADA, Takeshi
  • 熊野 裕司 KUMANO, Hiroshi
Mandataires
  • 稲葉 良幸 INABA, Yoshiyuki
  • 大貫 敏史 ONUKI, Toshifumi
Données relatives à la priorité
2019-06658829.03.2019JP
Langue de publication japonais (JA)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) QUARTZ OSCILLATING ELEMENT MANUFACTURING METHOD
(FR) PROCÉDÉ DE FABRICATION D'ÉLÉMENT OSCILLANT À QUARTZ
(JA) 水晶振動素子の製造方法
Abrégé
(EN)
The present invention suppresses the occurrence of a burr remaining on a quartz oscillating element. This quartz oscillating element manufacturing method includes a step S in which a quartz piece 130, a crosspiece section 110, and a support section 120 that supports the quartz piece 130 on the crosspiece section 110 are formed by photoetching in an AT cut quartz substrate 101, which has been cut out such that the crystal axes of the quartz serve as an X axis, a Y axis, and a Z axis, the results of rotating the Y axis and the Z axis by a prescribed angle in a counterclockwise direction around the X axis serve as a Y’ axis and a Z’ axis, and surfaces that are parallel to a plane including the Z’ axis and the X axis serve as main surfaces on the positive direction side and the negative direction side of the Y’ axis. In this forming step, when a main surface is viewed in planar view, bottomed grooves 140A, 140B that are along a boundary line between the support section 120 and the quartz piece 130 are formed in the support section 120, and these bottomed grooves 140A, 140B are positioned on the Z’ axis negative direction side of the main surface on the Y’ axis positive direction side, and/or on the Z’ axis positive direction side of the main surface on the Y’ axis negative direction side.
(FR)
La présente invention permet de supprimer l'apparition d'une bavure restant sur un élément oscillant à quartz. Le présent procédé de fabrication d'élément oscillant à quartz comprend une étape S durant laquelle une pièce de quartz 130, une section de traverse 110 et une section de support 120 qui supporte la pièce de quartz 130 sur la section de traverse 110 sont formées par photogravure dans un substrat de quartz de découpe AT 101, qui a été découpé de sorte que les axes cristallins du quartz servent d'axe X, d'axe Y et d'axe Z, que les résultats de rotation de l'axe Y et de l'axe Z selon un angle prescrit dans un sens antihoraire autour de l'axe X servent d'axe Y' et d'axe Z', et que des surfaces qui sont parallèles à un plan comprenant l'axe Z' et l'axe X servent de surfaces principales du côté sens positif et du côté sens négatif de l'axe Y. À cette étape de formation, lorsqu'une surface principale est observée dans une vue en plan, des rainures à fond 140A, 140B qui se trouvent le long d'une ligne de délimitation entre la section de support 120 et la pièce de quartz 130 sont formées dans la section de support 120, et ces rainures à fond 140A, 140B sont positionnées du côté sens négatif d'axe Z' de la surface principale du côté sens positif d'axe Y', et/ou du côté sens positif d'axe Z' de la surface principale du côté sens négatif d'axe Y'.
(JA)
水晶振動素子に残るバリの発生を抑制する。 水晶振動素子の製造方法は、水晶の結晶軸をX軸、Y軸、Z軸として、Y軸及びZ軸をX軸の回りに反時計方向に所定の角度回転させてY'軸及びZ'軸とし、Z'軸とX軸とを含む面と平行な面をY'軸の正方向側及び負方向側の主面として切り出したATカットの水晶基板101に、フォトエッチングによって、水晶片130と、桟部110と、水晶片130を桟部110に支持する支持部120とを形成する工程Sを含み、形成する工程において、主面を平面視したときに、支持部120に、当該支持部120と水晶片130との境界線に沿う有底の溝140A,140Bが形成され、当該有底の溝140A,140Bは、Y'軸の正方向側の主面におけるZ'軸の負方向側、及び、Y'軸の負方向側の主面におけるZ'軸の正方向側の少なくとも一方に配置される。
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