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1. WO2020113676 - CREUSET D'ÉVAPORATION

Numéro de publication WO/2020/113676
Date de publication 11.06.2020
N° de la demande internationale PCT/CN2018/121851
Date du dépôt international 18.12.2018
CIB
C23C 14/26 2006.01
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
23REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE; TRAITEMENT DE DIFFUSION DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES, L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL
CREVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT DE SURFACE DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES PAR DIFFUSION DANS LA SURFACE, PAR CONVERSION CHIMIQUE OU SUBSTITUTION; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL
14Revêtement par évaporation sous vide, pulvérisation cathodique ou implantation d'ions du matériau composant le revêtement
22caractérisé par le procédé de revêtement
24Evaporation sous vide
26par chauffage de la source par induction ou par résistance
C23C 14/12 2006.01
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
23REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE; TRAITEMENT DE DIFFUSION DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES, L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL
CREVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT DE SURFACE DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES PAR DIFFUSION DANS LA SURFACE, PAR CONVERSION CHIMIQUE OU SUBSTITUTION; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL
14Revêtement par évaporation sous vide, pulvérisation cathodique ou implantation d'ions du matériau composant le revêtement
06caractérisé par le matériau de revêtement
12Composé organique
CPC
C23C 14/12
CCHEMISTRY; METALLURGY
23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
14Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
06characterised by the coating material
12Organic material
C23C 14/243
CCHEMISTRY; METALLURGY
23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
14Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
22characterised by the process of coating
24Vacuum evaporation
243Crucibles for source material
C23C 14/26
CCHEMISTRY; METALLURGY
23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
14Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
22characterised by the process of coating
24Vacuum evaporation
26by resistance or inductive heating of the source
Déposants
  • 深圳市华星光电技术有限公司 SHENZHEN CHINA STAR OPTOELECTRONICS TECHNOLOGY CO., LTD. [CN]/[CN]
Inventeurs
  • 匡友元 KUANG, Youyuan
Mandataires
  • 深圳市德力知识产权代理事务所 COMIPS INTELLECTUAL PROPERTY OFFICE
Données relatives à la priorité
201811482603.405.12.2018CN
Langue de publication chinois (ZH)
Langue de dépôt chinois (ZH)
États désignés
Titre
(EN) EVAPORATION CRUCIBLE
(FR) CREUSET D'ÉVAPORATION
(ZH) 蒸镀坩埚
Abrégé
(EN)
An evaporation crucible, comprising a crucible body (1) and thermally conductive devices (2) provided at an inner part of the crucible body (1). The crucible body (1) comprises a crucible base (11) and side walls (12) connected to the crucible base (11). The thermally conductive devices (2) are fixedly connected onto the side walls (12), and the thermally conductive devices (2) are honeycomb shaped, and have a plurality of channels (21) extending side by side along the axial direction of the crucible body (1) for accommodating an evaporation material. In the crucible channels (21), the heat lateral transfer distance of the evaporation material is short, and the heat that the evaporation material receives is derived from the thermally conductive devices (2), which has good thermal conductivity all around. The evaporation material may be fully heated in the channels (21), which greatly shortens the lateral transfer path of heat in a non-thermal yield conductor, thereby greatly reducing the lateral temperature difference of the internal evaporation material. The utilization rate of the evaporation material is improved, the risk of cracking of the evaporation material is reduced, and the stability of the evaporation rate is improved, which thereby improves the quality of OLED panels.
(FR)
La présente invention concerne un creuset d'évaporation comprenant un corps de creuset (1) et des dispositifs thermiquement conducteurs (2) disposés au niveau d'une partie interne du corps de creuset (1). Le corps de creuset (1) comprend une base de creuset (11) et des parois latérales (12) reliées à la base de creuset (11). Les dispositifs thermiquement conducteurs (2) sont reliés de manière fixe aux parois latérales (12), et les dispositifs thermiquement conducteurs (2) sont en forme de nid d'abeilles et comportent une pluralité de canaux (21) s'étendant côte à côte le long de la direction axiale du corps de creuset (1) pour recevoir un matériau d'évaporation. Dans les canaux de creuset (21), la distance de transfert latérale de chaleur du matériau d'évaporation est courte, et la chaleur que le matériau d'évaporation reçoit provient des dispositifs thermiquement conducteurs (2), lequel présente une bonne conductivité thermique tout autour. Le matériau d'évaporation peut être complètement chauffé dans les canaux (21), ce qui raccourcit considérablement le trajet de transfert latéral de la chaleur dans un conducteur à rendement non thermique et réduit ainsi considérablement la différence de température latérale du matériau interne d'évaporation. Le taux d'utilisation du matériau d'évaporation est amélioré, le risque de fissuration du matériau d'évaporation est réduit et la stabilité du taux d'évaporation est améliorée, ce qui améliore la qualité des panneaux à OLED.
(ZH)
一种蒸镀坩埚,包括坩埚本体(1)及设于坩埚本体(1)内部的导热装置(2),所述坩埚本体(1)包括坩埚底(11)及与所述坩埚底(11)相连的侧壁(12),所述导热装置(2)固定连接在侧壁(12)上,且所述导热装置(2)呈蜂窝状,具有多条并列沿所述坩埚本体(1)轴向延伸的用于容纳蒸镀材料的通道(21)。该坩埚通道(21)内蒸镀材料的热量横向传递距离短,且蒸镀材料受热的热量来源于四周热传导性好的导热装置(2),蒸镀材料在通道(21)内可以充分受热,大幅缩短了热量在非热良导体中的横向传递路径,从而大幅缩小了内部蒸镀材料的横向温差,提高了蒸镀材料的利用率,降低了蒸镀材料的裂解风险,提高了蒸镀速率的稳定性,进而提高了OLED面板品质。
Également publié en tant que
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