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1. WO2020108097 - PROCÉDÉ DE MAINTIEN D'UNE TRANCHE DE SEMI-CONDUCTEUR ULTRA-MINCE DANS UN PROCESSUS D'INTÉGRATION DE SEMI-CONDUCTEUR


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INTERNATIONAL SEARCH REPORT (ISR)
Part 1:  1  2  3  4  5  6          Part 2:  A  B  C  D  E 
国际申请号 申请人或代理人的档案号
PCT/CN2019/109969 S190135PCC
国际申请日 (年/月/日) (最早的)优先权日 (年/月/日)
2019年 10月 8日 2018年 11月 26日
申请人
南京中电芯谷高频器件产业技术研究院有限公司
关于后续行为: 见PCT/ISA/220表和 适用时,见下面第5项
按照条约第18条,本国际检索报告由本国际检索单位做出并送交申请人。报告副本送交国际局。
它还附有本报告所引用的各现有技术文件的副本。
1. 报告的基础
a. 关于语言,进行国际检索基于:
国际申请提交时使用的语言。
该国际申请的                                          语言译文,为了国际检索的目的提供该种语言的译文(细则12.3(a)和23.1(b))。
b.
本国际检索报告考虑了本单位许可或被通知的根据细则91所做出的明显错误更正(细则43.6之二(a))。
c.
关于国际申请中所公开的任何核苷酸和/或氨基酸序列,国际检索是基于下列序列表进行的:
2. 某些权利要求被认为是不能检索的
3. 缺乏发明的单一性
4. 发明名称
同意申请人提出的发明名称。
发明名称由本单位确定如下:
5. 摘要
同意申请人提出的摘要。
根据细则38.2(b),摘要由本单位制定,如第IV栏中所示。自本国际检索报告发文日起一个月内,申请人可以向本单位提出意见。

本申请公开了一种用于半导体集成工艺中超薄半导体晶圆(1)的拿持方法,主要步骤有:1)在第一临时载片(2)正面旋涂第一临时键合粘附剂(3);2)将超薄半导体晶圆与第一临时载片正面相对键合;3)在第二临时载片(4)正面旋涂第二临时键合粘附剂(5);4)将超薄半导体晶圆背面与第二临时载片正面相对键合;5)将超薄半导体晶圆与第一临时载片分离;6)制备集成互连结构(6);7)进行键合集成工艺;8)将集成后的晶圆与第二载片分离。通过两种不同软化温度的临时键合粘附剂以及两片临时载片的搭配使用,利用临时键合和解键合工艺,保证超薄半导体晶圆在传输、夹取、互连结构制作以及键合等三维集成工艺过程中均有临时载片支撑,有效降低集成工艺中裂片的风险。


6. 附图
a.
随摘要一起公布的附图是:     5    
按照申请人建议的。
由本单位选择的,因为申请人没有建议一幅图。
由本单位选择的,因为该图能更好地表示发明的特征。
b.
没有与摘要一起公布的附图

A. 主题的分类

按照国际专利分类(IPC)或者同时按照国家分类和IPC两种分类

B. 检索领域

检索的最低限度文献(标明分类系统和分类号):
     H01L
包含在检索领域中的除最低限度文献以外的检索文献:
在国际检索时查阅的电子数据库(数据库的名称,和使用的检索词(如使用)):
CNABS;CNKI;SIPOABS;DWPI;IEEE:超薄,晶圆,拿持,夹持,临时,载片,键合,粘附,清洗,ultrathin,wafer,holding,hold,temporary,carrier,bonding,adhesive,water

C. 相关文件

类 型* 引用文件,必要时,指明相关段落 相关的权利要求
(1)
PX
CN 109494182 A (南京中电芯谷高频器件产业技术研究院有限公司) 2019年 3月 19日 (2019-03-19)
1-9
全文
(2)
A
CN 104979280 A (上海大学) 2015年 10月 14日 (2015-10-14)
1-9
全文
(3)
A
US 9633939 B2 (AMKOR TECHNOLOGY INC) 2017年 4月 25日 (2017-04-25)
1-9
说明书第3栏第20行至第16栏第63行,图1-2
*
引用文件的具体类型:
"A"
认为不特别相关的表示了现有技术一般状态的文件
"D"
申请人在国际申请中引证的文件
"E"
在国际申请日的当天或之后公布的在先申请或专利
"L"
可能对优先权要求构成怀疑的文件,或为确定另一篇引用文件的公布日而引用的或者因其他特殊理由而引用的文件(如具体说明的)
"O"
涉及口头公开、使用、展览或其他方式公开的文件
"P"
公布日先于国际申请日但迟于所要求的优先权日的文件
"T"
在申请日或优先权日之后公布,与申请不相抵触,但为了理解发明之理论或原理的在后文件
"X"
特别相关的文件,单独考虑该文件,认定要求保护的发明不是新颖的或不具有创造性
"Y"
特别相关的文件,当该文件与另一篇或者多篇该类文件结合并且这种结合对于本领域技术人员为显而易见时,要求保护的发明不具有创造性
"&"
同族专利的文件

D. 关于同族专利的信息

检索报告引用的专利文件 公布日
(年/月/日)
同族专利 公布日
(年/月/日)
CN 109494182 A
2019年 3月 19日
CN 104979280 A
2015年 10月 14日
CN 104979280 B
2018年 6月 1日
US 9633939 B2
2017年 4月 25日
US 2016247767 A1
KR 101612220 B1
TW 201703216 A
2016年 8月 25日
2016年 4月 12日
2017年 1月 16日
ISA/CN的名称和邮寄地址 :
中国国家知识产权局(ISA/CN)
中国北京市海淀区蓟门桥西土城路6号 100088
传真号 (86-10)62019451
国际检索实际完成的日期:
2020年 1月 6日
国际检索报告邮寄日期:
2020年 1月 15日
受权官员:
宋霖
电话号码 62411800
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