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1. WO2020116510 - DISPOSITIF DE TRANSPORT DE SUBSTRAT ET PROCÉDÉ DE FONCTIONNEMENT DESTINÉ À UN DISPOSITIF DE TRANSPORT DE SUBSTRAT

Numéro de publication WO/2020/116510
Date de publication 11.06.2020
N° de la demande internationale PCT/JP2019/047417
Date du dépôt international 04.12.2019
CIB
B25J 13/08 2006.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
25OUTILS À MAIN; OUTILS PORTATIFS À MOTEUR; MANCHES POUR USTENSILES À MAIN; OUTILLAGE D'ATELIER; MANIPULATEURS
JMANIPULATEURS; ENCEINTES À DISPOSITIFS DE MANIPULATION INTÉGRÉS
13Commandes pour manipulateurs
08au moyens de dispositifs sensibles, p.ex. à la vue ou au toucher
H01L 21/677 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
677pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
H01L 21/67 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
Déposants
  • 川崎重工業株式会社 KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA [JP]/[JP]
Inventeurs
  • 斎藤 雅行 SAITO, Masayuki
  • 福島 崇行 FUKUSHIMA, Takayuki
Mandataires
  • 特許業務法人 有古特許事務所 PATENT CORPORATE BODY ARCO PATENT OFFICE
Données relatives à la priorité
2018-22971107.12.2018JP
2019-09773124.05.2019JP
Langue de publication japonais (JA)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) SUBSTRATE TRANSPORT DEVICE AND OPERATION METHOD FOR SUBSTRATE TRANSPORT DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE TRANSPORT DE SUBSTRAT ET PROCÉDÉ DE FONCTIONNEMENT DESTINÉ À UN DISPOSITIF DE TRANSPORT DE SUBSTRAT
(JA) 基板搬送装置及びその運転方法
Abrégé
(EN)
A substrate transport device 101 that holds and transports a substrate 1. The substrate transport device 101 comprises a hand 20 that holds the substrate 1, a manipulator 30 to which the hand 20 is attached, and a substrate detector 60 that is arranged on the hand 20 and detects the distance to a principal surface of the substrate 1. The substrate detector 60 is preferably arranged at a tip end part of the hand 20. The substrate detector 60 is preferably an electrostatic capacitance sensor.
(FR)
L’invention concerne un dispositif de transport de substrat (101) qui maintient et transporte un substrat (1). Le dispositif de transport de substrat (101) comprend une main (20) qui maintient le substrat (1), un manipulateur (30) auquel est fixée la main (20), et un détecteur de substrat (60) qui est disposé sur la main (20) et détecte la distance à une surface principale du substrat (1). Le détecteur de substrat (60) est de préférence disposé au niveau d'une partie extrémité de pointe de la main (20). Le détecteur de substrat (60) est de préférence un capteur de capacité électrostatique.
(JA)
基板搬送装置101は、基板1を保持して搬送する。この基板搬送装置101は、基板1を保持するハンド20と、ハンド20が取り付けられたマニピュレータ30と、ハンド20に配置されており、基板1の主面までの距離を検知する基板検出器60とを備える。好ましくは、基板検出器60が、ハンド20の先端部に配置されている。好ましくは、基板検出器60は静電容量センサである。
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