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1. WO2020116150 - PROCÉDÉ DE DÉTECTION DE TRANSPORT ET DISPOSITIF DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT

Numéro de publication WO/2020/116150
Date de publication 11.06.2020
N° de la demande internationale PCT/JP2019/045242
Date du dépôt international 19.11.2019
CIB
B25J 13/08 2006.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
25OUTILS À MAIN; OUTILS PORTATIFS À MOTEUR; MANCHES POUR USTENSILES À MAIN; OUTILLAGE D'ATELIER; MANIPULATEURS
JMANIPULATEURS; ENCEINTES À DISPOSITIFS DE MANIPULATION INTÉGRÉS
13Commandes pour manipulateurs
08au moyens de dispositifs sensibles, p.ex. à la vue ou au toucher
H01L 21/677 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
677pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
H01L 21/68 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
68pour le positionnement, l'orientation ou l'alignement
Déposants
  • 東京エレクトロン株式会社 TOKYO ELECTRON LIMITED [JP]/[JP]
Inventeurs
  • 高橋 明 TAKAHASHI, Akira
  • 河邊 篤 KAWABE, Atsushi
Mandataires
  • 伊東 忠重 ITOH, Tadashige
  • 伊東 忠彦 ITOH, Tadahiko
Données relatives à la priorité
2018-22686603.12.2018JP
Langue de publication japonais (JA)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) CONVEYANCE DETECTION METHOD AND SUBSTRATE TREATMENT DEVICE
(FR) PROCÉDÉ DE DÉTECTION DE TRANSPORT ET DISPOSITIF DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT
(JA) 搬送検知方法及び基板処理装置
Abrégé
(EN)
Provided is a conveyance detection method to be used in a substrate treatment device having a conveyance arm which has a plurality of substrate holding parts and conveys a plurality of substrates in a stack with multiple levels, between a first chamber and a second chamber adjacent to the first chamber by using the substrate holding parts and having an optical sensor which is provided near an opening that connects the first and second chambers with each other, the method comprising: a step for projecting light having a horizontal-direction optical axis parallel to the opening, to a position through which the substrates held by the substrate holding parts pass; and a step for determining at least one of the states of the conveyance arm and the substrates on the substrate holding parts, in accordance with the result of detecting the light projected from the optical sensor.
(FR)
L'invention concerne un procédé de détection de transport destiné à être utilisé dans un dispositif de traitement de substrat ayant un bras de transport qui a une pluralité de parties de support de substrat et qui transporte une pluralité de substrats sous la forme d'un empilement avec de multiples niveaux entre une première chambre et une seconde chambre adjacente à la première chambre à l'aide des parties de support de substrat, et ayant un capteur optique qui est disposé à proximité d'une ouverture qui relie les première et seconde chambres l'une à l'autre, lequel procédé comprend : une étape de projection d'une lumière ayant un axe optique de direction horizontale parallèle à l'ouverture, vers une position à travers laquelle passent les substrats supportés par les parties de support de substrat ; et une étape de détermination d'au moins l'un des états du bras de transport et des substrats sur les parties de support de substrat, en fonction du résultat de détection de la lumière projetée à partir du capteur optique.
(JA)
複数の基板保持部を有し、前記複数の基板保持部を用いて第1室と前記第1室に隣接する第2室との間にて複数の基板を複数段に搬送する搬送アームと、前記第1室と前記第2室とを連通する開口部の近傍に設けられた光センサと、を有する基板処理装置における搬送検知方法であって、前記開口部に平行な水平方向の光軸を持つ光を、前記複数の基板保持部に保持された基板が通過する位置に投光する工程と、前記光センサが投光した前記光を検知した結果に応じて、前記基板保持部の上の基板及び前記搬送アームの状態の少なくともいずれかを判定する工程と、を有する搬送検知方法が提供される。
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