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1. WO2020161353 - PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN ACTIONNEUR PIÉZOÉLECTRIQUE À EMPILEMENT ET ACTIONNEUR PIÉZOÉLECTRIQUE À EMPILEMENT

Numéro de publication WO/2020/161353
Date de publication 13.08.2020
N° de la demande internationale PCT/EP2020/053299
Date du dépôt international 10.02.2020
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 01.12.2020
CIB
H01L 41/047 2006.1
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
41Dispositifs piézo-électriques en général; Dispositifs électrostrictifs en général; Dispositifs magnétostrictifs en général; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives; Détails
02Détails
04d'éléments piézo-électriques ou électrostrictifs
047Electrodes
H01L 41/083 2006.1
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
41Dispositifs piézo-électriques en général; Dispositifs électrostrictifs en général; Dispositifs magnétostrictifs en général; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives; Détails
08Eléments piézo-électriques ou électrostrictifs
083avec une structure empilée ou multicouche
CPC
H01L 41/0471
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
41Piezo-electric devices in general; Electrostrictive devices in general; Magnetostrictive devices in general; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
02Details
04of piezo-electric or electrostrictive devices
047Electrodes ; or electrical connection arrangements
0471Individual layer electrodes of multilayer piezo-electric or electrostrictive devices, e.g. internal electrodes
H01L 41/0833
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
41Piezo-electric devices in general; Electrostrictive devices in general; Magnetostrictive devices in general; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
08Piezo-electric or electrostrictive devices
083having a stacked or multilayer structure
0833with non-rectangular cross-section orthogonal to the stacking direction, e.g. polygonal, circular
H01L 41/277
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
41Piezo-electric devices in general; Electrostrictive devices in general; Magnetostrictive devices in general; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
22Processes or apparatus specially adapted for the assembly, manufacture or treatment of piezo-electric or electrostrictive devices or of parts thereof
27Manufacturing multilayered piezo-electric or electrostrictive devices or parts thereof, e.g. by stacking piezo-electric bodies and electrodes
277by stacking bulk piezo-electric or electrostrictive bodies and electrodes
Déposants
  • PI CERAMIC GMBH [DE]/[DE]
Inventeurs
  • SPEER, Kevin
Mandataires
  • MEISINGER, Christian
Données relatives à la priorité
10 2019 201 650.208.02.2019DE
Langue de publication allemand (DE)
Langue de dépôt allemand (DE)
États désignés
Titre
(DE) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES PIEZOELEKTRISCHEN STAPELAKTORS UND PIEZOELEKTRISCHER STAPELAKTOR
(EN) METHOD FOR PRODUCING A PIEZOELECTRIC STACK ACTUATOR, AND PIEZOELECTRIC STACK ACTUATOR
(FR) PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN ACTIONNEUR PIÉZOÉLECTRIQUE À EMPILEMENT ET ACTIONNEUR PIÉZOÉLECTRIQUE À EMPILEMENT
Abrégé
(DE)
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Stapelaktors sowie einen piezoelektrischen Stapelaktor, der vorzugsweise nach dem Verfahren hergestellt ist. Um die Lebensdauer eines aus einzelnen Aktoren aufgebauten, piezoelektrischen Stapelaktors insbesondere beim Einsatz in feuchter Umgebung zu erhöhen, stellt die Erfindung das Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Stapelaktors (1) nach Anspruch 1 bereit, umfassend die Schritte: - Schritt A: Bereitstellen von wenigstens zwei Aktoren (2), die ausgebildet sind, um bei elektrischer Ansteuerung jeweils eine Auslenkung entlang einer Achse (A) zu erzeugen. - Schritt B: Koppeln der wenigstens zwei Aktoren (2) zur Ausbildung des Stapelaktors (1), sodass sich die bei elektrischer Ansteuerung erzeugten Auslenkungen der Aktoren (2) entlang einer Stapelachse (S) überlagern und eine Kraftkopplung der Aktoren (2) über mindestens eine Kopplungsfläche (K) erfolgt, die kleiner ist als eine Projektionsfläche (P) des Aktors (1) auf eine senkrecht zur Stapelachse stehende Ebene (E).
(EN)
The invention relates to a method for producing a piezoelectric stack actuator and to a piezoelectric stack actuator that is preferably produced according to the method. To increase the service life of a piezoelectric stack actuator made up of individual actuators, more particularly during use in a damp environment, the invention proposes the method for producing a piezoelectric stack actuator (1) according to claim 1, comprising the following steps: - Step A: Providing at least two actuators (2), which are designed to generate a deflection along an axis (A) when electrically activated. - Step B: Coupling the at least two actuators (2) to form the stack actuator (1) such that the deflections of the actuators (2) generated when the actuators are electrically activated are overlaid along a stacking axis (S) and there is a force-coupling of the actuators (2) over at least one coupling area (K) that is smaller than a projection area (P) of the actuator (1) onto a plane (E) perpendicular to the stacking axis.
(FR)
L'invention concerne un procédé pour la fabrication d'un actionneur piézoélectrique à empilement ainsi qu'un actionneur piézoélectrique à empilement qui est de préférence fabriqué selon le procédé. Pour augmenter la durée de vie d'un actionneur piézoélectrique à empilement constitué par différents actionneurs, en particulier lors de l'utilisation dans un environnement humide, le procédé selon l'invention pour la fabrication d'un actionneur piézoélectrique à empilement (1) selon la revendication 1 comprend les étapes : - étape A : mise à disposition d'au moins deux actionneurs (2) qui sont conçus pour générer, lors d'une commande électrique, à chaque fois une déviation le long d'un axe (A). - étape B : accouplement desdits au moins deux actionneurs (2) pour former l'actionneur à empilement (1), de telle sorte que les déviations, générées lors de la commande électrique, des actionneurs (2) le long d'un axe d'empilement (S) se chevauchent et qu'un accouplement à force des actionneurs (2) se produit via au moins une surface d'accouplement (K), qui est plus petite qu'une surface de projection (P) de l'actionneur (1) sur un plan (E) perpendiculaire à l'axe d'empilement.
Également publié en tant que
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