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1. WO2020167947 - MESURE DE POSITION BASÉE SUR RADAR POUR SYSTÈMES ROBOTIQUES

Numéro de publication WO/2020/167947
Date de publication 20.08.2020
N° de la demande internationale PCT/US2020/017925
Date du dépôt international 12.02.2020
CIB
H01L 21/68 2006.1
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
68pour le positionnement, l'orientation ou l'alignement
B25J 13/08 2006.1
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
25OUTILS À MAIN; OUTILS PORTATIFS À MOTEUR; MANCHES POUR USTENSILES À MAIN; OUTILLAGE D'ATELIER; MANIPULATEURS
JMANIPULATEURS; ENCEINTES À DISPOSITIFS DE MANIPULATION INTÉGRÉS
13Commandes pour manipulateurs
08au moyens de dispositifs sensibles, p.ex. à la vue ou au toucher
B25J 19/02 2006.1
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
25OUTILS À MAIN; OUTILS PORTATIFS À MOTEUR; MANCHES POUR USTENSILES À MAIN; OUTILLAGE D'ATELIER; MANIPULATEURS
JMANIPULATEURS; ENCEINTES À DISPOSITIFS DE MANIPULATION INTÉGRÉS
19Accessoires adaptés aux manipulateurs, p.ex. pour contrôler, pour observer; Dispositifs de sécurité combinés avec les manipulateurs ou spécialement conçus pour être utilisés en association avec ces manipulateurs
02Dispositifs sensibles
B65G 49/07 2006.1
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
65MANUTENTION; EMBALLAGE; EMMAGASINAGE; MANIPULATION DES MATÉRIAUX DE FORME PLATE OU FILIFORME
GDISPOSITIFS DE TRANSPORT OU D'EMMAGASINAGE, p.ex. TRANSPORTEURS POUR CHARGEMENT OU BASCULEMENT, SYSTÈMES TRANSPORTEURS POUR MAGASINS OU TRANSPORTEURS PNEUMATIQUES À TUBES
49Systèmes transporteurs caractérisés par leur utilisation à des fins particulières, non prévus ailleurs
05pour des matériaux ou objets fragiles ou dommageables
07pour des plaquettes semi-conductrices
H01L 21/677 2006.1
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
677pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
CPC
B25J 11/0095
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
11Manipulators not otherwise provided for
0095Manipulators transporting wafers
B25J 13/089
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
13Controls for manipulators
08by means of sensing devices, e.g. viewing or touching devices
088with position, velocity or acceleration sensors
089Determining the position of the robot with reference to its environment
B25J 19/021
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
19Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
02Sensing devices
021Optical sensing devices
B25J 19/026
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
19Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
02Sensing devices
026Acoustical sensing devices
G01S 13/42
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
13Systems using the reflection or reradiation of radio waves, e.g. radar systems; Analogous systems using reflection or reradiation of waves whose nature or wavelength is irrelevant or unspecified
02Systems using reflection of radio waves, e.g. primary radar systems; Analogous systems
06Systems determining position data of a target
42Simultaneous measurement of distance and other co-ordinates
G01S 13/58
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
13Systems using the reflection or reradiation of radio waves, e.g. radar systems; Analogous systems using reflection or reradiation of waves whose nature or wavelength is irrelevant or unspecified
02Systems using reflection of radio waves, e.g. primary radar systems; Analogous systems
50Systems of measurement based on relative movement of target
58Velocity or trajectory determination systems; Sense-of-movement determination systems
Déposants
  • PERSIMMON TECHNOLOGIES CORPORATION [US]/[US]
Inventeurs
  • WILKAS, Scott
Mandataires
  • HARRINGTON, Mark, F.
  • GROHS, Wayne, R.
  • MAURI, Robert, J.
Données relatives à la priorité
62/805,55414.02.2019US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) RADAR BASED POSITION MEASUREMENT FOR ROBOT SYSTEMS
(FR) MESURE DE POSITION BASÉE SUR RADAR POUR SYSTÈMES ROBOTIQUES
Abrégé
(EN)
An apparatus including at least one emitter configured to emit energy; at least one receiver configured to receive the emitted energy, where the at least one emitter is mounted on at least one of: a robot arm, an end effector of the robot arm, a substrate on the robot arm, or a substrate process module, where the at least one receiver is mounted on at least one of: the robot arm, the end effector of the robot arm, the substrate on the robot arm, or the substrate process module.
(FR)
L'invention concerne un appareil comprenant au moins un émetteur configuré pour émettre de l'énergie ; au moins un récepteur configuré pour recevoir l'énergie émise, l'au moins un émetteur étant monté sur au moins l'un parmi : un bras de robot, un effecteur d'extrémité du bras de robot, un substrat sur le bras de robot, ou un module de traitement de substrat, l'au moins un récepteur étant monté sur au moins l'un parmi : le bras de robot, l'effecteur d'extrémité du bras de robot, le substrat sur le bras de robot, ou le module de traitement de substrat.
Également publié en tant que
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international