Traitement en cours

Veuillez attendre...

PATENTSCOPE sera indisponible durant quelques heures pour des raisons de maintenance le samedi 31.10.2020 à 7:00 AM CET
Paramétrages

Paramétrages

Aller à Demande

1. WO2020196954 - APPAREIL POUR DÉTERMINER SI UN ÉLÉMENT CHAUFFANT EST ANORMAL À L'AIDE DE LA CONSOMMATION D'ÉNERGIE ET SON PROCÉDÉ

Numéro de publication WO/2020/196954
Date de publication 01.10.2020
N° de la demande internationale PCT/KR2019/003558
Date du dépôt international 27.03.2019
CIB
H01L 21/67 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
H01L 21/02 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
02Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
Déposants
  • (주)누리텔레콤 NURI TELECOM CO., LTD. [KR]/[KR]
Inventeurs
  • 김범주 KIM, Beom-Joo
Mandataires
  • 특허법인 태백 TAEBAEK INTELLECTUAL PROPERTY LAW FIRM
Données relatives à la priorité
10-2019-003439626.03.2019KR
Langue de publication coréen (KO)
Langue de dépôt coréen (KO)
États désignés
Titre
(EN) APPARATUS FOR DETERMINING WHETHER HEATER IS ABNORMAL BY USING POWER CONSUMPTION AND METHOD THEREFOR
(FR) APPAREIL POUR DÉTERMINER SI UN ÉLÉMENT CHAUFFANT EST ANORMAL À L'AIDE DE LA CONSOMMATION D'ÉNERGIE ET SON PROCÉDÉ
(KO) 전력 사용량을 이용한 히터 이상 여부 판단 장치 및 그 방법
Abrégé
(EN)
The present invention relates to an apparatus for determining whether a heater is abnormal by using power consumption and a method therefor. The method for determining whether a heater is abnormal by using power consumption, according to the present invention, comprises the steps of: reading hourly power consumption according to changes in temperature of the heater; calculating an abnormality index value by using a difference between predefined power consumption reference data for each temperature of the heater and data of the read power consumption; determining whether the heater is abnormal and a degree of abnormality by using the abnormality index value; and, if it is determined that the heater is abnormal, issuing a warning at a level corresponding to the degree of abnormality. As such, according to the present invention, in a heat treatment manufacturing process, it is possible to determine early whether a heater is abnormal by reading power consumption according to changes in temperature of the heater, and thus, there are effects of reducing a defect rate of parts resulting when the heater is abnormal, and reducing the loss of time and manufacturing costs.
(FR)
La présente invention concerne un appareil pour déterminer si un élément chauffant est anormal à l'aide de la consommation d'énergie et son procédé. Le procédé pour déterminer si un élément chauffant est anormal à l'aide de la consommation d'énergie, selon la présente invention, comprend les étapes consistant à : lire la consommation d'énergie horaire en fonction de changements de température de l'élément chauffant; calculer une valeur d'indice d'anomalie à l'aide d'une différence entre des données de référence de consommation d'énergie prédéfinies pour chaque température de l'élément chauffant et des données de la consommation d'énergie de lecture; déterminer si l'élément chauffant est anormal et un degré d'anomalie à l'aide de la valeur d'indice d'anomalie; et, s'il est déterminé que l'élément chauffant est anormal, émettre un avertissement à un niveau correspondant au degré d'anomalie. Ainsi, selon la présente invention, dans un processus de fabrication de traitement thermique, il est possible de déterminer précocement si un élément chauffant est anormal en lisant la consommation d'énergie en fonction des changements de température de l'élément chauffant, et ainsi, il y a des effets de réduction d'un taux de défauts de pièces résultant lorsque l'élément chauffant est anormal, et de réduction de la perte de temps et des coûts de fabrication.
(KO)
본 발명은 전력 사용량을 이용한 히터 이상 여부 판단 장치 및 그 방법에 대한 것이다. 본 발명에 따른 전력 사용량을 이용한 히터 이상 여부 판단 방법은, 히터 온도 변화에 따른 시간별 전력 사용량을 검침하는 단계와, 기 정의된 히터 온도별 전력 사용량 기준 데이터와 검침된 전력 사용량 데이터의 차이를 이용하여 이상지수 값을 연산하는 단계와, 상기 이상지수 값을 이용하여 히터의 이상 여부 및 이상 정도를 판단하는 단계 및 상기 히터가 이상인 것으로 판단된 경우, 해당 이상 정도에 대응하는 수준으로 경고하는 단계를 포함한다. 이와 같이 본 발명에 따르면, 열처리 제조 공정에서 히터의 온도 변화에 따른 전력 사용량을 검침하여 히터의 이상 여부를 조기에 판단할 수 있어 히터 이상시 발생되는 부품의 불량률을 저감시킬 수 있고, 시간 및 제조 비용의 손실을 절감시킬 수 있는 효과가 있다.
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international