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1. WO2020108038 - TIGE D'ÉCHANTILLON À PLUSIEURS DEGRÉS DE LIBERTÉ

Numéro de publication WO/2020/108038
Date de publication 04.06.2020
N° de la demande internationale PCT/CN2019/106864
Date du dépôt international 20.09.2019
CIB
H01J 37/20 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
02Détails
20Moyens de support ou de mise en position de l'objet ou du matériau; Moyens de réglage de diaphragmes ou de lentilles associées au support
CPC
H01J 37/20
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
20Means for supporting or positioning the objects or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
Déposants
  • 浙江大学 ZHEJIANG UNIVERSITY [CN]/[CN]
Inventeurs
  • 王宏涛 WANG, Hong Tao
  • 张奕志 ZHANG, Yi Zhi
Mandataires
  • 浙江杭州金通专利事务所有限公司 ZHEJIANG HANGZHOU JINTONG PATENT AGENCY CO., LTD.
Données relatives à la priorité
201811450173.830.11.2018CN
201811450175.730.11.2018CN
201811450184.630.11.2018CN
201811450211.X30.11.2018CN
Langue de publication chinois (ZH)
Langue de dépôt chinois (ZH)
États désignés
Titre
(EN) MULTI-DEGREE OF FREEDOM SAMPLE ROD
(FR) TIGE D'ÉCHANTILLON À PLUSIEURS DEGRÉS DE LIBERTÉ
(ZH) 多自由度样品杆
Abrégé
(EN)
A multi-degree of freedom sample rod, comprising a housing (109) and a rotation shaft (110). A frame (112) is provided between the housing (109) and the rotation shaft (110). The frame (112) is coaxial to the housing (109) and the rotation shaft (110). Optionally, at least one group of rotation shaft drive components is provided between the frame (112) and the rotation shaft (110). The sample rod is provided with a nanopositioner. An electrostatic export member is provided at the tail of the nanopositioner.
(FR)
L'invention concerne une tige d'échantillon à plusieurs degrés de liberté, comprenant un boîtier (109) et un arbre de rotation (110). Un cadre (112) est fourni entre le boîtier (109) et l'arbre de rotation (110). Le cadre (112) est coaxial au boîtier (109) et à l'arbre de rotation (110). Facultativement, au moins un groupe de composants d'entraînement d'arbre de rotation est disposé entre le cadre (112) et l'arbre de rotation (110). La tige d'échantillon est pourvue d'un nanopositionneur. Un élément d'exportation électrostatique est disposé au niveau de la queue du nanopositionneur.
(ZH)
一种多自由度样品杆,包括外壳(109)和转轴(110),外壳(109)与转轴(110)之间设有骨架(112),骨架(112)与外壳(109)、转轴(110)同轴;可选地,骨架(112)和转轴(110)之间设有至少一组转轴驱动组件,样品杆上设有纳米定位器,纳米定位器的尾端设有静电导出件。
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