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1. WO2020158236 - MASQUE DE DÉPÔT ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE MASQUE DE DÉPÔT

Numéro de publication WO/2020/158236
Date de publication 06.08.2020
N° de la demande internationale PCT/JP2019/049892
Date du dépôt international 19.12.2019
CIB
C23C 14/04 2006.1
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
23REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE; TRAITEMENT DE DIFFUSION DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES, L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL
CREVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT DE SURFACE DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES PAR DIFFUSION DANS LA SURFACE, PAR CONVERSION CHIMIQUE OU SUBSTITUTION; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL
14Revêtement par évaporation sous vide, pulvérisation cathodique ou implantation d'ions du matériau composant le revêtement
04Revêtement de parties déterminées de la surface, p.ex. au moyen de masques
H01L 51/50 2006.1
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
51Dispositifs à l'état solide qui utilisent des matériaux organiques comme partie active, ou qui utilisent comme partie active une combinaison de matériaux organiques et d'autres matériaux; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de tels dispositifs ou de leurs parties constitutives
50spécialement adaptés pour l'émission de lumière, p.ex. diodes émettrices de lumière organiques (OLED) ou dispositifs émetteurs de lumière à base de polymères (PLED)
H05B 33/10 2006.1
HÉLECTRICITÉ
05TECHNIQUES ÉLECTRIQUES NON PRÉVUES AILLEURS
BCHAUFFAGE ÉLECTRIQUE; ÉCLAIRAGE ÉLECTRIQUE NON PRÉVU AILLEURS
33Sources lumineuses électroluminescentes
10Appareils ou procédés spécialement adaptés à la fabrication des sources lumineuses électroluminescentes
CPC
C23C 14/04
CCHEMISTRY; METALLURGY
23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
14Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
04Coating on selected surface areas, e.g. using masks
H01L 51/50
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
51Solid state devices using organic materials as the active part, or using a combination of organic materials with other materials as the active part; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of such devices, or of parts thereof
50specially adapted for light emission, e.g. organic light emitting diodes [OLED] or polymer light emitting devices [PLED]
H05B 33/10
HELECTRICITY
05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
33Electroluminescent light sources
10Apparatus or processes specially adapted to the manufacture of electroluminescent light sources
Déposants
  • 株式会社ジャパンディスプレイ JAPAN DISPLAY INC. [JP]/[JP]
Inventeurs
  • 觀田 康克 KANDA Noriyoshi
Mandataires
  • 特許業務法人高橋・林アンドパートナーズ TAKAHASHI, HAYASHI AND PARTNER PATENT ATTORNEYS, INC.
Données relatives à la priorité
2019-01702501.02.2019JP
Langue de publication japonais (JA)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) DEPOSITION MASK AND METHOD FOR MANUFACTURING DEPOSITION MASK
(FR) MASQUE DE DÉPÔT ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE MASQUE DE DÉPÔT
(JA) 蒸着マスク及び蒸着マスクの製造方法
Abrégé
(EN)
A deposition mask which has a deposition area formed from a thin film and also has a stable connection structure between the thin film and a holding frame for holding the thin film, the deposition mask being provided with a thin-film-like mask main body having a plurality of openings formed therein, a holding frame arranged around the mask main body, and a connection member for connecting the mask main body to the holding frame. In a planar view, a first outer edge of the connection member in a region where the connection member comes in contact with the holding frame is located outside a second outer edge of the mask main body which comes in contact with the connection member. In a cross-sectional view, the surface of the connection member is brought close to the second outer edge gradually between the first outer edge to the second outer edge.
(FR)
L'invention concerne un masque de dépôt ayant une zone de dépôt formée à partir d'un film mince et ayant également une structure de connexion stable entre le film mince et un cadre de maintien pour maintenir le film mince, le masque de dépôt étant pourvu d'un corps principal de masque de type film mince ayant une pluralité d'ouvertures formées à l'intérieur de celui-ci, un cadre de maintien disposé autour du corps principal de masque, et un élément de connexion pour connecter le corps principal de masque au cadre de maintien. Dans une vue en plan, un premier bord externe de l'élément de connexion dans une région où l'élément de connexion vient en contact avec le cadre de maintien est situé à l'extérieur d'un second bord externe du corps principal de masque qui vient en contact avec l'élément de connexion. Dans une vue en coupe transversale, la surface de l'élément de connexion est amenée à proximité du second bord extérieur progressivement entre le premier bord extérieur et le second bord extérieur.
(JA)
蒸着領域が薄膜で形成された蒸着マスクにおいて、薄膜と薄膜を保持する保持枠との間の安定した接続構造を備えた蒸着マスクは、複数の開口が設けられた、薄膜状のマスク本体と、前記マスク本体の周囲に設けられた保持枠と、前記マスク本体と前記保持枠とを接続する接続部材と、を有する。平面視で、前記保持枠に接する領域における前記接続部材の第1外縁は、前記接続部材に接する前記マスク本体の第2外縁よりも外側にある。断面視で、前記第1外縁から前記第2外縁までの間、前記接続部材の表面は、徐々に前記第2外縁に近づく。
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