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1. WO2020112921 - GÉNÉRATEUR RF À IMPÉDANCE DE SORTIE VARIABLE

Numéro de publication WO/2020/112921
Date de publication 04.06.2020
N° de la demande internationale PCT/US2019/063477
Date du dépôt international 27.11.2019
CIB
H02M 1/42 2007.01
HÉLECTRICITÉ
02PRODUCTION, CONVERSION OU DISTRIBUTION DE L'ÉNERGIE ÉLECTRIQUE
MAPPAREILS POUR LA TRANSFORMATION DE COURANT ALTERNATIF EN COURANT ALTERNATIF, DE COURANT ALTERNATIF EN COURANT CONTINU OU VICE VERSA OU DE COURANT CONTINU EN COURANT CONTINU ET EMPLOYÉS AVEC LES RÉSEAUX DE DISTRIBUTION D'ÉNERGIE OU DES SYSTÈMES D'ALIMENTATION SIMILAIRES; TRANSFORMATION D'UNE PUISSANCE D'ENTRÉE EN COURANT CONTINU OU COURANT ALTERNATIF EN UNE PUISSANCE DE SORTIE DE CHOC; LEUR COMMANDE OU RÉGULATION
1Détails d'appareils pour transformation
42Circuits ou dispositions pour corriger ou ajuster le facteur de puissance dans les convertisseurs ou les onduleurs
H02M 9/06 2006.01
HÉLECTRICITÉ
02PRODUCTION, CONVERSION OU DISTRIBUTION DE L'ÉNERGIE ÉLECTRIQUE
MAPPAREILS POUR LA TRANSFORMATION DE COURANT ALTERNATIF EN COURANT ALTERNATIF, DE COURANT ALTERNATIF EN COURANT CONTINU OU VICE VERSA OU DE COURANT CONTINU EN COURANT CONTINU ET EMPLOYÉS AVEC LES RÉSEAUX DE DISTRIBUTION D'ÉNERGIE OU DES SYSTÈMES D'ALIMENTATION SIMILAIRES; TRANSFORMATION D'UNE PUISSANCE D'ENTRÉE EN COURANT CONTINU OU COURANT ALTERNATIF EN UNE PUISSANCE DE SORTIE DE CHOC; LEUR COMMANDE OU RÉGULATION
9Transformation d'une puissance d'entrée en courant continu ou courant alternatif en une puissance de sortie de choc
06avec une puissance d'entrée en courant alternatif
H02M 9/02 2006.01
HÉLECTRICITÉ
02PRODUCTION, CONVERSION OU DISTRIBUTION DE L'ÉNERGIE ÉLECTRIQUE
MAPPAREILS POUR LA TRANSFORMATION DE COURANT ALTERNATIF EN COURANT ALTERNATIF, DE COURANT ALTERNATIF EN COURANT CONTINU OU VICE VERSA OU DE COURANT CONTINU EN COURANT CONTINU ET EMPLOYÉS AVEC LES RÉSEAUX DE DISTRIBUTION D'ÉNERGIE OU DES SYSTÈMES D'ALIMENTATION SIMILAIRES; TRANSFORMATION D'UNE PUISSANCE D'ENTRÉE EN COURANT CONTINU OU COURANT ALTERNATIF EN UNE PUISSANCE DE SORTIE DE CHOC; LEUR COMMANDE OU RÉGULATION
9Transformation d'une puissance d'entrée en courant continu ou courant alternatif en une puissance de sortie de choc
02avec une puissance d'entrée en courant continu
H02M 9/04 2006.01
HÉLECTRICITÉ
02PRODUCTION, CONVERSION OU DISTRIBUTION DE L'ÉNERGIE ÉLECTRIQUE
MAPPAREILS POUR LA TRANSFORMATION DE COURANT ALTERNATIF EN COURANT ALTERNATIF, DE COURANT ALTERNATIF EN COURANT CONTINU OU VICE VERSA OU DE COURANT CONTINU EN COURANT CONTINU ET EMPLOYÉS AVEC LES RÉSEAUX DE DISTRIBUTION D'ÉNERGIE OU DES SYSTÈMES D'ALIMENTATION SIMILAIRES; TRANSFORMATION D'UNE PUISSANCE D'ENTRÉE EN COURANT CONTINU OU COURANT ALTERNATIF EN UNE PUISSANCE DE SORTIE DE CHOC; LEUR COMMANDE OU RÉGULATION
9Transformation d'une puissance d'entrée en courant continu ou courant alternatif en une puissance de sortie de choc
02avec une puissance d'entrée en courant continu
04en utilisant des condensateurs à accumulation
CPC
H01J 37/321
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32Gas-filled discharge tubes, ; e.g. for surface treatment of objects such as coating, plating, etching, sterilising or bringing about chemical reactions
32009Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
32082Radio frequency generated discharge
321the radio frequency energy being inductively coupled to the plasma
H01J 37/32128
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32Gas-filled discharge tubes, ; e.g. for surface treatment of objects such as coating, plating, etching, sterilising or bringing about chemical reactions
