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1. WO2020154862 - SYSTÈMES ET PROCÉDÉS DE CONCEPTION DE MOTIFS FACTICES

Numéro de publication WO/2020/154862
Date de publication 06.08.2020
N° de la demande internationale PCT/CN2019/073488
Date du dépôt international 28.01.2019
CIB
G06F 17/50 2006.1
GPHYSIQUE
06CALCUL; COMPTAGE
FTRAITEMENT ÉLECTRIQUE DE DONNÉES NUMÉRIQUES
17Équipement ou méthodes de traitement de données ou de calcul numérique, spécialement adaptés à des fonctions spécifiques
50Conception assistée par ordinateur
Déposants
  • YANGTZE MEMORY TECHNOLOGIES CO., LTD. [CN]/[CN]
Inventeurs
  • LI, Bifeng
Mandataires
  • NTD UNIVATION INTELLECTUAL PROPERTY AGENCY LTD.
Données relatives à la priorité
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) SYSTEMS AND METHODS FOR DESIGNING DUMMY PATTERNS
(FR) SYSTÈMES ET PROCÉDÉS DE CONCEPTION DE MOTIFS FACTICES
Abrégé
(EN)
Systems and methods for designing a dummy pattern layout for improving surface flatness of a wafer are provided. An exemplary system includes at least one processor and at least one memory storing instructions. The instructions, when executed by the at least one processor, cause the at least one processor to perform operations. The operations include identifying a feature pattern corresponding to a functional region of the wafer. The operations also include determining a property of the feature pattern based on a script associated with the feature pattern. The operations further include determining a dummy pattern rule based on the property of the feature pattern. Moreover, the operations include generating a dummy pattern corresponding to a vacant region of the wafer by wrap-filling dummy units in an adjacent area surrounding the feature pattern based on the dummy pattern rule.
(FR)
L'invention concerne des systèmes et des procédés de conception d'une disposition de motif factice pour améliorer la planéité de surface d'une tranche. Un système donné à titre d'exemple comprend au moins un processeur et au moins une mémoire stockant des instructions. Les instructions, lorsqu'elles sont exécutées par le ou les processeurs, amènent le ou les processeurs à effectuer des opérations. Les opérations comprennent l'identification d'un motif de caractéristique correspondant à une région fonctionnelle de la tranche. Les opérations comprennent également la détermination d'une propriété du motif de caractéristique sur la base d'un script associé au motif de caractéristique. Les opérations comprennent en outre la détermination d'une règle de motif factice sur la base de la propriété du motif de caractéristique. De plus, les opérations comprennent la génération d'un motif factice correspondant à une région vacante de la tranche par remplissage d'unités factices de remplissage dans une zone adjacente entourant le motif de caractéristique sur la base de la règle de motif factice.
Également publié en tant que
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