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1. WO2020108352 - TESTEUR ET PROCÉDÉ D'ÉTALONNAGE DE CARTE SONDE ET DE DISPOSITIF À TESTER (DUT)

Numéro de publication WO/2020/108352
Date de publication 04.06.2020
N° de la demande internationale PCT/CN2019/119528
Date du dépôt international 19.11.2019
CIB
G01R 1/073 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
RMESURE DES VARIABLES ÉLECTRIQUES; MESURE DES VARIABLES MAGNÉTIQUES
1Détails ou dispositions des appareils des types couverts par les groupes G01R5/-G01R13/125
02Éléments structurels généraux
06Conducteurs de mesure; Sondes de mesure
067Sondes de mesure
073Sondes multiples
G01R 31/00 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
RMESURE DES VARIABLES ÉLECTRIQUES; MESURE DES VARIABLES MAGNÉTIQUES
31Dispositions pour tester les propriétés électriques; Dispositions pour la localisation des pannes électriques; Dispositions pour tests électriques caractérisées par ce qui est testé, non prévues ailleurs
H01L 21/00 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
CPC
G01R 1/073
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
1Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
02General constructional details
06Measuring leads; Measuring probes
067Measuring probes
073Multiple probes
G01R 31/00
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
31Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
H01L 21/00
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
Déposants
  • CHANGXIN MEMORY TECHNOLOGIES, INC. [CN]/[CN]
Inventeurs
  • LIN, You-Hsien
  • CHEN, Yung-Shiuan
  • LIU, Tzu-Chia
  • CHEN, Hsin-Hsuan
  • WANG, Wei Chou
  • ZHANG, Shan
  • JIANG, Zhenzheng
  • ZHONG, Mingxiu
Mandataires
  • SHANGHAI SAVVY INTELLECTUAL PROPERTY AGENCY
Données relatives à la priorité
201811433184.528.11.2018CN
201821974297.128.11.2018CN
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) TESTER AND METHOD FOR CALIBRATING PROBE CARD AND DEVICE UNDER TESTING (DUT)
(FR) TESTEUR ET PROCÉDÉ D'ÉTALONNAGE DE CARTE SONDE ET DE DISPOSITIF À TESTER (DUT)
Abrégé
(EN)
A semiconductor tester (1) and a method for calibrating a probe card (12) and a device under testing (DUT) (2) are disclosed. The semiconductor tester (1) includes: a support platform (11), including a support surface (111) and configured to be able to move along a direction parallel to the support surface (111) and rotate around a rotating shaft perpendicular to the support surface (111); a probe card (12) including a plurality of probes (122) stretching towards the support platform (11); and an alignment assembly (13), including: at least two first laser emitting apparatuses (131) emitting a plurality of first laser beams (138); and a second laser emitting apparatus (135) emitting a plurality of second laser beams (139). The first laser beams (138) and the second laser beams (139) are perpendicular to each other and are each arranged sequentially along a direction perpendicular to the support surface (111). The semiconductor tester (1) aligns a probe card (12) to a DUT (2) with improved accuracy, thereby preventing the damage to the probe card (12).
(FR)
L'invention concerne un testeur à semi-conducteurs (1) et un procédé d'étalonnage d'une carte sonde (12) et d'un dispositif à tester (DUT). Le testeur à semi-conducteur (1) comprend : une plateforme de maintien (11), comprenant une surface de maintien (111) et conçue pour pouvoir se déplacer le long d'une direction parallèle à la surface de maintien (111) et tourner autour d'un arbre rotatif perpendiculaire à la surface de maintien (111) ; une carte sonde (12) comprenant une pluralité de sondes (122) s'étendant vers la plateforme de maintien (11) ; et un ensemble d'alignement (13) comprenant : au moins deux premiers appareils d'émission laser (131) émettant une pluralité de premiers faisceaux laser (138) ; et un second appareil d'émission laser (135) émettant une pluralité de seconds faisceaux laser (139). Les premiers faisceaux laser (138) et les seconds faisceaux laser (139) sont perpendiculaires les uns aux autres et sont chacun agencés séquentiellement le long d'une direction perpendiculaire à la surface de maintien (111). Le testeur à semi-conducteur (1) aligne une carte sonde (12) sur un DUT (2) avec une précision améliorée, ce qui permet d'empêcher l'endommagement de la carte sonde (12).
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