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1. WO2020116006 - DISPOSITIF DE FILTRE OPTIQUE ET PROCÉDÉ DE COMMANDE DE DISPOSITIF DE FILTRE OPTIQUE

Numéro de publication WO/2020/116006
Date de publication 11.06.2020
N° de la demande internationale PCT/JP2019/038615
Date du dépôt international 30.09.2019
CIB
G02B 26/00 2006.01
GPHYSIQUE
02OPTIQUE
BÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
26Dispositifs ou systèmes optiques utilisant des éléments optiques mobiles ou déformables pour commander l'intensité, la couleur, la phase, la polarisation ou la direction de la lumière, p.ex. commutation, ouverture de porte ou modulation
G01J 3/51 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
JMESURE DE L'INTENSITÉ, DE LA VITESSE, DU SPECTRE, DE LA POLARISATION, DE LA PHASE OU DES CARACTÉRISTIQUES D'IMPULSIONS DE LUMIÈRE INFRAROUGE, VISIBLE OU ULTRAVIOLETTE; COLORIMÉTRIE; PYROMÉTRIE DES RADIATIONS
3Spectrométrie; Spectrophotométrie; Monochromateurs; Mesure de la couleur
46Mesure de couleur; Dispositifs de mesure de couleur, p.ex. colorimètres
50en utilisant des détecteurs électriques de radiations
51en utilisant des filtres de couleur
G02B 5/28 2006.01
GPHYSIQUE
02OPTIQUE
BÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
5Eléments optiques autres que les lentilles
20Filtres
28Filtres d'interférence
Déposants
  • 浜松ホトニクス株式会社 HAMAMATSU PHOTONICS K.K. [JP]/[JP]
Inventeurs
  • 笠原 隆 KASAHARA Takashi
  • 柴山 勝己 SHIBAYAMA Katsumi
  • 廣瀬 真樹 HIROSE Masaki
  • 川合 敏光 KAWAI Toshimitsu
  • 大山 泰生 OYAMA Hiroki
  • 蔵本 有未 KURAMOTO Yumi
Mandataires
  • 長谷川 芳樹 HASEGAWA Yoshiki
  • 黒木 義樹 KUROKI Yoshiki
  • 柴山 健一 SHIBAYAMA Kenichi
Données relatives à la priorité
2018-22822805.12.2018JP
Langue de publication japonais (JA)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) OPTICAL FILTER DEVICE AND METHOD FOR CONTROLLING OPTICAL FILTER DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE FILTRE OPTIQUE ET PROCÉDÉ DE COMMANDE DE DISPOSITIF DE FILTRE OPTIQUE
(JA) 光学フィルタ装置、及び光学フィルタ装置の制御方法
Abrégé
(EN)
This optical filter device is provided with a Fabry-Perot interference filter and a resistance measurement part. The Fabry-Perot interference filter is provided with: a first structure which has a first surface and a second surface; a second structure which has a third surface; a first mirror part which is provided on the first structure; a second mirror part which is provided on the second structure so as to face the first mirror part with an air gap being interposed therebetween; a first drive electrode which is provided on the first structure; a second drive electrode which is provided on the second structure; a first terminal and a third terminal, which are electrically connected to the first drive electrode; and a second terminal which is electrically connected to the second drive electrode. The first drive electrode overlaps with the air gap when viewed from the facing direction in which the first surface and the third surface face each other. In the facing direction, the distance between the first drive electrode and the air gap is shorter than the distance between the second surface and the air gap. The resistance measurement part is electrically connected to the first terminal and the third terminal, and measures the resistance of the first drive electrode.
(FR)
Dispositif de filtre optique étant pourvu d'un filtre d'interférences de Fabry-Perot et d'un élément de mesure de résistance. Le filtre d'interférences de Fabry-Perot est pourvu d'une première structure qui a une première surface et une deuxième surface ; d'une seconde structure qui a une troisième surface ; d'une première zone de miroir disposée sur la première structure ; d'une seconde zone de miroir disposée sur la seconde structure de façon à faire face à la première zone de miroir avec un entrefer interposé entre celles-ci ; d'une première électrode d'entraînement située sur la première structure ; d'une seconde électrode d'entraînement située sur la seconde structure ; d'un premier et d'un troisième terminal connectés électriquement à la première électrode de commande ; et d'une seconde borne connectée électriquement à la seconde électrode de commande. La première électrode d'entraînement empiète sur l'entrefer lorsqu'elle est vue depuis la direction opposée dans laquelle la première et la troisième surface se font face. Dans la direction opposée, la distance entre la première électrode d'entraînement et l'entrefer est inférieure à la distance entre la deuxième surface et l'entrefer. L'élément de mesure de résistance est connecté électriquement aux première et troisième bornes et mesure la résistance de la première électrode d'entraînement.
(JA)
光学フィルタ装置は、ファブリペロー干渉フィルタ及び抵抗測定部を備える。ファブリペロー干渉フィルタは、第1表面及び第2表面を有する第1構造体と、第3表面を有する第2構造体と、第1構造体に設けられた第1ミラー部と、空隙を介して第1ミラー部と向かい合うように第2構造体に設けられた第2ミラー部と、第1構造体に設けられた第1駆動電極と、第2構造体に設けられた第2駆動電極と、第1駆動電極に電気的に接続された第1端子及び第3端子と、第2駆動電極に電気的に接続された第2端子と、を備える。第1駆動電極は、第1表面と第3表面とが向かい合う対向方向から見た場合に空隙と重なっている。対向方向において、第1駆動電極と空隙との間の距離は、第2表面と空隙との間の距離よりも短い。抵抗測定部は、第1端子及び第3端子に電気的に接続されており、第1駆動電極の抵抗値を測定する。
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