32009Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
32082Radio frequency generated discharge
32128using particular waveforms, e.g. polarised waves
H01J 37/32183
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32Gas-filled discharge tubes, ; e.g. for surface treatment of objects such as coating, plating, etching, sterilising or bringing about chemical reactions
32009Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
32082Radio frequency generated discharge
32174Circuits specially adapted for controlling the RF discharge
32183Matching circuits, impedance matching circuits per se H03H7/38 and H03H7/40
H01J 37/32431
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32Gas-filled discharge tubes, ; e.g. for surface treatment of objects such as coating, plating, etching, sterilising or bringing about chemical reactions
32431Constructional details of the reactor
H03K 17/56
HELECTRICITY
03BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY
KPULSE TECHNIQUE
17Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking
51characterised by the components used
56by the use, as active elements, of semiconductor devices
H03K 3/36
HELECTRICITY
03BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY
KPULSE TECHNIQUE
3Circuits for generating electric pulses; Monostable, bistable or multistable circuits
02Generators characterised by the type of circuit or by the means used for producing pulses
36by the use, as active elements, of semiconductors, not otherwise provided for
Déposants
  • EAGLE HARBOR TECHNOLOGIES, INC. [US]/[US]
Inventeurs
  • PRAGER, James
  • ZIEMBA, Timothy
Mandataires
  • SANDERS, Jason, A.
Données relatives à la priorité
62/774,07830.11.2018US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) VARIABLE OUTPUT IMPEDANCE RF GENERATOR
(FR) GÉNÉRATEUR RF À IMPÉDANCE DE SORTIE VARIABLE
Abrégé
(EN)
Various RF plasma systems are disclosed that do not require a matching network. In some embodiments, the RF plasma system includes an energy storage capacitor; a switching circuit coupled with the energy storage capacitor, the switching circuit producing a plurality of pulses with a pulse amplitude and a pulse frequency, the pulse amplitude being greater than 100 volts; a resonant circuit coupled with the switching circuit. In some embodiments, the resonant circuit includes: a transformer having a primary side and a secondary side; and at least one of a capacitor, an inductor, and a resistor. In some embodiments, the resonant circuit having a resonant frequency substantially equal to the pulse frequency, and the resonant circuit increases the pulse amplitude to a voltage greater than 2 kV.
(FR)
L'invention concerne divers systèmes à plasma RF qui ne nécessitent pas de réseau d'adaptation. Dans certains modes de réalisation, le système à plasma RF comprend un condensateur de stockage d'énergie ; un circuit de commutation couplé au condensateur de stockage d'énergie, le circuit de commutation produisant une pluralité d'impulsions ayant une amplitude d'impulsion et une fréquence d'impulsion, l'amplitude d'impulsion étant supérieure à 100 volts ; un circuit résonant couplé au circuit de commutation. Dans certains modes de réalisation, le circuit résonant comprend : un transformateur ayant un côté primaire et un côté secondaire ; et au moins un composant parmi un condensateur, une inductance et une résistance. Dans certains modes de réalisation, le circuit résonant a une fréquence de résonance sensiblement égale à la fréquence d'impulsion, et le circuit résonant augmente l'amplitude d'impulsion jusqu'à une tension supérieure à 2 kV.
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