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1. WO2020160910 - PROCÉDÉ DE RÉGLAGE D'UNE STATION DE MESURE DE LA CONTAMINATION MOLÉCULAIRE VÉHICULÉE PAR L'AIR ET STATION DE MESURE

Numéro de publication WO/2020/160910
Date de publication 13.08.2020
N° de la demande internationale PCT/EP2020/051539
Date du dépôt international 22.01.2020
CIB
G05D 7/06 2006.1
GPHYSIQUE
05COMMANDE; RÉGULATION
DSYSTÈMES DE COMMANDE OU DE RÉGULATION DES VARIABLES NON ÉLECTRIQUES
7Commande de débits
06caractérisée par l'utilisation de moyens électriques
G05D 11/13 2006.1
GPHYSIQUE
05COMMANDE; RÉGULATION
DSYSTÈMES DE COMMANDE OU DE RÉGULATION DES VARIABLES NON ÉLECTRIQUES
11Commande du rapport des débits
02Commande du rapport des débits de plusieurs matériaux fluides ou fluents
13caractérisée par l'usage de moyens électriques
G01N 1/22 2006.1
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
NRECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
1Echantillonnage; Préparation des éprouvettes pour la recherche
02Dispositifs pour prélever des échantillons
22à l'état gazeux
CPC
G01N 1/22
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
1Sampling; Preparing specimens for investigation
02Devices for withdrawing samples
22in the gaseous state
G05D 7/0658
GPHYSICS
05CONTROLLING; REGULATING
DSYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
7Control of flow
06characterised by the use of electric means
0617specially adapted for fluid materials
0629characterised by the type of regulator means
0635by action on throttling means
0641using a plurality of throttling means
0658the plurality of throttling means being arranged for the control of a single flow from a plurality of converging flows
Déposants
  • PFEIFFER VACUUM [FR]/[FR]
Inventeurs
  • BOUNOUAR, Julien
  • CHAPEL, Nicolas
  • LE BARILLEC, Olivier
Mandataires
  • CROONENBROEK, Thomas
  • DUFOUR, Etienne
  • PERIAN, Priscilla
  • SOGAN, Gloria
Données relatives à la priorité
FR190109105.02.2019FR
Langue de publication français (FR)
Langue de dépôt français (FR)
États désignés
Titre
(EN) METHOD FOR ADJUSTING A STATION FOR MEASURING AIRBORNE MOLECULAR CONTAMINATION AND MEASURING STATION
(FR) PROCÉDÉ DE RÉGLAGE D'UNE STATION DE MESURE DE LA CONTAMINATION MOLÉCULAIRE VÉHICULÉE PAR L'AIR ET STATION DE MESURE
Abrégé
(EN)
The invention relates to a method for adjusting (100) the conductances of the controllable restrictions (C1-C16) of a station (1) for measuring airborne molecular contamination. The adjustment method (100) comprises: - an initial identification step (101), prior to carrying out a step of measuring (103) the airborne molecular contamination, in which the sampling line (L1-L16) having the lowest conductance when the conductance of the controllable restriction (C1-C16) of the sampling line (L1-L16) is set to the maximum value thereof is determined, - an initial step of adjusting the conductance (102), prior to carrying out the measurement step (103) and subsequent to the initial identification step (101), in which the conductances of the controllable restrictions are adjusted such that they correspond to the lowest conductance determined in the initial identification step (101).
(FR)
L'invention concerne un procédé de réglage (100) des conductances des restrictions contrôlables (C1-C16) d'une station de mesure (1) de la contamination moléculaire véhiculée par l'air. Le procédé de réglage (100) comporte : - une étape initiale d'identification (101), préalable à la réalisation d'une étape de mesure (103) de la contamination moléculaire véhiculée par l'air, au cours de laquelle on détermine la ligne de prélèvement (L1-L16) présentant la conductance la plus faible lorsque la conductance de la restriction contrôlable (C1-C16) de ladite ligne de prélèvement (L1-L16) est réglée à sa valeur maximale, - une étape initiale de réglage de conductance (102) préalable à la réalisation de l'étape de mesure (103) et postérieure à l'étape initiale d'identification (101), au cours de laquelle on règle les conductances des restrictions contrôlables pour qu'elles correspondent à la conductance la plus faible déterminée à l'étape initiale d'identification (101).
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