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1. WO2020109486 - PROCEDE ET SYSTEME POUR MESURER UNE SURFACE D'UN OBJET COMPRENANT DES STRUCTURES DIFFERENTES PAR INTERFEROMETRIE A FAIBLE COHERENCE

Numéro de publication WO/2020/109486
Date de publication 04.06.2020
N° de la demande internationale PCT/EP2019/082942
Date du dépôt international 28.11.2019
CIB
G01B 9/02 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
BMESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
9Instruments tels que spécifiés dans les sous-groupes et caractérisés par l'utilisation de moyens de mesure optiques
02Interféromètres
G01B 11/06 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
BMESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
11Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de moyens optiques
02pour mesurer la longueur, la largeur ou l'épaisseur
06pour mesurer l'épaisseur
CPC
G01B 11/0625
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
02for measuring length, width or thickness
06for measuring thickness, e.g. of sheet material
0616of coating
0625with measurement of absorption or reflection
G01B 2210/56
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
2210Aspects not specifically covered by any group under G01B, e.g. of wheel alignment, caliper-like sensors
56Measuring geometric parameters of semiconductor structures, e.g. profile, critical dimensions or trench depth
G01B 9/02083
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
9Instruments as specified in the subgroups and characterised by the use of optical measuring means
02Interferometers ; for determining dimensional properties of, or relations between, measurement objects
02083characterised by particular signal processing and presentation
G01B 9/02088
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
9Instruments as specified in the subgroups and characterised by the use of optical measuring means
02Interferometers ; for determining dimensional properties of, or relations between, measurement objects
02083characterised by particular signal processing and presentation
02088Matching signals with a database
G01B 9/0209
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
9Instruments as specified in the subgroups and characterised by the use of optical measuring means
02Interferometers ; for determining dimensional properties of, or relations between, measurement objects
0209Non-tomographic low coherence interferometers, e.g. low coherence interferometry, scanning white light interferometry, optical frequency domain interferometry or reflectometry
Déposants
  • UNITY SEMICONDUCTOR [FR]/[FR]
Inventeurs
  • BOULANGER, Jean-François
  • BERGOËND, Isabelle
Mandataires
  • IPAZ
Données relatives à la priorité
187215330.11.2018FR
Langue de publication français (FR)
Langue de dépôt français (FR)
États désignés
Titre
(EN) METHOD AND SYSTEM FOR MEASURING A SURFACE OF AN OBJECT COMPRISING DIFFERENT STRUCTURES USING LOW-COHERENCE INTERFEROMETRY
(FR) PROCEDE ET SYSTEME POUR MESURER UNE SURFACE D'UN OBJET COMPRENANT DES STRUCTURES DIFFERENTES PAR INTERFEROMETRIE A FAIBLE COHERENCE
Abrégé
(EN)
The invention relates to a method (100) for measuring a surface of an object (17) comprising at least one structure (41, 42) using low-coherence optical interferometry, the method (100) comprising the following steps: - acquiring (102) an interferometric signal at a plurality of points, called measuring points, on said surface in a field of view; for at least one measuring point: - assigning (104) the acquired interferometric signal to a category of interferometric signals from among a plurality of categories, each category being associated with a reference interferometric signal representing a standard structure; and - analysing (114) the interferometric signal in order to derive information therefrom relating to the structure at the measuring point, as a function of its category. The invention also relates to a measuring system implementing the method according to the invention.
(FR)
L'invention concerne un procédé (100) de mesure d'une surface d'un objet (17) comprenant au moins une structure (41, 42) par interférométrie optique à faible cohérence, le procédé (100) comprenant les étapes suivantes : - acquisition (102) d'un signal interférométrique en une pluralité de points, dits de mesure, de ladite surface dans un champ de vue; pour au moins un point de mesure : - attribution (104) du signal interférométrique acquis à une classe de signaux interférométriques parmi une pluralité de classes, chaque classe étant associée à un signal interférométrique de référence représentatif d'une structure type; et - analyse (114) du signal interférométrique pour en déduire une information sur la structure au point de mesure, en fonction de sa classe. L'invention concerne également un système de mesure mettant en œuvre le procédé selon l'invention.
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