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1. WO2020200610 - SYSTÈME DE RAYONNEMENT

Numéro de publication WO/2020/200610
Date de publication 08.10.2020
N° de la demande internationale PCT/EP2020/055514
Date du dépôt international 03.03.2020
CIB
H05G 2/00 2006.01
HÉLECTRICITÉ
05TECHNIQUES ÉLECTRIQUES NON PRÉVUES AILLEURS
GTECHNIQUE DES RAYONS X
2Appareils ou procédés spécialement adaptés à la production de rayons X, n'utilisant pas de tubes à rayons X, p.ex. utilisant la génération d'un plasma
CPC
H05G 2/008
HELECTRICITY
05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
GX-RAY TECHNIQUE
2Apparatus or processes specially adapted for producing X-rays, not involving X-ray tubes, e.g. involving generation of a plasma
001X-ray radiation generated from plasma
008involving a beam of energy, e.g. laser or electron beam in the process of exciting the plasma
Déposants
  • ASML NETHERLANDS B.V. [NL]/[NL]
Inventeurs
  • DINGEMANS, Gijs
  • O'GORMAN, Colm
  • HAVERKORT, Ruben
Mandataires
  • KRUK, Arno
Données relatives à la priorité
19167341.704.04.2019EP
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) RADIATION SYSTEM
(FR) SYSTÈME DE RAYONNEMENT
Abrégé
(EN)
A radiation system configured to produce radiation and comprising a droplet generator (3) configured to produce a droplet of fuel traveling towards a plasma formation region, a laser system operative to generate a pre-pulse (PP) and a main pulse (MP), wherein the pre-pulse is configured to condition the droplet for receipt of the main pulse, and wherein the main pulse is configured to convert the conditioned droplet into plasma producing the radiation and a control system configured to control a spatial offset between the pre-pulse and the droplet in a plane transverse to a propagation direction of the pre-pulse, wherein the control system is configured to adjust the spatial offset so as to maximize a velocity change of the conditioned droplet in a plane transverse to a propagation direction of the main pulse.
(FR)
La présente invention concerne un système de rayonnement configuré pour produire un rayonnement et comprenant un générateur de gouttelettes (3) configuré pour produire une gouttelette de combustible se déplaçant vers une région de formation de plasma, un système laser opérationnel pour générer une pré-impulsion (PP) et une impulsion principale (MP), la pré-impulsion étant configurée pour conditionner la gouttelette pour la réception de l'impulsion principale, et l'impulsion principale étant configurée pour convertir la gouttelette conditionnée en plasma produisant le rayonnement et un système de commande configuré pour commander un décalage spatial entre la pré-impulsion et la gouttelette dans un plan transversal à une direction de propagation de la pré-impulsion, le système de commande étant configuré pour ajuster le décalage spatial de façon à maximiser un changement de vitesse de la gouttelette conditionnée dans un plan transversal à une direction de propagation de l'impulsion principale.
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