Traitement en cours

Veuillez attendre...

Paramétrages

Paramétrages

Aller à Demande

1. WO2020156956 - CAPTEUR MEMS ET PROCÉDÉ POUR FAIRE FONCTIONNER UN CAPTEUR MEMS

Numéro de publication WO/2020/156956
Date de publication 06.08.2020
N° de la demande internationale PCT/EP2020/051792
Date du dépôt international 24.01.2020
CIB
B81B 3/00 2006.1
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
81TECHNOLOGIE DES MICROSTRUCTURES
BDISPOSITIFS OU SYSTÈMES À MICROSTRUCTURE, p.ex. DISPOSITIFS MICROMÉCANIQUES
3Dispositifs comportant des éléments flexibles ou déformables, p.ex. comportant des membranes ou des lamelles élastiques
CPC
B81B 2201/0264
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
2201Specific applications of microelectromechanical systems
02Sensors
0264Pressure sensors
B81B 3/0086
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
3Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
0064Constitution or structural means for improving or controlling the physical properties of a device
0086Electrical characteristics, e.g. reducing driving voltage, improving resistance to peak voltage
Déposants
  • ROBERT BOSCH GMBH [DE]/[DE]
Inventeurs
  • NAGEL, Cristian
Données relatives à la priorité
10 2019 201 226.431.01.2019DE
Langue de publication allemand (DE)
Langue de dépôt allemand (DE)
États désignés
Titre
(DE) MEMS-SENSOR SOWIE VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES MEMS-SENSORS
(EN) MEMS SENSOR AND METHOD FOR PRODUCING A MEMS SENSOR
(FR) CAPTEUR MEMS ET PROCÉDÉ POUR FAIRE FONCTIONNER UN CAPTEUR MEMS
Abrégé
(DE)
Die Erfindung betrifft einen MEMS-Sensor bereit, umfassend ein Substrat,zumindest drei Funktionsschichten, welche übereinander und beabstandet voneinander mit dem Substrat verbunden sind und wobei eine erste der zumindest drei Funktionsschichten auslenkbar angeordnet ist, wobei an der ersten Funktionsschicht eine erste Elektrode angeordnet ist, die zumindest zwei Bereiche aufweist, wobei ein erster Bereich der ersten Elektrode mit einer zweiten Elektrode einer zweiten der zumindest drei Funktionsschichten eine erste Kapazität bildet und wobei ein zweiter Bereich der ersten Elektrode mit zumindest einem Bereich einer dritten Elektrode einer dritten Funktionsschicht eine zweite Kapazität bildet und wobei die Elektroden derart angeordnet sind, dass bei Veränderung des Abstands der Elektroden der ersten Kapazität eine gegenteilige Veränderung des Abstands der Elektroden der zweiten Kapazität erfolgt.
(EN)
The invention relates to a MEMS sensor comprising a substrate, at least three functional layers which are connected to the substrate in a mutually spaced manner one over the other, wherein a first functional layer of the at least three functional layers is arranged in a deflectable manner, and a first electrode which has at least two regions is arranged on the first functional layer. A first region of the first electrode forms a first capacitance together with a second electrode of a second functional layer of the at least three functional layers, and a second region of the first electrode forms a second capacitance together with at least one region of a third electrode of a third functional layer. The electrodes are arranged such that when the spacing between the electrodes of the first capacitance changes, an opposite change in the spacing of the electrodes of the second capacitance takes place.
(FR)
L'invention concerne un capteur MEMS qui comprend un substrat, au moins trois couches fonctionnelles qui sont reliées au substrat les unes au-dessus des autres et à une certaine distance les unes des autres, une première desdites au moins trois couches fonctionnelles étant disposée de manière à pouvoir être déviée, une première électrode étant disposée sur la première couche fonctionnelle, laquelle comporte au moins deux zones, une première zone de la première électrode formant un premier condensateur avec une deuxième électrode d'une deuxième couche parmi lesdites au moins trois couches fonctionnelles, une deuxième zone de la première électrode formant un deuxième condensateur avec au moins une zone d'une troisième électrode d'une troisième couche fonctionnelle, et les électrodes étant agencées de telle sorte que, lorsque l'écartement des électrodes constituant le premier condensateur est modifié, l'écartement des électrodes constituant le deuxième condensateur est modifié de manière inverse.
Également publié en tant que
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international