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1. WO2020160093 - SYSTÈME DE DISTRIBUTION DE LIQUIDE À CANAUX MULTIPLES D'APPLICATIONS DE SEMI-CONDUCTEUR PERFECTIONNÉES

Numéro de publication WO/2020/160093
Date de publication 06.08.2020
N° de la demande internationale PCT/US2020/015589
Date du dépôt international 29.01.2020
CIB
H01J 37/32 2006.1
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
32Tubes à décharge en atmosphère gazeuse
CPC
H01J 37/32
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32Gas-filled discharge tubes, ; e.g. for surface treatment of objects such as coating, plating, etching, sterilising or bringing about chemical reactions
Déposants
  • LAM RESEARCH CORPORATION [US]/[US]
Inventeurs
  • VASQUEZ, Miguel Benjamin
  • CHURCH, Jonathan
  • FOX, Keith
Mandataires
  • LEE, Michael
Données relatives à la priorité
62/799,58431.01.2019US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) MULTI-CHANNEL LIQUID DELIVERY SYSTEM FOR ADVANCED SEMICONDUCTOR APPLICATIONS
(FR) SYSTÈME DE DISTRIBUTION DE LIQUIDE À CANAUX MULTIPLES D'APPLICATIONS DE SEMI-CONDUCTEUR PERFECTIONNÉES
Abrégé
(EN)
An apparatus comprises a first liquid input line, a second liquid input line, a third liquid input line, a first liquid flow controller with an input in fluid contact with the first liquid input line, a second liquid flow controller with an input in fluid contact with the second liquid input line, a third liquid flow controller with an input in fluid contact with the third liquid input line, a common manifold in fluid contact with an output of the first liquid flow controller and an output of the second liquid flow controller and an output of the third liquid flow controller, and a vaporizer with an input in fluid contact with the common manifold.
(FR)
L'invention concerne un appareil comprenant une première ligne d'entrée de liquide, une deuxième ligne d'entrée de liquide, une troisième ligne d'entrée de liquide, un premier dispositif de commande d'écoulement de liquide dont une entrée est en contact fluidique avec la première ligne d'entrée de liquide, un deuxième dispositif de commande d'écoulement de liquide dont une entrée est en contact fluidique avec la deuxième ligne d'entrée de liquide, un troisième dispositif de commande d'écoulement de liquide dont une entrée est en contact fluidique avec la troisième ligne d'entrée de liquide, un collecteur commun en contact fluidique avec une sortie du premier dispositif de commande d'écoulement de liquide et une sortie du deuxième dispositif de commande d'écoulement de liquide et avec une sortie du troisième dispositif de commande d'écoulement de liquide, et un vaporisateur dont une entrée est en contact fluidique avec le collecteur commun.
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