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1. WO2020111013 - DISPOSITIF DE STOCKAGE DE TRANCHES

Numéro de publication WO/2020/111013
Date de publication 04.06.2020
N° de la demande internationale PCT/JP2019/046033
Date du dépôt international 25.11.2019
CIB
H01L 21/673 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
673utilisant des supports spécialement adaptés
CPC
H01L 21/673
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
673using specially adapted carriers ; or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
Déposants
  • シンフォニアテクノロジー株式会社 SINFONIA TECHNOLOGY CO., LTD. [JP]/[JP]
Inventeurs
  • 谷山 育志 TANIYAMA, Yasushi
  • 河合 俊宏 KAWAI, Toshihiro
Mandataires
  • 特許業務法人梶・須原特許事務所 KAJI, SUHARA & ASSOCIATES
Données relatives à la priorité
2018-22288328.11.2018JP
Langue de publication japonais (JA)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) WAFER STOCKER
(FR) DISPOSITIF DE STOCKAGE DE TRANCHES
(JA) ウェーハストッカ
Abrégé
(EN)
Provided is a wafer stocker that can further improve the atmosphere around a wafer. A wafer stocker X includes a housing 1, a loading device 2 provided on a front surface of the housing 1, a wafer cassette shelf 3 provided in the housing 1, a wafer transfer robot 4 for transferring wafers into and out of a wafer cassette C on the wafer cassette shelf 3 from a transfer container mounted on the loading device 2, a wafer cassette transfer device 5 for moving the wafer cassette C on the wafer cassette shelf 3 to different heights, and a fan filter unit 8 for generating a laminar flow in a wafer transfer space and a wafer cassette transfer space.
(FR)
L'invention concerne un dispositif de stockage de tranches qui peut améliorer davantage l'atmosphère autour d'une tranche. Un dispositif de stockage de tranches (X) comprend : un boîtier (1) ; un dispositif de chargement (2) disposé sur une surface avant du boîtier (1) ; une étagère de cassette de tranches (3) disposée dans le boîtier (1) ; un robot de transfert de tranches (4) servant à transférer des tranches dans une cassette de tranches (C) et hors de cette dernière sur l'étagère de cassette de tranches (3) depuis un conteneur de transfert monté sur le dispositif de chargement (2) ; un dispositif de transfert de cassette de tranches (5) servant à déplacer la cassette de tranches (C) sur l'étagère de cassette de tranches (3) à des hauteurs différentes ; et une unité de filtre de ventilateur (8) servant à générer un écoulement laminaire dans un espace de transfert de tranches et un espace de transfert de cassette de tranches.
(JA)
ウェーハの周囲の雰囲気をより改善可能なウェーハストッカを提供する。 ウェーハストッカXは、筐体1と、筐体1の前面に設けられたローディング装置2と、筐体1内に設けられたウェーハカセット棚3と、ローディング装置2に載置された搬送容器からウェーハカセット棚3のウェーハカセットCにウェーハを出し入れするウェーハ搬送ロボット4と、ウェーハカセット棚3のウェーハカセットCを異なる高さの段に移動させるウェーハカセット移載装置5と、ウェーハ搬送空間及びウェーハカセット搬送空間に層流を発生させるファンフィルタユニット8と、を備える。
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