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1. WO2020156867 - SYSTÈME DE CONTRÔLE DE SURFACES D'ONDE OPTIQUE PAR FILTRE À GRADIENT DE DENSITÉ

Numéro de publication WO/2020/156867
Date de publication 06.08.2020
N° de la demande internationale PCT/EP2020/051326
Date du dépôt international 21.01.2020
CIB
G01J 9/00 2006.1
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
JMESURE DE L'INTENSITÉ, DE LA VITESSE, DU SPECTRE, DE LA POLARISATION, DE LA PHASE OU DES CARACTÉRISTIQUES D'IMPULSIONS DE LUMIÈRE INFRAROUGE, VISIBLE OU ULTRAVIOLETTE; COLORIMÉTRIE; PYROMÉTRIE DES RADIATIONS
9Mesure du déphasage des rayons lumineux; Recherche du degré de cohérence; Mesure de la longueur d'onde des rayons lumineux
CPC
G01J 9/00
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
9Measuring optical phase difference
Déposants
  • CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE [FR]/[FR]
  • OBSERVATOIRE DE LA COTE D'AZUR [FR]/[FR]
  • UNIVERSITÉ DE NICE SOPHIA ANTIPOLIS [FR]/[FR]
  • UNIVERSITÉ GRENOBLE ALPES [FR]/[FR]
Inventeurs
  • HENAULT, François
  • SPANG, Alain
Mandataires
  • BREDA, Jean-Marc
  • ESSELIN, Sophie
Données relatives à la priorité
190089631.01.2019FR
Langue de publication français (FR)
Langue de dépôt français (FR)
États désignés
Titre
(EN) SYSTEM FOR INSPECTING SURFACES OF AN OPTICAL WAVE USING A GRADUATED DENSITY FILTER
(FR) SYSTÈME DE CONTRÔLE DE SURFACES D'ONDE OPTIQUE PAR FILTRE À GRADIENT DE DENSITÉ
Abrégé
(EN)
The technical field of the invention is that of systems for inspecting a surface of an optical wave output from an optical device (1), said optical device comprising an exit pupil (3), said inspecting system comprising an optical measurement head (10) and a computer (20) for processing the images output from said optical measurement head. The optical measurement head comprises: a graduated density filter (11), the density varying periodically in two spatial directions, a matrix array comprising at least four identical square lenses, of same focal length and arranged symmetrically, and a matrix array (13) of photodetectors, each of the four lenses forming, from the pupil, an image in the plane of the latter matrix array. The image-processing computer comprises computing means allowing the partial derivatives of the wave surface ∆(x, y) in the plane of the exit pupil to be computed.
(FR)
Le domaine technique de l'invention est celui des systèmes de contrôle d'une surface d'onde optique issue d'un dispositif optique (1), ledit dispositif optique comportant une pupille de sortie (3), ledit système de contrôle comportant une tête de mesure optique (10) et un calculateur (20) de traitements des images issues de ladite tête de mesure optique. La tête de mesure optique comporte : un filtre (11) à gradient de densité, la densité variant de façon périodique dans les deux directions de l'espace, une trame matricielle comportant au moins quatre lentilles identiques, de forme carrée, de même focale et disposées symétriquement, une matrice (13) de photodétecteurs, chacune des quatre lentilles formant de la pupille une image dans le plan de cette matrice. Le calculateur de traitement des images comporte des moyens de calcul permettant de calculer les dérivées partielles et de la surface d'onde ∆(x, y) dans le plan de la pupille de sortie.
Également publié en tant que
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