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1. WO2020160788 - APPAREIL ET PROCÉDÉ POUR LA PRÉPARATION D'UN ÉCHANTILLON EN VUE D'INVESTIGATIONS PAR MICROSCOPIE EN TRANSMISSION PAR ABLATION DÉCLENCHÉE PAR FAISCEAU D'IONS

Numéro de publication WO/2020/160788
Date de publication 13.08.2020
N° de la demande internationale PCT/EP2019/053163
Date du dépôt international 08.02.2019
CIB
H01J 37/304 2006.1
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
30Tubes à faisceau électronique ou ionique destinés aux traitements localisés d'objets
304Commande des tubes par une information en provenance des objets, p.ex. signaux de correction
H01J 37/305 2006.1
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
30Tubes à faisceau électronique ou ionique destinés aux traitements localisés d'objets
305pour couler, fondre, évaporer ou décaper
CPC
H01J 2237/0812
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
06Sources
08Ion sources
0812Ionized cluster beam [ICB] sources
H01J 2237/2445
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
244Detection characterized by the detecting means
2445Photon detectors for X-rays, light, e.g. photomultipliers
H01J 2237/24455
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
244Detection characterized by the detecting means
24455Transmitted particle detectors
H01J 2237/30466
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
30Electron or ion beam tubes for processing objects
304Controlling tubes
30466Detecting endpoint of process
H01J 2237/31745
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
30Electron or ion beam tubes for processing objects
317Processing objects on a microscale
3174Etching microareas
31745for preparing specimen to be viewed in microscopes or analyzed in microanalysers
H01J 37/226
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
22Optical or photographic arrangements associated with the tube
226Optical arrangements for illuminating the object; optical arrangements for collecting light from the object
Déposants
  • MAX-PLANCK-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER WISSENSCHAFTEN E. V. [DE]/[DE]
Inventeurs
  • SCHIKORA, Hendrik
  • TELLKAMP, Friedjof
  • MILLER, R.J. Dwayne
Mandataires
  • V. BEZOLD & PARTNER PATENTANWÄLTE - PARTG MBB
Données relatives à la priorité
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) APPARATUS AND METHOD FOR PREPARING A SAMPLE FOR TRANSMISSION MICROSCOPY INVESTIGATIONS BY ION BEAM INITIATED ABLATION
(FR) APPAREIL ET PROCÉDÉ POUR LA PRÉPARATION D'UN ÉCHANTILLON EN VUE D'INVESTIGATIONS PAR MICROSCOPIE EN TRANSMISSION PAR ABLATION DÉCLENCHÉE PAR FAISCEAU D'IONS
Abrégé
(EN)
A sample preparation apparatus (100) for ion beam ablation based preparing a sample (1), like a protein crystal, for a transmission electron microscopy investigation comprises a sample holder device (10) being arranged for accommodating a sample (1), an ion beam source device (20) being arranged for creating an ion beam (21) and directing the ion beam (21) toward the sample holder device (20), wherein the sample holder device (10) and the ion beam source device (20) are arranged in a vacuum chamber (30) and the ion beam source device (20) is capable of ablating the sample (1) by the effect of the ion beam (21), a sample thickness detection device (40) being arranged for monitoring a sample thickness, and a control unit (50) being adapted for controlling the ion beam source device (20), wherein the control unit (50) is adapted for controlling the ion beam source device (20) in dependency on an output signal of the sample thickness detection device (40). Furthermore, a sample preparation method for preparing a sample for a transmission electron microscopy investigation is described.
(FR)
L'invention concerne un appareil de préparation d'échantillon (100) pour la préparation, faisant appel à l'ablation par faisceau d'ions, d'un échantillon (1), tel qu'un cristal de protéine, en vue d'une investigation par microscopie électronique en transmission, lequel appareil comprend un dispositif porte-échantillon (10) destiné à recevoir un échantillon (1), un dispositif source de faisceau d'ions (20) destiné à créer un faisceau d'ions (21) et à diriger le faisceau d'ions (21) vers le dispositif porte-échantillon (20), le dispositif porte-échantillon (10) et le dispositif source de faisceau d'ions (20) étant agencés dans une chambre à vide (30) et le dispositif source de faisceau d'ions (20) permettant d'effectuer l'ablation de l'échantillon (1) par l'effet du faisceau d'ions (21), un dispositif de détection d'épaisseur d'échantillon (40) destiné à surveiller une épaisseur d'échantillon, et une unité de commande (50) conçue pour commander le dispositif source de faisceau d'ions (20), l'unité de commande (50) étant conçue pour commander le dispositif source de faisceau d'ions (20) en fonction d'un signal de sortie du dispositif de détection d'épaisseur d'échantillon (40). L'invention concerne en outre un procédé de préparation d'échantillon pour la préparation d'un échantillon en vue d'une investigation par microscopie électronique en transmission.
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