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1. WO2020199207 - PROCÉDÉ D'INSPECTION OPTIQUE DE DÉFAUT DE SURFACE ET DISPOSITIF ASSOCIÉ

Numéro de publication WO/2020/199207
Date de publication 08.10.2020
N° de la demande internationale PCT/CN2019/081553
Date du dépôt international 04.04.2019
CIB
G01N 21/892 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
NRECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
21Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de moyens optiques, c. à d. en utilisant des rayons infrarouges, visibles ou ultraviolets
84Systèmes spécialement adaptés à des applications particulières
88Recherche de la présence de criques, de défauts ou de souillures
89dans un matériau mobile, p.ex. du papier, des textiles
892caractérisée par la crique, le défaut ou la caractéristique de l'objet examiné
CPC
G01N 21/01
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible or ultra-violet light
01Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
G01N 21/956
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible or ultra-violet light
84Systems specially adapted for particular applications
88Investigating the presence of flaws or contamination
95characterised by the material or shape of the object to be examined
956Inspecting patterns on the surface of objects
Déposants
  • 合刃科技(深圳)有限公司 HEREN KEJI (SHENZHEN) LLC [CN]/[CN]
Inventeurs
  • 王星泽 WANG, Xingze
  • 祝毅博 ZHU, Yibo
  • 何良雨 HE, Liangyu
Mandataires
  • 广州三环专利商标代理有限公司 SCIHEAD IP LAW FIRM
Données relatives à la priorité
Langue de publication chinois (ZH)
Langue de dépôt chinois (ZH)
États désignés
Titre
(EN) SURFACE DEFECT OPTICAL INSPECTION METHOD AND RELATED DEVICE
(FR) PROCÉDÉ D'INSPECTION OPTIQUE DE DÉFAUT DE SURFACE ET DISPOSITIF ASSOCIÉ
(ZH) 表面缺陷光学检测方法及相关装置
Abrégé
(EN)
A surface defect optical inspection method and a related device. The method comprises: holding at least two measurement samples, wherein a slit is linearly provided in a preset direction between any two adjacent measurement samples of the at least two measurement samples; causing parallel light to enter the slit in the preset direction; acquiring an optical image of light exiting from the slit; and determining a surface defect of the measurement samples according to the optical image. The method enables simultaneous inspection of multiple measurement samples, and improves the accuracy and efficiency of surface inspection.
(FR)
L'invention concerne un procédé d'inspection optique de défaut de surface et un dispositif associé. Le procédé consiste : à maintenir au moins deux échantillons de mesure, une fente étant disposée linéairement dans une direction prédéfinie entre deux échantillons de mesure adjacents parmi lesdits échantillons de mesure ; à provoquer l'entrée d'une lumière parallèle dans la fente dans la direction prédéfinie ; à acquérir une image optique de lumière sortant de la fente ; et à déterminer un défaut de surface des échantillons de mesure en fonction de l'image optique. Le procédé permet l'inspection simultanée de multiples échantillons de mesure, et améliore la précision et l'efficacité d'inspection de surface.
(ZH)
一种表面缺陷光学检测方法及相关装置,方法包括:夹持至少两个待测样品,至少两个待测样品中任意两个相邻的待测样品之间形成在预设方向上直线贯通的狭缝;沿预设方向向狭缝入射平行光线;采集从狭缝出射的光线的光学图像;根据光学图像确定待测样品的表面缺陷。该方法有利于同时检测多个待测样品,提高了表面检测的准确度和效率。
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