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1. WO2020112858 - SYSTÈME À FAIBLE DÉRIVE POUR INSTRUMENT DE MÉTROLOGIE

Numéro de publication WO/2020/112858
Date de publication 04.06.2020
N° de la demande internationale PCT/US2019/063380
Date du dépôt international 26.11.2019
CIB
G01Q 30/10 2010.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
QTECHNIQUES OU APPAREILS À SONDE À BALAYAGE; APPLICATIONS DES TECHNIQUES DE SONDE À BALAYAGE, p.ex. MICROSCOPIE À SONDE À BALAYAGE
30Moyens auxiliaires destinés à assister ou améliorer les techniques ou les appareils à sonde à balayage, p.ex. dispositifs d’affichage ou de traitement de données
08Moyens pour établir ou réguler des conditions ambiantes souhaitées au sein d'une enceinte d'échantillonnage
10thermiques
G01Q 70/04 2010.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
QTECHNIQUES OU APPAREILS À SONDE À BALAYAGE; APPLICATIONS DES TECHNIQUES DE SONDE À BALAYAGE, p.ex. MICROSCOPIE À SONDE À BALAYAGE
70Aspects généraux des sondes SPM, leur fabrication ou leur instrumentation correspondante, dans la mesure où ces sondes ne sont pas spécialement adaptées à une seule technique SPM couverte par le groupe G01Q60/230
02Supports de sondes
04à compensation des erreurs induites par la température ou les vibrations
CPC
G01Q 20/02
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
QSCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
20Monitoring the movement or position of the probe
02by optical means
G01Q 30/06
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
QSCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
30Auxiliary means serving to assist or improve the scanning probe techniques or apparatus, e.g. display or data processing devices
04Display or data processing devices
06for error compensation
G01Q 30/10
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
QSCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
30Auxiliary means serving to assist or improve the scanning probe techniques or apparatus, e.g. display or data processing devices
08Means for establishing or regulating a desired environmental condition within a sample chamber
10Thermal environment
Déposants
  • BRUKER NANO, INC. [US]/[US]
Inventeurs
  • NEUSHUL, Andrew
  • RUITER, Anthonius
Mandataires
  • DURST, Jay, G.
Données relatives à la priorité
62/771,47326.11.2018US
62/771,97827.11.2018US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) LOW DRIFT SYSTEM FOR A METROLOGY INSTRUMENT
(FR) SYSTÈME À FAIBLE DÉRIVE POUR INSTRUMENT DE MÉTROLOGIE
Abrégé
(EN)
The present inventors have recognized that more accurate measurements can be taken with less drift due to thermal expansion by precisely controlling insulated heating and cooling modules abutting one another in substantial alignment to rapidly heat a sample to be scanned by a Scanning Probe Microscope (SPM) with minimal temperature variation. The heating and cooling modules can be "flat-packed," with parallel surfaces of each module in contact with one another, to more efficiently heat a sample that is positioned in axial alignment with the heating and cooling modules. This can allow heating the sample to at least 250 degrees Celsius in less than 5 seconds, continuously maintaining a temperature of the sample to within ±.001 degree Celsius, and maintaining a drift of less than 0.1 nanometers per minute in the z direction.
(FR)
Les présents inventeurs ont découvert que des mesures plus précises peuvent être prises avec moins de dérive due à la dilatation thermique en réglant avec précision des modules de chauffage et de refroidissement isolés venant en butée les uns contre les autres dans un alignement substantiel pour chauffer rapidement un échantillon devant être balayé par un microscope en champ proche (SPM) avec une variation de température minimale. Les modules de chauffage et de refroidissement peuvent être "à boîtier plat", les surfaces parallèles de chaque module étant en contact les unes avec les autres, pour chauffer plus efficacement un échantillon qui est positionné en alignement axial avec les modules de chauffage et de refroidissement. Ceci peut permettre le chauffage de l'échantillon à au moins 250 degrés Celsius en moins de 5 secondes, le maintien en continu d'une température de l'échantillon à ±0,001 degré Celsius, et le maintien d'une dérive inférieure à 0,1 nanomètre par minute dans la direction z.
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