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1. WO2020095594 - DISPOSITIF D'EXAMEN

Numéro de publication WO/2020/095594
Date de publication 14.05.2020
N° de la demande internationale PCT/JP2019/039433
Date du dépôt international 07.10.2019
CIB
H01L 21/66 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
66Test ou mesure durant la fabrication ou le traitement
G01N 21/956 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
NRECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
21Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de moyens optiques, c. à d. en utilisant des rayons infrarouges, visibles ou ultraviolets
84Systèmes spécialement adaptés à des applications particulières
88Recherche de la présence de criques, de défauts ou de souillures
95caractérisée par le matériau ou la forme de l'objet à analyser
956Inspection de motifs sur la surface d'objets
Déposants
  • 株式会社日立ハイテク HITACHI HIGH-TECH CORPORATION [JP]/[JP]
Inventeurs
  • 佐藤 良広 SATOU Yoshihiro
  • 増田 俊夫 MASUDA Toshio
  • 松野 均 MATSUNO Hitoshi
  • 芝山 慧 SHIBAYAMA Kei
  • 吉村 修 YOSHIMURA Osamu
  • 飯島 雄一郎 IIJIMA Yuichirou
Mandataires
  • 特許業務法人平木国際特許事務所 HIRAKI & ASSOCIATES
Données relatives à la priorité
2018-20947407.11.2018JP
Langue de publication japonais (JA)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) EXAMINATION DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'EXAMEN
(JA) 検査装置
Abrégé
(EN)
The purpose of the present invention is to allow a clean airflow around a substrate to reliably move downward of the substrate in an examination device in which clean air is supplied to an inspection chamber. This examination device is provided with a rectifying plate (see FIG. 4A) which covers a part of the upper surface of a stage for mounting a substrate, and is disposed between a gas supply unit and the stage to block an airflow toward the substrate.
(FR)
La présente invention vise à permettre à un flux d'air propre autour d'un substrat de se déplacer de manière fiable vers le bas du substrat dans un dispositif d'examen dans lequel de l'air propre est alimenté dans une chambre d'inspection. Ce dispositif d'examen est pourvu d'une plaque de redressement (voir FIG. 4A) qui recouvre une partie de la surface supérieure d'un étage servant au montage d'un substrat, et est disposée entre une unité d'alimentation en gaz et l'étage de manière à bloquer un flux d'air en direction du substrat.
(JA)
本発明は、清浄な空気を検査室に対して供給する検査装置において、基板周辺の清浄な空気流を基板の下方へ確実に向かわせることを目的とする。本発明に係る検査装置は、基板を載置するステージの上面の一部を覆うとともに、気体供給部と前記ステージとの間に配置され前記基板へ向かう気流を遮断する、整流板を備える(図4A参照)。
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