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1. WO2020163570 - MESURE D'ÉPAISSEUR DE SUBSTRAT PAR MÉTROLOGIE DE COULEUR

Numéro de publication WO/2020/163570
Date de publication 13.08.2020
N° de la demande internationale PCT/US2020/016964
Date du dépôt international 06.02.2020
CIB
G06T 7/40 2006.1
GPHYSIQUE
06CALCUL; COMPTAGE
TTRAITEMENT OU GÉNÉRATION DE DONNÉES D'IMAGE, EN GÉNÉRAL
7Analyse d'image
40Analyse de la texture
G06T 7/90 2017.1
GPHYSIQUE
06CALCUL; COMPTAGE
TTRAITEMENT OU GÉNÉRATION DE DONNÉES D'IMAGE, EN GÉNÉRAL
7Analyse d'image
90Détermination de caractéristiques de couleur
H04N 5/247 2006.1
HÉLECTRICITÉ
04TECHNIQUE DE LA COMMUNICATION ÉLECTRIQUE
NTRANSMISSION D'IMAGES, p.ex. TÉLÉVISION
5Détails des systèmes de télévision
222Circuits de studio; Dispositifs de studio; Equipements de studio
225Caméras de télévision
247Disposition des caméras de télévision
H04N 5/225 2006.1
HÉLECTRICITÉ
04TECHNIQUE DE LA COMMUNICATION ÉLECTRIQUE
NTRANSMISSION D'IMAGES, p.ex. TÉLÉVISION
5Détails des systèmes de télévision
222Circuits de studio; Dispositifs de studio; Equipements de studio
225Caméras de télévision
H04N 9/04 2006.1
HÉLECTRICITÉ
04TECHNIQUE DE LA COMMUNICATION ÉLECTRIQUE
NTRANSMISSION D'IMAGES, p.ex. TÉLÉVISION
9Détails des systèmes de télévision en couleurs
04Générateurs de signaux d'image
B24B 37/013 2012.1
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
24MEULAGE; POLISSAGE
BMACHINES, DISPOSITIFS OU PROCÉDÉS POUR MEULER OU POUR POLIR; DRESSAGE OU REMISE EN ÉTAT DES SURFACES ABRASIVES; ALIMENTATION DES MACHINES EN MATÉRIAUX DE MEULAGE, DE POLISSAGE OU DE RODAGE
37Machines ou dispositifs de rodage; Accessoires
005Moyens de commande pour machines ou dispositifs de rodage
013Dispositifs ou moyens pour détecter la fin de l'opération de rodage
CPC
B24B 37/013
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
24GRINDING; POLISHING
BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING
37Lapping machines or devices; Accessories
005Control means for lapping machines or devices
013Devices or means for detecting lapping completion
G06T 7/00
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
7Image analysis
G06T 7/40
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
7Image analysis
40Analysis of texture
G06T 7/90
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
7Image analysis
90Determination of colour characteristics
H04N 5/225
HELECTRICITY
04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
5Details of television systems
222Studio circuitry; Studio devices; Studio equipment ; ; Cameras comprising an electronic image sensor, e.g. digital cameras, video cameras, TV cameras, video cameras, camcorders, webcams, camera modules for embedding in other devices, e.g. mobile phones, computers or vehicles
225Television cameras ; ; Cameras comprising an electronic image sensor, e.g. digital cameras, video cameras, camcorders, webcams, camera modules specially adapted for being embedded in other devices, e.g. mobile phones, computers or vehicles
H04N 5/247
HELECTRICITY
04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
5Details of television systems
222Studio circuitry; Studio devices; Studio equipment ; ; Cameras comprising an electronic image sensor, e.g. digital cameras, video cameras, TV cameras, video cameras, camcorders, webcams, camera modules for embedding in other devices, e.g. mobile phones, computers or vehicles
225Television cameras ; ; Cameras comprising an electronic image sensor, e.g. digital cameras, video cameras, camcorders, webcams, camera modules specially adapted for being embedded in other devices, e.g. mobile phones, computers or vehicles
247Arrangements of television cameras
Déposants
  • APPLIED MATERIALS, INC. [US]/[US]
Inventeurs
  • BENVEGNU, Dominic J.
  • SWEDEK, Boguslaw A.
Mandataires
  • GOREN, David J.
Données relatives à la priorité
16/388,77718.04.2019US
62/802,66207.02.2019US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) THICKNESS MEASUREMENT OF SUBSTRATE USING COLOR METROLOGY
(FR) MESURE D'ÉPAISSEUR DE SUBSTRAT PAR MÉTROLOGIE DE COULEUR
Abrégé
(EN)
A system for obtaining a measurement representative of a thickness of a layer on a substrate includes a support to hold a substrate, an optical assembly to capture two color images with light impinging the substrate at different angles of incidence, and a controller. The controller is configured to store a function that provides a value representative of a thickness as a function of position along a predetermined path in a coordinate space of at least four dimensions. For a pixel in the two color images, the controller determines a coordinate in the coordinate space from the color data, determines a position of a point on the predetermined path that is closest to the coordinate, and calculates a value representative of a thickness from the function and the position of the point on the predetermined path.
(FR)
L'invention concerne un système destiné à obtenir une mesure représentative d'une épaisseur d'une couche sur un substrat qui comprend un support pour maintenir un substrat, un ensemble optique pour capturer deux images en couleur avec une lumière incidente sur le substrat à différents angles d'incidence, et un dispositif de commande. Le dispositif de commande est configuré pour stocker une fonction qui fournit une valeur représentative d'une épaisseur en fonction de la position le long d'un trajet prédéterminé dans un espace de coordonnées d'au moins quatre dimensions. Pour un pixel dans les deux images couleur, le dispositif de commande détermine une coordonnée dans l'espace de coordonnées à partir des données de couleur, détermine une position d'un point sur le trajet prédéterminé qui est le plus proche de la coordonnée, et calcule une valeur représentative d'une épaisseur à partir de la fonction et de la position du point sur le trajet prédéterminé.
Également publié en tant que
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